SU538323A1

SU538323A1 - Microprojector Compensation Eye

Info

Publication number: SU538323A1
Application number: SU2146418A
Authority: SU
Inventors: Александр Пантелеймонович Грамматин; Людмила Петровна Фелькина
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6681
Priority date: 1975-06-18
Filing date: 1975-06-18
Publication date: 1976-12-05

Description

(54) КОМПЕНСАЦИОННЫЙ ОКУЛЯР МИКРОПРОЕКТОРА(54) MICRO PROJECTOR COMPENSATION OCTAR

1one

Изобретение относитс к технической физике, а именно к оптике, в частности к микроскопам и микропроекторам дл исследовани готовых микросхем выполненных на отдельных кристаллах путем визуального обнаружени дефектов на поверхности этих микросхем. Минимальный размер дефектов достигает единиц микрон .The invention relates to technical physics, in particular to optics, in particular, microscopes and microprojectors for examining ready-made microcircuits made on individual crystals by visual detection of defects on the surface of these microcircuits. The minimum defect size reaches micron units.

Известны компенсационные окул ры, состо щие из полевой и глазной линз и размещенной между ними полевой дифрагмы ,Compensatory oculi are known, consisting of a field and ophthalmic lens and a field diffraction located between them,

Окул р имеет сложную конструкцию. Позади полевой диафрагмы расположен отрицательный компонент, перед глазной линзой, состо щей из положительной и отрицательной линз, расположен положительный компонент, одна из поверхностей которого выполнена параболической 1,The ocul p has a complex structure. Behind the field diaphragm there is a negative component, in front of the ophthalmic lens, consisting of positive and negative lenses, there is a positive component, one of the surfaces of which is made parabolic 1,

Известны также окул ры, имеющие аналогичную конструкцию и неисправную кривизну изображени и хроматизм увеличени , мен ющийс по полю 2 и З.Also known are oculars having a similar design and faulty image curvature and magnification chromatism varying across fields 2 and 3.

Из известных окул ров указанного типа наиболее близок к предлагаемому изобретению компенсационный окул р, состо щий из двух компонентов, каждый из которых склеен из положительной и отрицательной линз и размещенной между ними полевой диафрагмы 4, Окул р имеет неисправленные кривизну изображени и дисперсию , что недопустимо при использоваНИИ в микропроекторах высокой точности.Of the known oculars of this type, the compensation eye is the closest to the proposed invention, consisting of two components, each of which is glued together from positive and negative lenses and a field diaphragm 4 placed between them, the Oculr has uncorrected image curvature and dispersion, which is unacceptable for used in high precision microprojectors.

Целью изобретени вл етс устранение дисперсии и улучшение качества изображени по полю.The aim of the invention is to eliminate dispersion and improve image quality across the field.

Достигаетс это тем, что в известномThis is achieved by the fact that in the famous

окул ре, содержащем склеенные из положительной и отрицательной полевую и глазную линзы, между которыми размещена полева диафрагма, позади полевой диафрагмы установлен апланатический менисковый компонент, склеенный из дво ковогнутой и дво ковыпуклой линз, выполненных из материалов с разностью показателей прелом .лени пор дка О О,О5 и разностью коэффициентов дисперсии пор дка 15-25.an oculare containing glued from positive and negative field and ophthalmic lenses, between which a field diaphragm is placed, an aplanatic meniscus component glued from two-bent and two-convex lenses made of materials with a difference in the indices of refraction of the order O О is installed behind the field diaphragm. , O5 and the difference in dispersion coefficients of the order of 15-25.

На чертеже дана схема оптики окул ра.The drawing is an optics optics scheme.

Окул р состоит из шести линз 1-6, образующих четыре компонента.The okulr consists of six lenses 1-6, forming four components.

Линзы 1, 2 объединены в один компонент , представл ющий собой полевую линзу окул ра, линзы 5, 6 объединены в компонент , представл ющий глазную линзу окул ра , линзы 3, 4 объединены в компонент, представл ющий собой менисковый аплана- тический компенсатор.Lenses 1, 2 are combined into one component, which is a field lens of the eyepiece, lenses 5, 6 are combined into a component, which represents the eye lens of the eyepiece, lenses 3, 4 are combined into a component, which is a meniscal aplantic compensator.

Описываемый окул р как в центре пол , так и на кра х его при Э 150 мм дает изображение высокого качества. Наличие хроматизма увеличени до 0,7 % позвол ет использовать его дл совместной работы с ахроматическим объективом микропроектора.The described ocular, both in the center of the floor and on the edges of it at E 150 mm, gives a high-quality image. The presence of chromatic magnification up to 0.7% allows it to be used for collaboration with the achromatic micro-projector lens.

Claims

Invention Formula

A microprojector's compensation eye containing glued positive

and negative field and ophthalmic lenses, between which a field diaphragm is placed, characterized in that, in order to eliminate distortion and improve image quality over the field, an aplanatic meniscus component glued from twisted and double convex lenses made of materials is installed behind the left diaphragm with a refractive index difference of the order of 0-0.05 and a dispersion difference of the order of 15-25,

Sources of information taken into account in the examination:

1, USSR Author's Certificate No. 207790, cl. G-02 25/00, dated 1968,

2, K, Michel. Fundamentals of the theory of the microscope, State. publishing house of technical and theoretical literature, 1955, p. 178.

3, Skvortsov G.E., et al. Microscopes, Muschinostroenie 1962, p. 237.

43 01014110 (03 ABC dep VEB T.A-Bpod tioius VerEag-, LeipiTg S