SU578562A1 - Интерферометр дл контрол прогибов кваз плоских поверхностей деталей - Google Patents
Интерферометр дл контрол прогибов кваз плоских поверхностей деталейInfo
- Publication number
- SU578562A1 SU578562A1 SU7301914753A SU1914753A SU578562A1 SU 578562 A1 SU578562 A1 SU 578562A1 SU 7301914753 A SU7301914753 A SU 7301914753A SU 1914753 A SU1914753 A SU 1914753A SU 578562 A1 SU578562 A1 SU 578562A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- elexures
- quasiplanar
- article surfaces
- checking
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано дл контрол прогибов (отклонений от плоскостности) квазиплоских (с глубиной прогиба до 200 мкм) поверхностей деталей .
Известен интерферометр дл контрол прогибов оптических поверхностей, содержащий осветитель, состо щий из последовательно расположенных источников света, коллиматора и зеркала дл поворота световых лучей , регистрирующий узел и оптическую систему дл передачи световых лучей, размещенную между зеркалом и регистрирующим узлом и включающую формирователь наклонного освещени детали, светоделитель и совместитель интерферирующих световых лучей, держатель детали.
В известном интерферометре функции формировател наклонного освещени детали, светоделител и совместител интерферирующих лучей выполн ют плоские зеркала и полупрозрачные пластины.
Иедостатком известного интерферометра вл етс сложиость конструкции.
Предлагаемый интерферометр отличаетс от известного тем, что, с целью упрощени конструкции, оптическа система дл передачи световых лучей выполнена в виде пр моугольной равнобедренной оптической призмы.
установленной верщиной вниз и имеющей горизонтально расиоложенную грань, вл ющуюс держателем детали.
На чертеже дана оптическа принципиальна схема предлагаемого интерферометра.
Интерферометр включают осветитель, состо щий из последовательно расположенных лазера 1, коллиматора 2 и зеркала 3 дл поворота световых лучей, оптическую систему
дл передачи световых .лучей в виде пр моугольной равнобедренной оптической призмы 4 и регистрирующий узел (не показан). Пр моугольна равнобедренна оптическа призма выполн ет функции формировател наклонного освещени детали, светоделител , совместител интерферирующих световых лучей и держател детали.
Предлагаемый интерферометр работает следующим образом.
Деталь 5 располагаетс на гипотенузной грани призмы 4 контролируемой поверхностью вниз. Катетна грань призмы освещаетс плоской световой волной, причем угол падени в на эту грань выбираетс с помощью
зеркала 3 таким образом, что на гипотенузную грань призмы светова волна надает под углом, близким к углу полного внутреннего отражени . На гипотенузной грани иризмы формируютс два световых луча: один отражаетс от границы раздела стекло-воздух в
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU7301914753A SU578562A1 (ru) | 1973-05-14 | 1973-05-14 | Интерферометр дл контрол прогибов кваз плоских поверхностей деталей |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU7301914753A SU578562A1 (ru) | 1973-05-14 | 1973-05-14 | Интерферометр дл контрол прогибов кваз плоских поверхностей деталей |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU578562A1 true SU578562A1 (ru) | 1977-10-30 |
Family
ID=20551594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU7301914753A SU578562A1 (ru) | 1973-05-14 | 1973-05-14 | Интерферометр дл контрол прогибов кваз плоских поверхностей деталей |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU578562A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2477451C1 (ru) * | 2011-07-28 | 2013-03-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ГОУВПО "СГГА") | Многолучевой интерферометр |
-
1973
- 1973-05-14 SU SU7301914753A patent/SU578562A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2477451C1 (ru) * | 2011-07-28 | 2013-03-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ГОУВПО "СГГА") | Многолучевой интерферометр |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1437346A (en) | Optical scanning arrangement | |
| GB1266971A (ru) | ||
| JPS5483854A (en) | Measuring device | |
| SU578562A1 (ru) | Интерферометр дл контрол прогибов кваз плоских поверхностей деталей | |
| GB1400016A (en) | Optical system | |
| SE7513667L (sv) | Optisk avsokningsanordning for plana objekt | |
| ES372099A1 (es) | Un aparato para detectar defectos en una lamina de vidrio. | |
| GB1265243A (ru) | ||
| SU1099097A1 (ru) | Сканирующий интерферометр | |
| KR960002204A (ko) | 광디스크 기록장치용 빔정형프리즘 | |
| GB858171A (en) | Improvements in and relating to optical apparatus | |
| US2647434A (en) | Interferometer using liquid mirrors | |
| US3726596A (en) | Optical device for forming measuring and reference beams of light | |
| GB1184080A (en) | Single Optical Block Interferometer Means | |
| US4516854A (en) | Interferometric angular measurement system | |
| SU1672214A1 (ru) | Устройство дл измерени рассто ни до поверхности | |
| US3402633A (en) | Long path multiple beam interferometer | |
| GB676749A (en) | Improvements relating to the microscopic examination by interferometry of transparent objects | |
| SU1536194A1 (ru) | Интерферометр | |
| JPS5722538A (en) | Retroreflector | |
| SU714253A1 (ru) | Способ измерени градиента показател преломлени оптически прозрачных сред | |
| SU1673926A1 (ru) | Рефрактометр | |
| SU823854A1 (ru) | Устройство дл контрол угловОпТичЕСКиХ элЕМЕНТОВ | |
| GB1296070A (ru) | ||
| GB1286598A (en) | Optical device for examining profile or roughness of a surface of a specimen by an optical intersection method |