Claims (1)
низмы состо т из звеньев 4, 8-13, причем звено 8 общее дл обоих параллелограммов , звено 4 - ползун, звено 9 - неподвижное основание направл ю цей , а звень 10-13 упругие. Шарнирные сочленени звеньев выполнены в виде упругих опор 14, Кривошипно-шатунные механизмы 15 ri 16 соединены между собой зубчатыми ко Лесами с передаточным отношением f jsl кривошипы при помогли шатунов 17 и 18 , соответственно с общим звеном и ползуном . Соотношени длин звеньев параллёлограл1мов , радиусов и фаз враще1 и кривошипов дают множество разнообразных форм движени )ползуна. Орга- ны 19 и 20 регулируют длины звеаье в. основани и общего звена, а изИен ет величину размаха и фазы движе-у ни общего звена. Предлагаема пила, работает следую1ЦИМ образом, Нит ной инструментв.виде нат нутой на раму система параллельных про Волочек - нитей укрепл ют на ползут не 4, а обрабатываемую .заготовку, например приклеенную воском к технологической Подложке подлежащую разде 1ению пластину со структурами и рисунками интегральных схем, закрепл ю 1на суппорте 3. Затем совмещают з.агоSroBKy с инструментом И; задают необхо jZlHMoe дл обработки давление рабочей родачи, т-.е, давлейие нитей инстру|йента на заготовку.,, Не снима давлени . рабочей подачи, ползун, с инстру-. ментом перемещают в крайнее положений регулируют направл ющую .натребуювогюс форму движени инструмента, в (данном случае на его дополнительные .повороты-качани . Сущность регулировки сводитс к ргэменению длины общего звеиа 8 до размера, при котором ползун;с инструментом поворачиваетс так, чтобы углы изгиба нитей инструмента при изс,. входе даа заготовку и сходе с заготовки былн «одинаковыми,. В процессе обработки двигатель 2 вращает вал кривошипно-шатунного механизма 16, при помощи которого сообщает закрепленному на ползуне 4 инструменту 5 обрабатывающие движени .. Соверша эти движени , инструмент пе риодически мен ет свое положение относительно заготовки. В момент симметричного расположени перед суппортом он параллелен его плоскости, поддерживающей заготовку. При перемещении к тому или другому крайнему положений конец, инструмента, наход щий на заготовку , отводитс от неё, а конец, удал ющийс от заготовки, все больше и больше надавливает на последнюю так, что нити инструмента с обеих ее сторон образуют одинаковые углы изгиба относительно заготовки. Формула изобретени Пила дд разделени пластин полу 1роводниковых ,приборов, включающа направл ющую и привод, в виде кинематически св занных между собой кривошипно-шатунного и параллелограминого механизмов, причем одно из звеньев, параллелбграммного механизма выдолнёно в виде ползуна , отличающа с тем, что, с целью noBtaueни производительности и износостойкости , пила снабжена, дополнительными парсшльлограммным и кривошипно-шатун ным механизмами, причем дополнительЕйлй параллелорраммный механизм св зан с основным упругими зввнь лш, а дополнительный кривошипно-шатунный ме;ханнзм - при помощи зубчатых колес, гфичем направл юща выполнена одним из Звеньев дополнительного параллей Г1 аммнрго мёха 1иэма „ Источники информации прин тые во внимание при экспертизе 1,Авторское свидетельство СССР 209947, кл, В 23 В 1/00, 1964. 2,Патент Франции № 1292867, кл. B.28;D 1/00, 1961,The bottoms consist of links 4, 8–13, and link 8 is common for both parallelograms, link 4 is a slider, link 9 is a fixed base with directions, and links 10–13 are elastic. The hinge joints of the links are made in the form of elastic supports 14. The crank-connecting rod mechanisms 15 and 16 are interconnected by gear teeth. Forests with the gear ratio f jsl the cranks helped with connecting rods 17 and 18, respectively, with a common link and a slider. The ratios of the lengths of parallelograle links, radii and phases of rotation and cranks give a variety of different forms of movement of the slider. The bodies 19 and 20 regulate the length of the link in. base and common link, and izenet the magnitude of the scope and phase of the engine or common link. The proposed saw works as follows, the Thread tooling of the Voloschek parallel system, which is parallel to the frame, is strengthened by crawling not 4, but the workpiece, for example, glued with wax to the Technological Layer, a plate to be separated , secured 1 on the caliper 3. Then combine the zAgoSroBKy with the tool I; jZlHMoe required for processing the pressure of the working gear, t-e, pressure pres- sure of the tool on the workpiece. Do not relieve the pressure. work feed, ram, with tools. The coping moves to the extreme positions and adjusts the guide. The shape of the movement of the tool, in this case (on its additional swinging turns.) The essence of the adjustment is reduced to regelling the length of the common animal 8 to the size at which the slider; with the tool it is rotated so that the bend angles The tool yarns are used when making, entering and harvesting and moving away from the workpiece by the same ". During machining, the motor 2 rotates the shaft of the crank-connecting rod mechanism 16, by means of which it informs the 4 tools attached to the slider In step 5, the machining movements. When these movements are completed, the tool periodically changes its position relative to the workpiece. At the time of a symmetrical position in front of the slide, it is parallel to its plane supporting the workpiece. When moving to one or the other extreme position, the end of the tool , is moved away from it, and the end moving away from the workpiece, more and more presses against the latter so that the tool threads on both its sides form the same bending angles relative to the workpiece. Claims of the invention The saw dd of dividing plates of a semi conductive device, comprising a guide and an actuator, is kinematically interconnected by a crank drive and parallelogram mechanism, and one of the links of the parallelagram mechanism is hollowed out in the form of a slider, characterized in that the goal of noBtauing performance and durability, the saw is equipped with additional parcellogram and crank mechanisms, with an additional parallelogramme mechanism associated with the main elastic links and the additional crank mechanism; Hansm - with the help of gears, the gfich of the guide was made by one of the links of the additional parallels G1 ammnrgo mea 1ema "Information sources taken into account during examination 1, USSR Author's Certificate 209947, CL, 23 V 1/00, 1964. 2, Patent of France No. 1292867, cl. B.28; D 1/00, 1961,
аbut
1717
9ti.J9ti.J