SU552176A1 - Устройство дл активного контрол толщины диэлектрических изделий - Google Patents

Description

1

Устройство относитс  к области контрол  толщины диэлектрических изделий пепосредственно в процессе их механической обработки .

Известно микроволновое устройство дл  измерени  толщины диэлектрических изделий и покрытий.

Оно включает в себ  размещенные на едином основании СВЧ генератор и микроволновый интерферометр, выполненный па двойном волноводном тройнике, одно из плеч которого  вл етс  приемно-излучающей антенной, а также соединенные последовательно с выходом детектора интерферометра усилитель низкой частоты и индикатор.

Однако при использовании этого устройства в одном из технологических циклов обработки изделий невозможен активный контроль толщины непосредственно в зоне обработки вследствие пространственного разнесени  измерительного устройства и обрабатывающего инструмента и усложнен в св зи с этим технологический цикл обработки и контрол  толщины изделий.

Целью изобретени   вл етс  осуществление активного контрол  толщины диэлектрического издели .

Дл  этого приемно-излучающа  антенна выполнена в виде круглого волновода с возможностью вращени  вдоль продольной оси

и снабжена обрабатывающим инструментом, например фрезой, размещенным на ее выходном конце, а к выходу усилител  низкой частоты подключен блок сравнени , первый вход которого соединен с выходом усилител  низкой частоты, а второй - с блоком опорного напр жени . Кроме того, усилитель мощности , соединенный с выходом блока сравнени , подключен к реверсивному двигателю, кинематически св занному с основанием интерферометра .

На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства. Предлагаемое устройство содержит размещенные на едином основании I СВЧ генератор 2 и микроволновый интерферометр, выполненный на двойном волноводном тройнике 3, одно из плеч которого подключено к выходу генератора, а другое, ортогональное первому , оканчиваетс  детекторной секцией 4, образу  индикаторное плечо интерферометра. Следующа  симметрична  пара плеч образует рабочее плечо и опорное. В опорное плечо включены переменный аттенюатор 5 и реактивный порщень 6. Рабочее плечо с переменным фазовращателем 7 оканчиваетс  круглым волноводом 8, имеющим возможность вращени  вдоль продольной оси, с обрабатывающим инструментом (фрезой) 9 на конце.

Устройство содержит также подключенный к

выходу детекторной секции 4 усилитель низкой частоты 10, один выход которого соединен с индикатором 11, а другой - с блоком сравнени  12, блок опорного напр жени  13, подключенный к второму входу блока сравнени  12, и усилитель мощности 14, вход которого св зан с выходом блока сравнени , а выход - с реверсивным двигателем 15, кинематически св занным с основанием интерферометра 1.

Работает устройство следующим образом.

Энерги  колебаний от генератора 2 делитс  с помощью двойного тройника 3 интерферометра между его опорным и рабочим плечами . Отраженные от концов этих плеч волны сравниваютс  на СВЧ детекторе в детекторной секции 4. Перед началом работы дл  увеличени  чувствительности интерферометра необходимо сбалансировать рабочее и опорное плечи. Дл  этого выход приемно-излучающей антенны, т. е. круглого волновода 8 с обрабатывающим инструментом 9, закорачивают на металлическое зеркало и с помощью аттенюатора 5 и поршн  6 опорного канала добиваютс  минимума сигнала на СВЧ детекторе секции 4, после чего на место закорачивающего зеркала перед антенной помещают контролируемый материал. Сигнал разбаланса рабочего и опорного плеч, выдел емый на СВЧ детекторе секции 4, поступает на вход усилител  низкой частоты 10, а затем на один из входов блока сравнени  12. На второй вход этого блока подаетс  опорное напр жение , соответствующее номинальному значению толщины контролируемого издели . При отклонении толщины от номинала в большую или меньшую сторону на выходе блока сравнени  12 выдел етс  положительный или отрицательный разностный сигнал, который после усилени  по мощности поступает на реверсивный двигаТеЛь 15 дл  управлени  подачей обрабатывающего инструмента - фрезы 6. Между круглым волноводом 8 и неподвижной частью рабочего плеча волноводного тройника 3 имеетс  посто нный зазор , не преп тствующий распространению электромагнитных воли симметричного типа.. Вращение круглого волновода 8 с жестко укрепленным на его конце обрабатывающим

инструментом 9 осуществл етс  любым известным способом. Контролируемое изделие перемещаетс  линейно в направлении, перпендикул рном к оси излучени  антенны, либо линейно перемещаетс  основание интерферометра 1.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  активного контрол  толщины диэлектрических изделий, включающее СВЧ генератор с микроволновым интерферометром , выполненным на двойном волноводном тройнике, одно из плеч которого  вл етс  приемно-излучающей антенной, и соединенные последовательно с выходом детектора интерферометра усилитель низкой частоты и индикатор , отлил ающеес  тем, что, с целью осуществлени  активного контрол  толщины диэлектрического издели , антенна

   выполнена в виде круглого волновода с возможностью вращени  вдоль продольной оси и снабжена обрабатывающим инструментом , например фрезой, размещенным на ее выходном конце, а к выходу усилител  низкой

   частоты подключен блок сравнени , второй вход которого соединен с блоком опорного напр жени , причем соединенный с выходом блока сравнени  усилитель подключен к реверсивному двигателю, кинематически св занному с основанием интерферометра. oQdi о -н-В