SU559146A1 - Способ обнаружени микроотверстий в тонкостенных издели х - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к области контрольно-измерительной .техники и может быт использовано дл  обнаружени  сквозных M IIроотверстий в пластинах, например из полупроводниковых материалов.

Известен способ обнаружени  сквозных микроотверстий в корпусах малогабаритных приборов, заключающийс  в том, что испытуемый корпус покрывают пенообразующим веществом, например мыльной пленкой, помещают на мембрану и покрывают дхрозрачгной накладкой в виде колпака, например чащкой Петри. Рычагом, расположённым внутри цилиндра, отт гивают гмембрану книзу, создава  под колпаком разрежение. В случае наличи  в корпусе микроотверстий избыток воздуха, наход щегос  внутри KOJ пуса под атмосферным давлением, выходит в область -разрежени , образу  в месте вь хода пузыри 1.

Однако известный способ прадназначен дл  контрол  изделий, имеющих замкнутые полости, и не может быть использован дл  контрол  пласт}ш,

ИзвестенСпособ обнаружени  сквозных микроотверстий в стенках резервуаров, заключающийс  в том, что контролируемый участок обрызгивают водой, прикрывают накладкой - колпаком из органического стекла , откачивают воздух иэ-под колпака. В месте расположени  микроотверстий образ)ютс  воздуишые пузырьки 2.

Известный способ сложен и требует дл  осуществлени  сложного оборудовани .

Цель изобретени  - упрощение обнаружени  микроотверстий.

Это достигаетс  тем что в качестве индилаторной Ж1щкости используют сублимащюнный клей, накладку подогревают и о местах расположени  микроотверстий суд т по пустотам, образова1шым в результагте испарени  кле .

На чертеже предстазлена схема взаимного расположени  нак юдки и контролируемого издели , по сн юща  осуществление способа.

Claims (2)

1. На поверхность контролируек10го издели  .1 приклеивают субллмащюнным клеем 2 накладку 3 из прозрачлого материала, например из стекла. Способ осуществл ют следуюищм образом . Накладку 3 нагревают до температуры плавлени  сублимационного кле , смачивают клеем, размещают контролируемое изделие на Смоченной клеем поверхности ( накладки и прижимают ее грузом. Остужаю соединение до комнатной тe fflepaтypы. При последующем нагреве накладки в случае на личи  в контролируемом изделии микроотве стий 4 клей испар етс  через них и в прос ранстве между изделием и накладкой обра зуютс  пустотЫ. 5, хорошо видимые со стороны накладки. Пустоты повтор ют .форму отверстий. Формула изобретени  Способ обнаружени  микр о отверстий в тонкостенных издели х, заключающийс  в том, что на контролируемую поверх 1ость нанос т индикаторную жид сость и устанавливают на нее накладку из прозрачного мат риала , отличающийс  тем, что, с целью упрощени  процесса обнаружени  микроотверстий, в качестве индикаторной жидкости используют сублимационный клей, накладку подогревают и о местах--расположени  мнкроотверстий суд т по пустотам, образованным в результате испарени  кле . Источники информации, прин5ггые во вш мание при экспертизе: 1. Патент США №3081620, кл. 7340 , 1963.
2. 2. Вакуумный контроль герметичности Letsch B.pichiheilskofrihoPBeH rtiHtePs VaKLiumpuf er aleM be Bi a«Hsiofflank3 MonatsbuP2. Skiveiz, Gas-und WesSer-foichmQiHrterii , 45, Mb 2, 47-50, 1965 (прототип).

   «ееенз  -авва

   V / X

   Ч-Z;

   / / /