SU621801A1 - Способ нанесени металлических покрытий - Google Patents

Claims (2)

1. Изобретение относитс  к области нанесени  металлических покрытий, в частности медных к никелевых,, термическим расположением металлоорганнческих соединений и может быть использовано в металлургии и электронике при изготовлении изделий с защитными, электропрГУВОДНЫМИ , па ными и другими покрыти ми. Известен способ получени  металлических покрытий, в частности медных, путем пиролиза формиатных соединений меди в вакууме при 35О-450 С ij. Однако испарение формиатов большинства металлов требует нагрева до тем ператур близких или более высоких по сравнению с температурой их разложени , что сопровождаетс  малой эффективностью использовани  металлсодержащего сырь . Наиболее близким к предложенному по технической сущности и достигаемому эффекту  вл етс  способ нанесени  металлических покрытий путем термического разл жени  паров металлоорганических соединений относительно термост ильных при температуре испарени , в частности ад тШ1ацето атвых и дпеннльных производшх, в восстайое тельнсхЗ атмосфере (водород на нагретой до 25O-SOO С поверхности изделий Га. Недостатками такга о способа  вл ютс : низка  чистота получаемых но1фытий (загр знение мета ла покрыти  попимерными продуктами пиролиза, окисными соединени ми и углеродом достнгает 6О%), взры воопасность процесса, обусловленна  использованием . дл  создани  воостановительн{ атмосферы. Цель изобретени  - повышение чистоты покрыти  и снижение варываемости процео са. Достигаетс  это тем, что восстановительную атмосферу создают при помощи паров муравьиной кислоты, которые подают непосредственно к покрываемсй поверлности при мольном соотношении к парам металлоорганическэго соединени  (h-3tt): ;1, где h - валентность металла. Процесс осуществл ют при пониженном давлении в системе. В качестве металлоорганических соединений используют. например, ацетилацетонаты ; и циклопентадиенилы металлов. Получают покрыти  толщиной ОД-Юмк со скоростью осаждени  до 2,5 мкм/ч. Неравномерность покрытий на полированной феррнтовой пластинке площадью 4 см не превышает 5-7%, адгези  к основе составл ет 15О-200 кг/см . Пример, Стекл нные подложки помещают в кварцевый сосуд, имеющий отвод -ДЛЯ вакуумной откачки, нагреватель ные печи и систему подачи паров исходных соединений. Нагревают подложки до 35№iO С, ввод т в сосуд адетилацетонат меди, испар емый при asoiiot, и непосредственно к поверхности покрываемых подложек подвод т пары муравьиной -дкислоты в мольном отношении к парам ацетилацетоната меди 2:1., Процесс ведут при давлении в системе рт. ст. содержание меди в полученном покрытии составл ет 06%, остальное - углерод. П р и м е р 2. Процесс осуществл ют по примеру 1, но в : качества металлсодержащего соединений берут бис-{циклопентадиенил ) никел , испар емый при 120 i 10 С. Содержание никел  в покры тии составл ет 58%, остальное - углерод Предложенный способ нанесени  металлических покрытий из паровой фазы по сравнению с существующим обеспечивает снижение содержани  примесей в покрыти х , что позвол ет повысить их па емость электропроводность и травимость, т. е. расшир ет область применени  в электронике . Формула изобретени  Способ нанесени  металлических покрытий путем термического разложени  паров металлоорганических соединений в восстановительной атмосфере на нагретой поверхности изделий, отличающийс   тем, что, с целью повыщени  чистоты покрыти  и снижени  взрывоопасности процесса, восстановительную атмосферу создают при помощи паров муравьиной кислоты, которые подают непосредственно к покрываемой поверхности при мольном отношении к парам металлоорганического соединени  ( h - 3 tt ): 1, где П - валентность металла. Источники информации, прин тые во внимание при . экспертизе: 1.Патент США № 2430520, кл. 117-35 , 1947.
2. 2.Патент США N 3356527, кл. 117-102, 2 , 1967.