Claims (2)
Изобретение относитс к вакуумной технике, в частности к в зкостнмм ма нометрам, и может быть использовано при из 5epeнии низких давлений в диап зоне 10- . Известны вакууглметры с вращающими с элементами, в которых используетс зависимость коэффициента в зкости разреженного газа от давлени . Наиболее близким по технической сущности к изобретению вл етс ваку умметр, содержащий корпус, в котором свободно подвешен сферический ротор, источник уравновешивани веса ротора выполненный в виде соленоида, индуктор электромагнитной раскрутки ротора , устройство измерени скорости вращени ротора и демпфер J. Стабилизаци вертикального положени ротора достигаетс за счет регулировани тока в обмотке соленоида с помощью электронно-след щей системы . Недостатком известного вакуумметра вл етс наличие специальных приборов электронно-след мей системы: стабилизатора источника тока, генератора , усилител , катушки датчика, потребл ющих энергию извне и нагревающихс при прохо)х.аении в них тока. в св зи с этим применение электронной след щей системы дл обеспечени стабилизации вертикального положени ротора неэкономично. Кроме того, надежность примен емых приборов электронно-след щей системы обуславливаетс их эксплуатационными параметрами , не превышающими определенные сроки годности. Выполнение источника уравновешивани веса ротора в виде соленоида, потребл ющего энергию, неэкономично. Целью изобретени вл етс повышение надежности и экономичности прибора. Дл достижени этой цели в известном вакуумметре, содержащим Kopnvc, сферический ротор, источник уравновешивани веса ротора, устройство дл вращени ротора, устройство дл измерени скорости вращени ротора и демпфер, ротор и источник уравновешивани веса ротора выполнены в виде двух посто нных магнитов, обращенных друг к другу разноименными полюсами, при этом ротор экранирован с двух сторон двум плоскими параллельными диамагнитными пластинами, в которых выполнены две полусферические проточки под ротор. На- че{этеже изображен предлагаемый вакуумметр. Вакуумметр содержит корпус 1, намагнйчеЕ ный ротор 2 в. Форме шара, посто нный магнит. 3 - источник уравн вешивани веса ротора, устройство дл вращени ротора, выполненное в виде индуктора 4, плоские параллельные диамагнитные пластины 5 с полусферическими проточками, выполненными в их теле, устройство 6 дл измерени скорости вращени ротора 2 и демпфер ное устройство, состо щее ир стальной иглы 7, поплавка 8 и стакана 9 с легким маслом. Вакуумметрработает следующим образом , С помощью источника уравновешивани веса ротора 2, выполненного в виде посто нного магнита 3, привод т ротор во взвешенное состо ние. При этом ротор левитирует в пространстве без вс кого подвода энергии извне за счет компенсации своего веса посто н ным магнитом 3. Стабилизаци вертикального положе ни ротора 2 достигаетс с помощью двух плоских параллельных диамагнитных пластин 5 с расположенными в их теле полусферами. Ротор 2 разгон етс с помощью вра щаюгдегос магнитного пол , созданного специальной обмоткой индуктора Корпус 1 соедин ют с системой, давле ние в которой нужно измерить. Затем мер етс скорость торможени свободн вращающегос ротора 2 с помощью устройства 6. Измерение скорости вращени ротора 2 осуществл етс при помощи специальной системы, чувствительным эле ментом которой вл етс оптический датчик. Пучок света, отраженный от поверхности ротора 2, падает на фото умножитель. Так как поверхность даже при тщательной обработке Е1еоднородна по бвоим. оптическим свойствам,,то на выходе измерительного устройства по вл етс переменный сигнал с частотой вращени ротора 2. Демпфирование осуществл етс при помощи небольшой стальной иглы 7 с поплавком 8, котора находитс в стакане 9, заполненном легким маслом, или другой жидкостью. Во врем работы игла 7 следует за ротором 2 при его колебани х в горизонтальной плоскости и гасит их. Предложенный вакуумметр обладает высокой надежностью и экономичностью. Формула изобретени Вакуумметр, содержащий корпус, в котором свободно подвешен сферический ротор, источник уравновешивани веса Ьотора, индуктор электромагнитной раскрутки ротора, устройство измерени скорости вращени ротора и демпфер, отличающийс тем, что, с целью повышени надежности и эконо мичности прибора, в нем ротор и источник уравновешивани веса ротора выполнены в виде двух посто нных магнитов , обращенных друг к другу разноименными полюсами, при этом ротор экранирован с двух сторон двум плоскими параллельными диамагнитными пластинами, в которых выполнены две полусферические проточки под ротор. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе: 1.Ав.