SU639048A1

SU639048A1 - Method of manufacturing secondary electronic multiplier focusing electrodes

Info

Publication number: SU639048A1
Application number: SU772503444A
Authority: SU
Inventors: Америго Иосифович Гаприндашвили; Всеволод Семенович Кортов; Александр Николаевич Цаголов; Валерий Леонидович Михайлов
Original assignee: Уральский Ордена Трудового Красного Знамени Политехнический Институт Имени С.М.Кирова; Предприятие П/Я Р-6789
Priority date: 1977-07-06
Filing date: 1977-07-06
Publication date: 1978-12-25

Description

Изобретение относитс к электронной технике , в частности, к способу изготовлени фокусирующего электрода вторично-электронного умножител . Известен способ изготовлени фокусирующего электрода в виде кольца, заключающийс в щтамповке и химической очистке поверхности 1. Недостатком данного способа вл етс частична коррози поверхности электрода и вследствие этого ухудщение параметров прибора в.целом. Известен способ изготовлени фокусирующего электрода вторично-электронного умножител , заключающийс в щтамповке электрода с псйледующей химической обработ кой электрода 2. В этом способе отщтампованный электрод из АЕ или AI-Mg-Ag сплава подвергают обработке в водном растворе серной, хромовой или углекислоты, что предотвращает коррозию электрода. Однако при из готовлении известным способом фокусирующего электрода имеет место увеличение фона вторично-электронного умножител при его работе в услови х интенсивного освещени , так как кванты света после отражени от поверхности исследуемого объекта или непосредственно от источника света попадают на фокусирующий электрод из тройного сплава AI-Mg-Ag или из At, вызыва фотоэлектронную эмиссию. Высокий фон вторично-электронного умножител при работе в услови х интенсивного освещени снижает его качество, в частности, понижаетс чувствительность (разрещающа способность), что ограничивает область его применени . Целью изобретени вл етс уменьщение фона вторично-электронног умножител при его работе в световых потоках. Это достигаетс тем, что заготовку фокусирующего электрода после химической обработки покрывают слоем металла, затем электрод прогревают в воздухе при 300- 500°С в течение 2-3 ч. В качестве указанного металла может быть применен металл из группы AVH, например W, Мо, Та, а также- Си. Пример. Отщтампованную заготовку электрода из AJ или сплава А1-Mg-Ag помещают в вакуумную камеру при Р 10 - торр, подвергают ее очистке в газовом разр де, затем на заготовку при 10 - 10 торр напыл ют слой металла, например, Си. Заготовку фокусирующего эле трода сThe invention relates to electronic engineering, in particular, to a method for manufacturing a focusing electrode of a secondary electron multiplier. The known method of manufacturing a focusing electrode in the form of a ring, consisting in the stamping and chemical cleaning of the surface 1. The disadvantage of this method is the partial corrosion of the electrode surface and, consequently, the deterioration of the instrument parameters as a whole. A known method of manufacturing a focusing electrode of a secondary electron multiplier consists in stamping the electrode with the next chemical treatment of electrode 2. In this method, the extruded electrode of AE or AI-Mg-Ag alloy is treated in aqueous solution of sulfuric, chromic or carbonic acid, which prevents corrosion electrode. However, when a focusing electrode is prepared in a known manner, an increase in the background of the secondary electron multiplier takes place during its operation under conditions of intense illumination, since quanta of light after reflection from the surface of the object under study or directly from the light source fall on the focusing electrode of the ternary AI-Mg alloy. -Ag or from At, causing photoemission. The high background of the secondary electron multiplier when operating in conditions of intense illumination reduces its quality, in particular, decreases the sensitivity (resolution), which limits its scope. The aim of the invention is to reduce the background of the secondary electron multiplier when operating in the light fluxes. This is achieved by covering the workpiece of the focusing electrode after chemical treatment with a metal layer, then the electrode is heated in air at 300-500 ° C for 2-3 hours. A metal from the AVH group, for example, W, Mo, can be used as this metal. That, and also- C. Example. A chip blank of an AJ electrode or A1-Mg-Ag alloy is placed in a vacuum chamber at P 10 - Torr, cleaned in a gas discharge, then a metal layer, for example, C is sprayed onto the workpiece at 10 - 10 Torr. Billet focusing elerod with

напыленным слоем металла затем прогревают на воздухе в течение 2-3 ч при 300- 500°С.the sprayed metal layer is then heated in air for 2-3 hours at 300-500 ° C.

Обработанный такнм образом электрод готов дл монтажа в приборе.The electrode treated in this way is ready for installation in the instrument.

Покрытие заготовки можно производить не только напылением вышеперечисленных металлов, но и гальваническим путем.Coating the workpiece can be made not only by spraying the above metals, but also by electroplating.

Как показали пр мые измерени фонового тока, при температуре прогрева ниже 300°С или времени прогрева меньше 2 ч не удаетс получить заметного уменьшени фона. Прогрев при температуре выше 500°С или длительнее 3 ч не приводит к заметному улучшению характеристик и не оправдан технологически.As shown by direct measurements of the background current, at a warm-up temperature below 300 ° C or a warm-up time of less than 2 hours, a noticeable decrease in the background cannot be obtained. Heating at temperatures above 500 ° C or longer than 3 hours does not lead to a noticeable improvement in performance and is not technologically justified.

Электроды, изготовленные по приведенному способу, позволили резко уменьшить фон вторично-электронного умножител при работе в услови х интенсивного освешени . Если ранее серийно выпускаемый вторичноэлектронный умножитель ВЭУ-IA имел при работе в световом потоке ртутно-кварцевой лампы (Л 250 нм) фоновый ток 10 А, то после изготовлени электрода по предлагаемому способу фоновый ток прибора уменьшилс до 2- А.Electrodes manufactured by the above method allowed us to drastically reduce the background of the secondary electron multiplier when operating under intense light conditions. If the VEU-IA previously commercially available secondary electron multiplier had a background current of 10 A when operating in a luminous flux of a mercury-quartz lamp (L 250 nm), then after the electrode was fabricated using the proposed method, the background current of the device decreased to 2A.

Вторично-электронный умножитель при этом сохранил высокий коэффициент усилени (10), эффективность счета электронов 50-70% и темновой ток до А, к тому жх, расширилась область ei.o применени .At the same time, the secondary electron multiplier retained a high gain (10), the electron counting efficiency was 50–70%, and the dark current reached A, besides, the application area ei.o expanded.

Claims

1. A method of fabricating a focusing electrode of a secondary electron multiplier, enclosed in a electrode electrode with the next chemical treatment, characterized in that, in order to reduce the background of the secondary electron multiplier, the preparation of the focusing electrode after chemical treatment is covered with a metal layer, then the electrode is heated in air at ZOO-500 ° C for 2-3 hours.

2. A method according to claim 1, wherein a metal from the group AVII is used as said metal.

3. A method according to claim 1, characterized in that copper is used as said metal.

Sources of information taken into account during the examination;

1. Sobolev N. A. and others. Photoelectronic devices. M., “Science, 1965, p. 239-240.

2. USSR author's certificate number 268554, cl. H 01 J 43/10, 1970.