SU593071A1

SU593071A1 - Optical gauge for measuring non-linear and non-planar parameters of surfaces

Info

Publication number: SU593071A1
Application number: SU762359713A
Authority: SU
Inventors: Вячеслав Андреевич Сойту; Владимир Петрович Трегуб; Олег Александрович Ясицкий
Original assignee: Предприятие П/Я А-1705
Priority date: 1976-05-11
Filing date: 1976-05-11
Publication date: 1978-02-15

Description

ектива 8, 9 с концевыми уголковыми отражател ми JO, 11, образующие афокальыую систему , и подвижную каретку 12, расположенную между объективами с концевыми уголковыми отражател ми, с установленным на ней чувствительным элементом.Lines 8, 9 with end angle reflectors JO, 11, which form an afocal system, and a movable carriage 12, located between the lenses with end angle reflectors, with a sensitive element mounted on it.

Каждый из коллиматоров установлен перед концевым уголковым отражателем со стороны его катетной грани, чувствительный элемент линейки выполнен в виде сферы (шарика ) 13 с отражающей поверхностью.Each of the collimators is installed in front of the end corner reflector from the side of its facet face, the sensitive element of the ruler is made in the form of a sphere (ball) 13 with a reflecting surface.

Оптическа линейка работает следующим образом.The optical bar works as follows.

Пучок света от осветител 2 освещает марку 3, изображение которой посредством объектива 4 коллиматора направл етс параллельным пучком на сферическую отражающую поверхность щарика 3 и в фокусе его строит .мнимое изо,бражение марки 3. При помощи афокальной системы изображение ма,р,КИ 3 строитс в фокусе щарика с обратной его стороны и параллельны .м пучкам направл етс в объектив 9 и объектив 5 коллиматора. Пройд объективы коллиматора, пучок света строит в плоскости диафрагмы изображение марки 3, которое регистрируетс отсчетным устройством 7.A beam of light from illuminator 2 illuminates the brand 3, the image of which is directed by a parallel beam to the spherical reflecting surface of the ball 3 through the lens 4 of the collimator and the imaginary image of the brand 3 is built at the focus of the reflector 3. in the focus of the ball on the reverse side of the ball and parallel to the m beams are directed to the objective 9 and the objective 5 of the collimator. After passing through the lenses of the collimator, a beam of light builds in the plane of the diaphragm an image of the mark 3, which is recorded by the reading device 7.

То есть при любом расположении щарика 13 вдоль оптической оси изображение марки 3 будет посто нно находитьс в фокусе объективов 9, 5 или, то же самое, в плоскости диафрагмы отсчетного устройства 7. Если контролируетс поверхность, непр молинейность или неплоскостность которой вызывает смещение каретки 12 с щариком 13, перпендикул рное оптической оси системы, образуетс удвоенное смещение изображени марки , которое рассматриваетс объективами 9, 5. г That is, at any position of the ball 13 along the optical axis, the image of the mark 3 will be constantly located in the focus of the lenses 9, 5 or, the same, in the plane of the diaphragm of the reading device 7. If the surface is monitored, the linearity or flatness causes the carriage to displace 12 seconds By means of a ball 13, perpendicular to the optical axis of the system, a double displacement of the image of the mark is formed, which is viewed by the lenses 9, 5. g

Таким образом, благодар тому, что задающий и .приемный .блоки линейки выполнены в виде коллиматоров, а чувствительный элемент - в виде сферы с отражающей поверхиостью , в описываемой конструкции удалось добитьс снижени измерительного давлени на контролируемую поверхность, значительно ограничить чувствительность к наклонам подвижной каретки, повысить точность измерений.Thus, due to the fact that the setting and receiving blocks of the ruler are made in the form of collimators, and the sensitive element is in the form of a sphere with a reflective surface, in the described construction it was possible to reduce the measuring pressure on the controlled surface, to significantly reduce the sensitivity to inclinations of the movable carriage, improve measurement accuracy.

Claims

1. USSR author's certificate number 148912, cl. G 01 B 11/24,: 1967.

2.Sipu V. Fiihrungen und ebene Flachen ,. Microtecnic, XIV, 1950, 194-199. V h