SU627331A1 - Устройство дл дозировки и выдачи фоторезиста - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к дозирующим устройствам, преимущественно в области микроэлектроники, и предназначено дл  использовани  в установках нанесени  фоторезиста при проведении процессов фотолитографии.

Дл  нанесени  заданной порции фоторезиста на полупроводниковые и другие пластины обычно примен ютс  устройства дл  дозировани  жидкости Известно большое количество конструкций устройств дл  дозировани  жидкости , при помощи которых решаютс  задачи дозировани  фоторезиста , 2J, 3j 4 . Однако применение этих устройств в системах дозировани  фоторезиста ограничено, так как после выдачи дозы на поверхност х дозирующих элементов застывает пленка фоторезиста. Эта пленка частично смываетс  последующей дозой и попадает на подложку, в результате чего ухудшаютс  маскирующие свойства фоторезистивного покрыти .

Из известных устройств наиболее близким по технической сущности к предлагаемому  вл етс  дозирующее устройство, содержащее корпус, разделенный при помощи первого тарельчатого подпружиненного клапана на две полости - расходную идозирующую, и второй тарельчатый клапан, соединенный с первым при помощи штока 5J .

Но такое устройство не обеспечивает высокого качества получаемого фоторезистивного покрыти .

Цель изобретени  - повышение качества фоторезистивного покрыти  путем самоочищени  устройства от сгустков фоторезиста.

Указанна  цель достира«тс  тем, что второй тарельчатый клапан образован нижней частью корпуса и торцовой частью цилиндрического стакана , установленного с возможностью перемещени  аксиально корпусу и снабженного сквозным каналом в боковой стенке, во внутренней полости стакана установлена втулка, а шток выполнен из двух разъемных частей, одна из которых установлена во втулке и подпружинена, а во второй выполнен канал, сообщающий дозирующую полость с атмосферой, при этом устройство снабжено нагнетателем , включенным между расходной полостБю и скбрзньм каналом в боковой стенке цилиндрического стакана.

Изобретение показано на чертеже. На фиг. 1 - схема устройства в режиме циркул ции фоторезиста; на фиг. 2устройство в момент ввдаачи дозы фоторезиста .

Устройство содержит корпус 1, кс/торый разделен на. две полости; расходную 2 и дозирующую 3 при помощи первого тарельчатого клапана 4, закрьюающегос  под действием пружины 5. Дозирующа  полость 3 имеет боковое сливное отверстие 6. Второй тарельчатый клапан образован нижней частью корпуса 1 и торцовой частью цилиндрического стакана 7, установленного аксиально корпусу 1 и снабженного каналом 8 в боковой стенке. Во внутренней полости стакана 7 установлена втулка 9. Шток, св зывающий два клапана , состоит из двух разъемных частей: верхн   часть 10 выполнена заодно с тарелкой первого клапана 4 и имеет канал 1.1, а нижн   часть 12 установлена во втулке 9 и при помощи пружины 13 св зана со стаканом 7. Перемещение цилиндрического стакана осуществл етс  при помощи пневмо.ци™ линдра 14.

Устройство включает в себ  расходный резервуар 15, нагнетатель 16, фильтр 17 и трубопроводы 18, 19, 20, 21. Вс  конструкци  пред.пагаемого устройства закреплена в усгановке нанесени  фоторезиста с центрифугой 22.

Устройство работает следующим образом .

В исходном состо нии, т.е. в промежутке мекуду выдачей, доз фоторезиста, устройство работает в режиме п,ирку.п ции фоторезиста. При этом поршень пневмоцилиндра 14 находитс  в к верхнем положении - второй тарельчатый клапан герметично закрЕг1т. Нижн   1часть штока 12, сжав пружину 13, упираетс  в плоскость А- втулки 9. Верхн   часть штока 10 упираетс  в нижнюю часть 12, а тарелка первого клапана 4 сжима  пружину 5, находитс  в верхнем положении. При таком положении указанных деталей расходна  полость 2 сообщаетс  с дозирующей полостью 3 и далее - через сливное отверстие б, полость стакана 7, канал 8 в стенке стакана 7, трубопровод 18 - с расход ным резервуаром 15. образом, в исходном состо нии фоторезист посто нно поступает при помощи нагнетател  16 через фильтр 17 в расходную полость 2 и возвращаетс  в расходный резервуар 15, при этом происходит непрерывна  промывка дозирующей полос ти 3 и сливного отверсти  6, т.е. фоторезисту придаетс  дополнительна функци  промьшочной жидкости.

Непосредственно перед выдачей дозы фоторезиста выключаетс  нагнетатель 16. Поршень пневмоцилиндра 14

перемещаетс  в нижнее положение. Стакан 7 движетс  вниз, а первый клапан 4 закрываетс  под действием пружины 5. Во врем  движени  стакана 7 нижн   часть 12 штока под действием пружины 13 упираетс  в верхнюю часть 10 штока, что задерживает сообщение с атмосферой дозирующей полости 3 через канал 11. Фоторезист удерживаетс  в дозирующей полости 3 силой атмосферного давлени  до отхода стакана 7 в крайнее нижнее положение. При приближении стакана 7 к крайнему нижнему положению нижн   часть 12 штока упираетс  в плоскость Б втулки 9, отходит от верхней части 10 штока, канал 11 сообщаетс  с атмосферой , и фоторезист под действием силы т жести выливаетс  на пластину.

После выдачи дозы фоторезиста ста кан- 7 возвращаетс  в крайнее верхнее положение, и включаетс  нагнетатель

Использование предлагаемого устройства позвол ет снизить плотность проколов в пленке фоторезиста с 15 до .

Claims (5)

1.Патент cum №3213215, кл. 200-32 1965.

.2оПатент США №3171570, кл. 222-23 1965.

3.Патент Англии № 1270261, кл. В 8 М , 1972.

4.Авторское свидетельство СССР 328339, кл.С 01 Р 11/00, 1972.

5.Патент США № 3658216, нл. 222-453, 1972.

lit

«