SU669186A1 - Устройство дл измерени малых перемещений и деформаций - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к устройствам дл  измерени  малых перемещений и деформаций при испытании объектов и материалов .

Известно устройство дл  измерени  малых перемещений и деформаций, содержащее линейный пьезоэлектрический резонатор объемных продольных волн с электродами дл  возбуждени  и преобразовани  в электрический сигнал акустических колебаний резонатора 1.

Однако это устройство отличаетс  большой массой и габаритами, что ограничивает возможности его применени .

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к изобретению  вл етс  устройство дл  измерени  малых перемещений и деформаций , содержащее линейный пъезоэлектрический резонатор с электродами дл  возбуждени  и преобразовани  в электрический сигнал акустических колебаний резонатора 2,Однако и это устройство имеет большие массу и габариты вследствие небеходимости разнесени  в пространстве адаптера и возбудител  дл  более точного определени  параметров бегущей поверхностной акустической волны.

Целью изобретени   вл етс  уменьшение массы и габаритов устройства дл  измерени  малых перемещений и деформаций .

Это достигаетс  тем, что резонатор выполнен в виде тонкой пленки пъезоэлектрика с металлическими отражател ми акустической волны на концах и электрода1.1и в средней части, что позвол ет реализовать режим сто чей волны .

На чертеже представлена принципа альна  cxeN: a устройства.

Устройство содержит линейный пъезозлектрический резонатор 1, выполненный в виде тонкой пленки пъезоэлектрика , например, кристаллического кварца, металлические отражатели 2 и 3 на концах и электроды 4 и 5 в средней части резонатора 1. Отражатели 2 и 3 и электроды 4 и 5 выполнены по планарной технологии.

Устройство работает следующим образом . При включении электродов 4 и 5 в цепь обратной св зи генератора (на чертеже не показан) в резонаторе 1 устанавливаетс  сто ча  поверхностна  акустическа  волна, частота колебаний которой обратно пропорциональ669186

на рассто нию между отражател ми 2 и 3. При раст жении или сжатии в осевом направлении резонатора 1 рассто ние между отражател ми 2 и 3 измен етс , что приводит к изменению частоты акустических колебаний. Частота колебаний . контролируетс  цифровым частотомером (на чертеже не показан)..

Применение описанного устройства позвол ет измер ть деформации и перемещени  от 10 до 10 м. При этом резонатор с электродами и отражател ми вследствие малой-массы и габаритов может быть размещен на любых объектах без изменени  режима их работы. ,Использование сто чей волны позвол ет многократно усредн ть параметры акустических колебаний резонатора, что приводит к снижению величины случайной составл ющей погрешности. Изготовление устройства методами планар4

Claims (2)

1.Новицкий П.В. Кнорринг В.Г., Гутников B.C. Цифровые приборы с частотными датчиками. Л., Энерги , 1970, с. 120-121.

2.Патент Франции № 2273259, кл. О 01 В 17/04, 1974.