SU605118A1 - Датчик ультразвуковых колебаний - Google Patents
Датчик ультразвуковых колебанийInfo
- Publication number
- SU605118A1 SU605118A1 SU762390137A SU2390137A SU605118A1 SU 605118 A1 SU605118 A1 SU 605118A1 SU 762390137 A SU762390137 A SU 762390137A SU 2390137 A SU2390137 A SU 2390137A SU 605118 A1 SU605118 A1 SU 605118A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electrodes
- ultrasonic oscillation
- sensor
- receiving element
- mechanical vibrations
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
Изобретение относитс к области измерений высокочастотных механических колебаний и может быть использовано при контроле таких технологических процессов, как пайка и сварка полупроводниковых и интегральных схем.
Известны емкостные датчики дл измерений высокочастотных механических колебаний, состо щие из корпуса, приемного элемента, включающего цилиндрическую металлическую трубку, и наконечника, заполненного звукопоглощающим материалом.
Недостатки этих датчиков заключаютс в малой чувствительности и возможности измерений механических колебаний исследуемого объекта только вдоль одной оси координат, параллельной оси датчика.
Целью изобретени вл етс измерение механических колебаний исследуемого объекта по трем координатным ос м и повыщение чувствительности измерений.
Дл этого в предлагаемом датчике ультразвуковых колебаний .приемный элемент выполнен в виде обращаемой торцовой частью к исследуемому объекту пол ризованной радиально пьезоэлектрической трубки с электродами на цилиндрической части и расположенного в ней электрически изолированного и пол ризованного по длине пьезоэлектрического стержн с электродами на торцах.
На фиг. 1 представлен предлагаемый датчик , вид со стороны рабочей поверхности; на фиг. 2 - то же, разрез.
Датчик содержит пол ризованную радиаль5 но пьезокерамическую трубку 1 с нанесенными на цилиндрической поверхности электродами 2 и 3, пьезокерамический стержень 4 с электродами на торцах 5, оттарированные усилители 6, корпус 7 и прокладки 8. 0 Устройство работает следующим Образом.
Датчик подводитс к объекту исследований на рассто ние, не превышающее 1 мм, так, что ось датчика перпендикул рна к боковой поверхности исследуемого объекта. 5 Благодар емкостной св зи между объектом и приемными элементами датчика на электродах по вл етс переменное электрическое напр жение, частота которого равна частоте ультразвуковых колебаний объекта, а 0 амплитуда напр жени пропорциональна амплитуде механических колебаний объекта. Напр жени с электродов подаютс на входы оттарированных усилителей.
Claims (1)
- Формула изобретениДатчик ультразвуковых колебаний, содержащий корпус и приемный элемент, включающий цилиндрическую трубку, отличающийс тем, что, с целью измерени механических колебаний объекта по трем координатным ос м и повышени чувствительности измерений, приемный элемент выполнеп в виде обращаемой торцовой частью к исследуемому объекту пол ризованной радиальнопьезоэлектрической трубки с электродами на цилиндрической части и расположенного в ней электрически изолированного и пол ризованного по длине пьезоэлектрического стержн с электродами на концах.5Puz.iФиг.2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762390137A SU605118A1 (ru) | 1976-08-01 | 1976-08-01 | Датчик ультразвуковых колебаний |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762390137A SU605118A1 (ru) | 1976-08-01 | 1976-08-01 | Датчик ультразвуковых колебаний |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU605118A1 true SU605118A1 (ru) | 1978-04-30 |
Family
ID=20671911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU762390137A SU605118A1 (ru) | 1976-08-01 | 1976-08-01 | Датчик ультразвуковых колебаний |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU605118A1 (ru) |
-
1976
- 1976-08-01 SU SU762390137A patent/SU605118A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4067225A (en) | Capacitance type non-contact displacement and vibration measuring device and method of maintaining calibration | |
| US4720682A (en) | Surface electric potential sensor | |
| US3928796A (en) | Capacitive displacement transducer | |
| RU93057194A (ru) | Способ безконтактного измерения в динамическом режиме смещения или диэлектрической постоянной с помощью емкостного датчика | |
| US5388458A (en) | Quartz resonant gyroscope or quartz resonant tuning fork gyroscope | |
| WO2003019204A3 (en) | Sensor for non-contacting electrostatic detector | |
| US4531073A (en) | Piezoelectric crystal resonator with reduced impedance and sensitivity to change in humidity | |
| WO2003019203A8 (en) | Sensor for non-contacting electrostatic detector | |
| US4339721A (en) | Electrostatic voltmeter | |
| SU605118A1 (ru) | Датчик ультразвуковых колебаний | |
| SU1163242A1 (ru) | Устройство дл измерени влажности материалов | |
| SU446769A2 (ru) | Устройство дл возбуждени и измерени резонансных частот упругих элементов | |
| SU504318A1 (ru) | Способ определени дефектов в активном элементе пьезокерамического преобразовател | |
| RU1798736C (ru) | Устройство дл измерени электрического потенциала зар женной поверхности | |
| SU143585A1 (ru) | Устройство дл измерени давлений | |
| SU669186A1 (ru) | Устройство дл измерени малых перемещений и деформаций | |
| SU781642A1 (ru) | Измеритель давлени ударной волны | |
| SU960604A1 (ru) | Устройство дл определени коэффициента теплового расширени твердых тел | |
| SU1003003A2 (ru) | Датчик влажности газов | |
| SU1046626A1 (ru) | Устройство дл измерени температуры | |
| SU1691693A1 (ru) | Датчик давлени | |
| SU847094A1 (ru) | Пьезоэлектрический манометр | |
| SU1223410A1 (ru) | Пьезопреобразователь | |
| SU905671A1 (ru) | Датчик давлени | |
| SU830164A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени |