SU663996A1 - Вакуумна электропечь - Google Patents
Вакуумна электропечьInfo
- Publication number
- SU663996A1 SU663996A1 SU772467924A SU2467924A SU663996A1 SU 663996 A1 SU663996 A1 SU 663996A1 SU 772467924 A SU772467924 A SU 772467924A SU 2467924 A SU2467924 A SU 2467924A SU 663996 A1 SU663996 A1 SU 663996A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electric furnace
- vacuum electric
- heat
- coil
- screen
- Prior art date
Links
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
Изобретение относитс к низкоте.лпературным йакуумным электропечам сопротивлени периодического действи и найдет применение в термических цехах мелкосерийного и серийного про изводства, напримерf дл термообработки полупроводниковых приборов - резисторов, пленочных микросхем и т.п. Известна вакуумна печь, содержаща нагревательную камеру, котора включает охлаждаемый корпус, экранную теплоизол цию и нагреватели 1. Однако эта печь имеет относительно большой разброс (перепад) температур по рабочему объему печи (до 30 С) и низкую производительност из-за длительного охлаждени издели после окончани термообработки. Известна вакуумна электропечь, имеюща корпус с теплоизол цией и концентрично размещенные в нем нагре ватель и водоохлсисдаемый змеевик 2 Недостаток ее состоит в , что змеевик экранирует излучаемое тепло и увеличивает тем самым неравномерность нагрева издели и неполностью используетс охлаждающа способность змеевика, так как его теплопередающа поверхность относительно невелика. Цель изобретени - повышение равномерности нагрева и ускорение охлаждени . Это достигаетс тем, что вакуумна электропечь снабжена экраном, установленным кондентрично охлаждаемому змеевику. На фиг. 1 изображена вакуумна электропечь, разрез на фиг. 2 - узел Iна фиг.1. Электропечь имеет корпус 1, экранную теплоизол цию 2, нагреватель 3, охлаждаемый змеевик 4 с установленным на нем теплопроводным экраном 5, и нагреваемое изделие 6. В режиме разогрева теплопроводный экран 5 сглаживает искажени температурного пол , вносимые нагревателем 3 и змеевиком 4 (в режиме нагрева змеевик, естественно, не охлаждаетс ) , т.е. теплопроводный экран 5 работает как выравнивающий экран. В режиме охлаждени лучиста энерги нагретого издели 6 принимаетс теплопроводным экраном 5 и отводитс хладагентом, циркулирующим через зме;евик 4р тем самым обща теплопере дшЩа поверкиость увеличиваетс .
Вакуумна электропечь за счет бо; лееpaeTibMepHoro нагрева издели улучшит качество термообработки и за счет умёньшенйй времени охлаждени увеличит производительность печи.
Claims (2)
1.Свенчанский А.Д. Электрические промышленные печи. М., Энерги , 1975, ч. 1, с. 148.
2.Авторское свидетельство СССР № 372285,. кл. С 21 Ь 9/00, 1969.
Хло огент
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772467924A SU663996A1 (ru) | 1977-04-01 | 1977-04-01 | Вакуумна электропечь |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772467924A SU663996A1 (ru) | 1977-04-01 | 1977-04-01 | Вакуумна электропечь |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU663996A1 true SU663996A1 (ru) | 1979-05-25 |
Family
ID=20701654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU772467924A SU663996A1 (ru) | 1977-04-01 | 1977-04-01 | Вакуумна электропечь |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU663996A1 (ru) |
-
1977
- 1977-04-01 SU SU772467924A patent/SU663996A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4150787A (en) | Method and arrangement for saving energy in preparing hot water for household | |
| CN108328910A (zh) | 微波热弯窑及利用微波加热制备热弯微晶玻璃的方法 | |
| GB413591A (en) | Method of and means for heat treating glass articles | |
| CN107655333A (zh) | 一种复合加热式热处理炉 | |
| SU663996A1 (ru) | Вакуумна электропечь | |
| CN104775021A (zh) | 碳钢薄板连退产线快速加热方法及装置 | |
| JPS54131559A (en) | Forming and processing of hard-to-form metal plate | |
| CN103591793B (zh) | 一种真空烧结炉 | |
| JP3466673B2 (ja) | 可動熱反射板付真空炉 | |
| CN206113637U (zh) | 复合加热式热处理炉 | |
| JPS55122870A (en) | Vacuum vapor deposition method | |
| CN104846157A (zh) | 一种高精高速重载齿轮盐浴淬火的新型回火工艺 | |
| JPH06168899A (ja) | 基板加熱用ヒータユニット | |
| CN208505017U (zh) | 一种多线钢丝单控电磁感应加热炉 | |
| JPS5770325A (en) | Heating cooker | |
| CN206441705U (zh) | 一种用于真空设备的基座加热装置 | |
| SU779746A1 (ru) | Электроотопительный прибор | |
| JPS634503Y2 (ru) | ||
| CN207116381U (zh) | 一种提高晶圆受热均匀性的均热装置 | |
| Corp | Infrared drying and curing systems | |
| CN108426277A (zh) | 电陶炉温度控制电路及其控制方法 | |
| SU514778A1 (ru) | Печь дл нагрева стекла | |
| SU601317A1 (ru) | Толкательна электропечь | |
| CN205448662U (zh) | 真空熔覆均温装置 | |
| JP2903858B2 (ja) | オーブン皿 |