SU664088A1 - Способ цветного ионного травлени металлических образцов - Google Patents

Claims (2)

1. гравлёний в режиме ударной ионизации любые объекта dtpyRtypH iiepeтра; вливаютс  и на них формируетс  непрозрачный окисный слой, п6к1рываю дий всю поверхность шлифа. После это обработки регулируемый клапан пёреклйчайт на подачу в вакуумируемую камеру аргона, и образец при тех же электричедких параметрах подвергают травлению ионами аргона дл  уменьшени  толщины поверхностного окисного сло  на шлифе до такой величины, при которой при прохождении полихроматического света через, эти окисные образовани  происходит его интерференци , т. е. до по влени  цветного окрашиванй  объектов ашйфа. Достижение требуемой длительности обработки шли фа ионами аргона легко определ етс  визуально. Tak как все объекты шлифа . (устойчивые и бкйслёнйю и лёТгкбокйсл ющиес ) ббладают различной проводи iMOCTbHj, то на них формируютс  окис-х., ные покрыти  различной толщины ,что и обуславливает их различие в цветовой окраске после обработки пол  шлифа аргоном. - -:--г, : П р и ме р 1. Шлиф из сферическо гранула/ заполимерйЭйёЙИ-ной вэпо ксйдной смоле, подготавливают к цветному ионному т|;)авлёнию- : ПО общеприн той Методике: полируют, а затем в герметичной камере приг.давлении 5,0х10 ио4 рт. ст, обра6atasaf6T на катОдё ионами alpFO Ua дл  удалени  окисных образований, по вившихс  на поверхности об1Ё1азца В пррцессе полировки. Затем при ускор ю14ём напр жений 2,5 кВиплотности тока пучка 5,0 мА/см в течение 15 мин обрабаты1вают пОвёрхйост шлифа/иОнами газа-окислител  (кислород или воздух). Дл  придайй  цвётйОгО окрашивани  Объектам в поле шлифа производ т его обрабО ку йонами а:ргб га й15й  (ё параметрах в течение 5 мин. В HpeSipJibTaTe предложенного способа удалось вы вить зоны с повышенной йврйстЪстЬю, которые имеют зеленую ok jacify. /- ,.--. ..л.,,...л.:.-.,:.: П р им ё р
2. 2. Щгшф из композитного материала - борвольфраМОвШ волокон , приготовленный к цветному ионному травлению так в примере 1, 13 герметичной камере при давлении 3-10 мм рт. ст. подвергают травлейию газом-Окислителем (кис лородом ) при плотности тока пучка 3,0 ,0 мА/см в течение 15 мин. Затем дл  приданий цветного окрашивани  шлиф обрабатывают в том же режиме потоком ионов аргона в течение 10 мин. Благодар  применению предложенного способа удалось вы вить дополнительно объекты в слое борного покрыти , а именно области с более плотной структурой, окрашенные в светло-желтый цвет, которые расположены в периферийной части борного сло , имекицего плавно йзмен ющуюс  окраску от коричневой (в центре ) ,цо светло-коричневой (в наружных областйх борного сло ) , Таким образом, предложенный способ рбеспечиЬает четкое цветное контра тиро ание объектов шлифа, изготовленного практически из любых материа .лов, в том числе из однофазных матер1 алЬв и материалов, содержащи2с фазы, резкоотличающиес  бдйа от другой склонностью к окислению. Формула изобретени  Способ цветного ионного травлени  мёта ллйчёских образцов, включающий, очистку поверхности шлифа бомбарди-. ровной ионами инертного газа и окисление при бомбардировке ионами газа окислител , например, кислорода, вОздУха, о т л и чаю щ и и с   . Telvi 4To,fc цельи повышени  качества вы влени  структуры, окисление провод т при плотности тока пучка 3,0-7,0 мА/см в теЧени 10-15 мин, а затем обрабатывают пОтоКом ионов инертногй газа в течение 5-10 мин до.по влени  цветного окрашивани  поверхности шлифа. ., - ... . ,.1 Источники информации, прин тые во вййМанйе при эксцертйзе 1. Aeeuminio , 1964, 33, if 48, 405-411.