SU613219A1 - Полупроводниковый датчик давлени - Google Patents
Полупроводниковый датчик давлениInfo
- Publication number
- SU613219A1 SU613219A1 SU762421117A SU2421117A SU613219A1 SU 613219 A1 SU613219 A1 SU 613219A1 SU 762421117 A SU762421117 A SU 762421117A SU 2421117 A SU2421117 A SU 2421117A SU 613219 A1 SU613219 A1 SU 613219A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- temperature
- semiconductor pressure
- pressure pickup
- membrane
- amplifier
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
Description
Напр жение, пропорциональное разности температ фы баланса и темнературы мембраны , с выхода терморезистивного моста поступает на вход усилител 7 сигнала температуры . Нагрузкой выходного каскада усилител вл етс сопротивление корпуса датчика . Ток, протека по корпусу, нагревает его, и при этом температура мембраны приближаетс к температуре стабилизации. Величина этого тока в установившемс режиме определ етс скоростью теплообмена корпуса с окружающей средой н коэффициентом Зсилени усилител сигнала температуры.
Нолупроводниковые терморезисторы, включенные в противоположные плечи терморезистивного моста, размещаютс на мембране таким образом, чтобы обеспечить нечувствительность их к деформации.
Балансировка терморезистивного моста производитс нри температуре мембраны, равной температуре стабилизации, подстройкой пленочных резисторов.
Равномерность плотности тока через вакуумную чейку обеспечиваетс формой омических контактов, представл ющих собой металлические пленочные полоски, расположенные по днаметрально противоположным сторонам мембраны.
Использование предлагаемого датчика но сравнению с существующими обеспечит повыщение точности измерени в 2-3 раза за счет уменьшени температурной погрешности
измерени ; увеличение выходного напр жени с тензомоста из-за отсутстви последовательно соединенной с тензомостом цени температурной компенсации и существенное упрощение технологии изготовлени датчика
за счет упрощени электрической схемы, сокращени технологического цикла и снижени трудоемкости настройки прибора.
Claims (2)
1.Патент ФРГ 1067240, кл. 42 к 7/05, 1968.
2.Патент США № 3836796, кл. 73-398, 1975.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762421117A SU613219A1 (ru) | 1976-11-19 | 1976-11-19 | Полупроводниковый датчик давлени |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762421117A SU613219A1 (ru) | 1976-11-19 | 1976-11-19 | Полупроводниковый датчик давлени |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU613219A1 true SU613219A1 (ru) | 1978-06-30 |
Family
ID=20683235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU762421117A SU613219A1 (ru) | 1976-11-19 | 1976-11-19 | Полупроводниковый датчик давлени |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU613219A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4333349A (en) * | 1980-10-06 | 1982-06-08 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Binary balancing apparatus for semiconductor transducer structures |
-
1976
- 1976-11-19 SU SU762421117A patent/SU613219A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4333349A (en) * | 1980-10-06 | 1982-06-08 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Binary balancing apparatus for semiconductor transducer structures |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4320664A (en) | Thermally compensated silicon pressure sensor | |
| JP3071202B2 (ja) | 半導体圧力センサの増巾補償回路 | |
| US3967188A (en) | Temperature compensation circuit for sensor of physical variables such as temperature and pressure | |
| US5184520A (en) | Load sensor | |
| CN117705898A (zh) | 一种高性能气体传感器检测方法 | |
| SU613219A1 (ru) | Полупроводниковый датчик давлени | |
| US2865202A (en) | Device for measuring and detecting thermal energy | |
| JPH08136363A (ja) | ロードセルとこれを用いた計量装置 | |
| US5148707A (en) | Heat-sensitive flow sensor | |
| Handschy | A general purpose temperature controller | |
| JPS6147371B2 (ru) | ||
| JPH03118443A (ja) | 水素量測定装置 | |
| RU2084846C1 (ru) | Полупроводниковый преобразователь давления со схемой термокомпенсации | |
| JPS6222272B2 (ru) | ||
| JP3332280B2 (ja) | ヒートワイヤ型加速度検出器 | |
| SU805061A1 (ru) | Способ температурной компенсацииТЕНзОдАТчиКОВ B МОСТОВОй CXEME | |
| JPS5920658Y2 (ja) | 熱伝導型真空ゲ−ジの検出回路 | |
| JPH0682844B2 (ja) | 半導体歪変換装置 | |
| JPH0531729B2 (ru) | ||
| SU765646A1 (ru) | Устройство дл преобразовани деформации упругого чувствительного элемента в токовый выходной сигнал | |
| SU128561A1 (ru) | Фотоэлектрический измеритель давлени в биологических системах | |
| JP2536822B2 (ja) | 計量装置用温度補償回路 | |
| SU1029011A1 (ru) | Устройство дл измерени параметров среды | |
| JPS61259134A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| RU2024829C1 (ru) | Датчик давления |