торское свидетельство СССР № 553507, кл. q 01 Ь 21/24, 1975. The invention relates to vacuum technology, in particular to capacitive manometers, and can be used at 5 times a low pressure in the range 10-. Vacuum angle meters with rotators with elements are known which use the pressure viscosity of the rarefied gas viscosity coefficient. The closest to the technical essence of the invention is a vacuum gauge, comprising a body in which a spherical rotor is freely suspended, a rotor weight balance source made in the form of a solenoid, an electromagnetic rotor spinning inductor, a rotor speed measurement device and a damper J. by adjusting the current in the coil of the solenoid using an electron-track system. A disadvantage of the known vacuum gauge is the presence of special instruments of the electron trace of the system: a current source stabilizer, a generator, an amplifier, a sensor coil, which consume energy from the outside and are heated when passing through the current. therefore, the use of an electronic servo system to stabilize the vertical position of the rotor is uneconomical. In addition, the reliability of the used devices of the electron-tracking system is determined by their operational parameters that do not exceed certain expiration dates. Performing a source of balancing the weight of the rotor in the form of a solenoid that consumes energy is uneconomical. The aim of the invention is to increase the reliability and efficiency of the device. To achieve this goal, in a known vacuum gauge containing Kopnvc, a spherical rotor, a rotor weight balance source, a rotor rotating device, a rotor speed measuring device and a damper, a rotor and a rotor weight balancing source are made in the form of two permanent magnets facing each other. friend of opposite poles, while the rotor is shielded on both sides by two flat parallel diamagnetic plates, in which two hemispherical grooves are made under the rotor. Then the proposed vacuum gauge is depicted. The vacuum gauge contains body 1, magnetizing rotor 2 c. Ball shape, permanent magnet. 3 - source of equalizing the weight of the rotor, a device for rotating the rotor, made in the form of an inductor 4, flat parallel diamagnetic plates 5 with hemispherical grooves made in their body, a device 6 for measuring the speed of rotation of the rotor 2 and a damper device consisting of steel ir needles 7, float 8 and glass 9 with a light oil. The vacuum gauge operates as follows. Using a source of balancing the weight of the rotor 2, made in the form of a permanent magnet 3, the rotor is suspended. At the same time, the rotor levitates in space without any external energy supply due to compensation of its weight by a permanent magnet 3. Stabilization of the vertical position of the rotor 2 is achieved using two flat parallel diamagnetic plates 5 with hemispheres located in their body. The rotor 2 is accelerated with the help of a rotating magnetic field created by a special winding of the inductor. The case 1 is connected to the system, the pressure in which is to be measured. Then, the deceleration rate of the free rotating rotor 2 is measured with the aid of the device 6. The rotational speed of the rotor 2 is measured using a special system, the sensitive element of which is an optical sensor. A beam of light reflected from the surface of the rotor 2, falls on the photo multiplier. Since the surface, even with careful processing, is heterogeneous in strength. Optical properties, a variable signal appears at the output of the measuring device with the rotational speed of the rotor 2. The damping is carried out with the help of a small steel needle 7 with a float 8, which is in the glass 9 filled with light oil or another liquid. During operation, the needle 7 follows the rotor 2 when it oscillates in a horizontal plane and extinguishes them. The proposed vacuum gauge is highly reliable and economical. The invention of a vacuum gauge comprising a housing in which a spherical rotor is freely suspended, a source of weight for a rotor, an electromagnetic rotor unwinding inductor, a device for measuring the rotor speed and a damper, characterized in that, the rotor weight balance source is made in the form of two permanent magnets, facing each other by opposite poles, while the rotor is shielded on both sides by two flat parallel diamagnetic plates with two hemispherical grooves under the rotor. Sources of information taken into account in the examination: 1. Aviary copyright certificate of the USSR No. 553507, cl. q 01 b 21/24, 1975.
2.Журнал Приборы дл научных исследований , 1962, № 2, с. 3-7.2. Journal of Scientific Instruments, 1962, No. 2, p. 3-7.