SU642504A1 - Вакуумный адсорбционный насос - Google Patents

Description

I

Изобретение относитс  к области вакуумной техники.

Известен вакуумный насос, содержащий корпус с адсорбентом и электрод

Однако у известного насоса малое быстродействие и небольша  адсорбцион... на  емкость. .

Известен также вакуумный адсорбционный насос, содержащий корпус и размещенный в нем двухстенный цилиндрический сосуд, межсгенное пространство которого заполнено хладагентом, а на внутренней поверхности закреплен адсорбент 2 .

Недостатком этого- насоса  вл етс  мала  быстрота откачки, св занна  с высокой скоростью десорбции.

Целью изобретени   вл етс  увеличение быстроты откачки.

Цель достигаетс  тем, что в корпусе над сосудом установлен анод, соединенный с блоком питани , и , расположенный со стороны нижнего торна сосудн , iifiH4i..M адсорбеиг )Г1СГ1олсгжсн на длине , составл ющей 0,1 - 0,3 от рассто ни  между анодом и катодом.

На чертеже изображен продольный разрез насоса.

Вакуумный адсорбционный насос содержит корпус 1 и размещенный в нем двухстенный цилиндрический сосуд 2, межстенное пространство которого заполнено хладагентом, а на внутренней поверхности закреплен адсорбент 3. В ко пусе 1 над сосудом 2 установлен анод 4, соединенный с блоком питани  5, и катод 6, расположенный со стороны нижнего торца сосуда 2, а адсорбент 3 расположен на длине, составл ющей 0,1 0 ,3 от рассто ни  L между анодом 4 и катодом 6.

Пл  удлинени  столба разр да и увеличени  веро тпости ионизации натекающего г.чза, насос МОЖРТ быть снабжен магнитом 7.

Вакуумный алсорбциониый насос (работает следуиииим образом.