SU591796A1 - Устройство дл экспонировани фоторезистивного покрыти цилиндрических деталей - Google Patents
Устройство дл экспонировани фоторезистивного покрыти цилиндрических деталейInfo
- Publication number
- SU591796A1 SU591796A1 SU762412983A SU2412983A SU591796A1 SU 591796 A1 SU591796 A1 SU 591796A1 SU 762412983 A SU762412983 A SU 762412983A SU 2412983 A SU2412983 A SU 2412983A SU 591796 A1 SU591796 A1 SU 591796A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- exposure device
- photoresist coating
- cylindrical component
- component photoresist
- cylindrical
- Prior art date
Links
Landscapes
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
Description
(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭКСПОНИРСВАНИЯ ФОТОРЕЗИСТИВНОГО ПОКРЫТИЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ
причем конические зеркала фиксируютс rtpH экспонировании ви тами 12 и 13.
Перед экспонироаалиемстойка 4 снимаетс ,
газоразр дна пампа вынимаетс из стойки 3. Цп «ндрическа деталь 11с маской 10 ставитс на корпус 8. После этого вставл етс газоразр дна лампа, стойка 3, котора фиксируетс винтом 5. Затем производитс экспокироьание путем включени газоразр дной лампы на некоторое врем . Сн тие иипинДрической детапи с устройства производитс в обратном пор дке, чем установка. Газоразр дна лампа не дает параллельный поток световых лучей, поэтому рисунок на внутренней цилиндрической поверхности из-за неплотного прижима маски к этой поверхности получаетс с меньшей paapemaibшей способностью. Однако устройство позвол ет получать пленочные элементы с невысокой плотностью, размещени на внутренней цилиндрической поверхности и выводы от них на плоские торцы детали, если допус каетс некоторый разброс размеров эдементов .
Ф о р м у п а изобретени 1. Устр йствб дл экспонировани фоторёзистивного покрыти цилиндрические деталей , содержащее основание с источником света, конические зеркала и маску, устаноьленную соосно с цилиндрической деталью., отличающеес тем, что, с целью повышени надежности работы устройства путем одновременного экспонировани как внутренней, так и торцовых поверхностей цилиндрической детали, в нем источник выполнен в виде газоразр дной лампы с цилиндрической колбой, размещенной внутри цилиндрической детали, по обеим торцовым поверхност м которой размещены кон чески1Э зеркала,
2. Устройство по п. 1, о т п и ч а го1н е е с тем, что длина цилинйрическрй колбы газоразр дной лампы больше рассто н ни между коническими зеркалами.
Источники иифсрмации, прин тые во внимание при экспертизе:
1.Патент США Nb 3557674, КЛ.4 OS В 37/00, 1971.
2..Патент США J 3645178, кл. 95-1, 1972.
иг. f
W
/
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762412983A SU591796A1 (ru) | 1976-10-19 | 1976-10-19 | Устройство дл экспонировани фоторезистивного покрыти цилиндрических деталей |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762412983A SU591796A1 (ru) | 1976-10-19 | 1976-10-19 | Устройство дл экспонировани фоторезистивного покрыти цилиндрических деталей |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU591796A1 true SU591796A1 (ru) | 1978-02-05 |
Family
ID=20680209
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU762412983A SU591796A1 (ru) | 1976-10-19 | 1976-10-19 | Устройство дл экспонировани фоторезистивного покрыти цилиндрических деталей |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU591796A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5215086A (en) * | 1991-05-03 | 1993-06-01 | Cyberonics, Inc. | Therapeutic treatment of migraine symptoms by stimulation |
-
1976
- 1976-10-19 SU SU762412983A patent/SU591796A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5215086A (en) * | 1991-05-03 | 1993-06-01 | Cyberonics, Inc. | Therapeutic treatment of migraine symptoms by stimulation |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FR2293052A1 (fr) | Canon a electrons a moyens de dilatation du champ de lentille de focalisation | |
| US3474242A (en) | Photographic ring light | |
| JPS5247725A (en) | Reduced lens with a super high resolving power | |
| SU591796A1 (ru) | Устройство дл экспонировани фоторезистивного покрыти цилиндрических деталей | |
| BR7700007A (pt) | Circuito de alta frequencia para operacao de lampada de descarga gasosa de alta intensidade | |
| SE7903104L (sv) | Apparat for framstellning av fotografiska bilder | |
| US3716298A (en) | Photographic enlarger | |
| JPS5298371A (en) | Device having gas discharge type flash bulb | |
| KR940012495A (ko) | 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프 및 이것을 장착한 투영 노광 장치 | |
| IT1059485B (it) | Dispositivo di accensione e di esercizio per lampade a scarica ad alta pressione | |
| US3860335A (en) | Optical system | |
| US1918206A (en) | Camera focusing mechanism | |
| NL7703705A (nl) | Hogedrukkwikdamp-ontladingslamp. | |
| JPS5536836A (en) | Toner fixing method | |
| FR2372461A2 (en) | Screen printing of half-tone pictures - uses projection housing offset from axis of drum to form projection paths of varying lengths | |
| GB1484890A (en) | Process and device for the photographic reproduction of diapositives | |
| DE2739591A1 (de) | Niederdruckquecksilberdampfentladungslampe | |
| FR2390672A1 (fr) | Appareil fixe d'eclairage notamment du genre projecteur | |
| US2258304A (en) | Cavity camera | |
| JPS52126241A (en) | Slit illumination device | |
| SE8701354D0 (sv) | Ultraviolett bestralningsanordning | |
| SU1050140A1 (ru) | Устройство дл контактной фотолитографии | |
| JPS55116331A (en) | Strobo photographic apparatus | |
| FR2325960A1 (fr) | Dispositif de photographie automatique | |
| IT8467540A1 (it) | Camera di miscelazione della luce per un apparecchio ingranditore o copiatore fotografico. |