SU565272A1 - Оптическа система - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к проекциоилым системам, в частности, дл  проекции изображени  фотошаблона на полупроводниковую пластину при производстве микроэлектрониых схем.

Известны проекционные систе мы, в которых осуществл етс  одновремеппый перенос изображений всех элементов фотошаблона на полупроводни;ковую пластину с высоким разрешением по всему полю зрени  системы 1. Однако вследствие недостаточной глубины резкости таких систем возможность исиользовали  их дл  проекции изображеиий обьектоз на поверхность со значительными отступлени ми от плоскости, например поверхность полупроводвиковой пластины, ограничена.

Дл  уменьшени  вли ни  неплоскостности фоточувствптельной поверхиост} полупроводни-ковой пластины используют системы с автоматической фокусировкой 2, В этих системах при одновременном переменхе 1и.и фотошаблона и полупроводниковой пластины соблюдение посто нства масштаба в процессе зкспонировани  обеспечиваетс  за счет выполнени  системы из двух одинаковых объективов , что, в свою очередь, приводит к уве-. личению рассто ни  между предметом и изображением, дл  уменьшени  которого требуетс  изло.м оптической оси.

Системой, в которой учтены указанные

выше треоовани ,  вл етс  проекционна  система 3, 4, 5 с увеличением «+1, содержаща  два одинаковых объектива с вогнутым зеркалом в каждом из них, размещенную между ними полевую диафрагму и установленные соответственно перед первым и за вторым объективами плоские отражатели, наклоненные к их оптическим ос м на 45. Однако эта система имеет поле зрени  малых размеров из-за чего снижаетс  производительность процесса изготовлени  микросхем. В предлагаемой системе дл  увеличении нол  изображени  каждый из объективов выполнен не менее, чем из двух компонентов,

крайние из которых жестко скреплены соответственно с вогнутым зеркалом и с плоским отражателем, а рассто ние между оптическими ос ми объективов равно удвоенному рассто нию от центра диафрагмы до оптической

оси одного из них.

Описываема  система, показанна  на чертеже , служит дл  проекции изображени  части фотошаблона 1 :на параллельную ему полупроводниковую пластину 2 в однократном

Claims (5)

1. масштабе без оборачивани . Система содержит два одинаковых объектива, каждый из которых составлен из двух компонентов 3 н 4 (первый объектив) и 5 и 6 (второй объектив ), при этом с компонентами 3 н 5 соответственно жестко св заны отражатели 7 и 8, наклоненные на 45° к оптическим ос м объективов , а е компонентами 4 и 6 - вогнутые зеркала 9 и 10. Изображение части фотошаблона 1 отражателем 7, первым объективом из элементов 3, 4, 9 формируетс  в плоскости полевой диафрагмы 11, совпадающей с плоскостью предмета второго объектива из элементов 5. б, 10, оптическа  ось 12 которого смеисена от целтра диафрагмы 11 на половину рассто ни  этой оси до оптической оси 13 первого объектива . Благодар  компенсации аберраций объективов за счет параллельиого сменкни  их оитических осей в оииса.циой .схеме увеличено поле изображени . Формула изобретен и   Оптическа  система с увеличением «плюс единица, иапри1мер, дл  проекции изображени  фотошаблона на параллельную ему полупроводннковую пластину, содержаща  два одинаковых объектива с вогнутым зеркалом в каждом из них, размещеииую между ними полевую диафрагму и установленные соответственно перед первым и за вторым объективами нлоские отражатели, иаклоненнь е к их оптическим ос м на 45°, отличающа с  тем, что, с целью увеличени  нол  изображени , каждый из объективов выполнен не менее , чем из дв)х комионентов, крайние из которых жестко скреплены соответственно с погнутым зеркалом и е плоским отражателем, а рассто ние между оптическими ос ми объективов равно удвоенному рассто нию от центра диафрагмы до оптической оси одного из них. Источники информации, прин тые во внимание при экспертиле 1.Авторское свидетельство № 310585, G 02В 17/08, 1970.
2. 2.Авторское свидетельство 254815, G 02В 11/34, 1969.
3. 3.Авторское свидетельство № 354389, G 02В 21/02, 1972.
4. 4.Авторское свидетельство № 439778, G 02В 17/08, 1974.
5. 5.«Solid Stale Technology, June 1974, 50-53 (прототип). р