SU568014A1 - Способ определени разнотолщинности пьезокварцевых пластин - Google Patents

Description

(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗНОТОЛЩИННОСТП ПЬЕЗОКВАРЦЕВЫХ ПЛАСТИМ

1

Изобретение касаетс  неразрушающего контрол  и может использоватьс  при иэмерении разно толщинных плоских пьезоквар цевых пластин.

Известен способ определени  толщины пьезопластин, по которому измер ют спектр дебаевских шумов и по ним суд т о толщине пластины.

Однако известный способ определени  толщины пьезопластины имеет низкую точ- ность измерени , св занную с трудностью измерени  небольших амплитуд и дебаевских шумов 1 . ,

Известентакже способ определени  разнотолщинных плоских пьезокварцевых пластин , по которому контролируемую пьезокварцевую пластину помешают между двум  возбуждающими электродами, которые подключены к генератору, и измер ют частоту пооледовательного резонанса пластины 23 .

Недостаток известного способа определени  разнотолщинносги пьезокварцевых пластин заключаетс  в том, что при контроле невозможно сохранение воздушного зазора

между электродами, и поэтому получаи/г низкую точность измерени ,

Кроме того, недостаткам ГИЗБесгпого способа ПЕШ ютс  Е5ысо:ка  грудоог-.1кость и недостаточна  производи т агшиосгь.

С целью повышени  точности контрол  и упрощени  процесса измерени , определ ют величину девкащш частопл колебаг1Т й генератора ггрй пагвмещеш 150збу клаюишл электродов по гармо1тческо ;у закону RT оси до кра  пьеаокварцевой пласткнзл п вращении их вокруг оси пластишл.

Способ (осуществл етс . следующим образом .

Контролируемую пьезокварцевую пластину помещают между двум  возбуждаюншми электродами, которые подключены к гене- ратору, перемещаю их от оси до кра  пластины по гармоническому закону.

Так как частота последоваг ельного розонапса цьезокварцевой пласгины зависит от толщины активной зоны пластины, заклк ченной между электродами, при перемеще НИИ возбуждающих, электродов измен етс  частота колебаний кварцевого геи.ератора ,

которые оказываютс  промодупированы по частоте. При этом частота модул ции равна частоте перемещени  возбуждающих электродов ,а /девиаци  частоты определ етс  рааностью толщины активной зоны пластнны в области перемещени  электродов, что позвол ет путем измерени  девиацин частоты . генератора оп юделить величину разнотолщинности I пьезокварцевой пластиш 1. Причем ({змеритель глубины девиации может быть проградуирован непосредственно в значени х разнотолщинности пластины.

Пр  оценке разнотолщинности пьезокварцеврй пластины необходимо определ ть зоны максимальной разното щинности, т.е. определ ть направление клиновидноети плас .тины, что позволит провести ее исправление . Указанные зоны могут быть определены по максимальному значению девнацин частоты колебаний генератора при вращении плоскости перемещени  электродов вокруг оси пластины.

Предложенный способ измерени  разнотолшинности плоских пьезокварцевых плао тин более эффективен, в том случае ; когда, площадь возбуждающих электр1оаов значительно меньше площади Ш1аств ы По этому способу измерени  приращение частоты последовательного резонанса oneiufваетс  за каждый период модулнруюшей частоты , поэтому почти полностью исключает с  погрешность за счет факторов, оказывающих дестабилизирующее вли ние на параметры и характеристики пьезокварцевой пластины.

Claims (1)

1.За вка № 2О97131 ло которой прин то рещение о выдаче авторского свидетельства .

2,Авторское свидетельство № 456351, кл. Н 9/ОО, 1972 г.