SU377714A1 - MICROSCOPE - Google Patents

MICROSCOPE

Info

Publication number
SU377714A1
SU377714A1 SU1641687A SU1641687A SU377714A1 SU 377714 A1 SU377714 A1 SU 377714A1 SU 1641687 A SU1641687 A SU 1641687A SU 1641687 A SU1641687 A SU 1641687A SU 377714 A1 SU377714 A1 SU 377714A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
plane
lens
microscope
objective lens
rays
Prior art date
Application number
SU1641687A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Б. В. Телешов В. Е. Фридман
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to SU1641687A priority Critical patent/SU377714A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU377714A1 publication Critical patent/SU377714A1/en

Links

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

Изобретение относитс  к области оптических приборов, предназначенных, в частности, дл  контрол  совмещени  изображений при фотолитографических процессах в микроэлектронике . Известны микроскопы, содержащие объектив , окул р и устройство дл  совмещени  в одной плоскости изображений двух плоских объектов, размещенных на различных рассто  ни х от объектива. Предлагаемый микроскоп отличаетс  от известных тем, что в нем дл  упрощени  конструкции устройство соВ|Мещени  выполнено в виде двух склеенных одинаковых по толщ .ине плоскопараллельных пластин из одноосных кристаллов, например кальцита, оси которых наклонны друг к другу. Ми К1роскоп (см. чертеж) содержит -микрообъектив /, окул р 2 и устройство 3 дл  совмещени  двух изображений плоских Объектов 4 и 5 в одну плоскость без нарушени  масштаба. Компенсирующее устройство 3 выполнено в виде двух склеенных плоскопараллельных пластИ|Н 6 и 7, одинаковых по толщине, полученных из одноосных кристаллов, например кальцита. Оси кристаллов 5 и 7 расположены под углом друг к другу такиМ образом, чтобы обеспечить двойное лучепреломление с максимальным разделением лучей на обыкновенный и необыкновенный и созда ние разности хода лучей пр.и прохождении их через кристалл. Дл  упрощени  юстиров-ки устройства компенсирующее устройство может быть установено .между плоскост ми объектов 4 н 5 и микрообъективом /. Устройство работает следующим образом. Лучи от двух разнесенных плоскостей объектов 4 и 5 проход т -через микрообъектив / и компенсирующее устройство . Луч от объекта 4 проходит путь ABCEF, а от объекта 5- путь ВСДР. При соответствующей толщине пластин 6 и 7 разность хода от плос-костей объектов 4 и 5 компенсируетс . Совмещенное изо-бражени-е получаетс  качественным , так как одноосные кристаллы практически не поглощают видимый свет. Предмет изобретени  Микроскоп, содержащий объектив, окул р и устройство дл  совмещени  в одной плоскости .изображений двух плоски.х объектов, размещенных на различных рассто ни х от объектива, отличающийс  тем, что, с целью упрощени  ко-нструкции, устройство дл  совмещени  выполнено в виде двух склеенных одинаковых по толщине плоскопараллельных пластин из одноосных кристаллов, например кальцита, оси которых наклонны одна к другой .The invention relates to the field of optical devices intended, in particular, to control image registration in photolithographic processes in microelectronics. Microscopes are known that contain an objective lens, an ocular, and a device for combining in one plane the images of two flat objects placed at different distances from the objective lens. The proposed microscope differs from the known ones in that, in order to simplify the construction, the device of coV | Mesh is made in the form of two glued together in the same thickness as the plane-parallel plates of uniaxial crystals, for example calcite, whose axes are inclined to each other. The microscopic lens (see drawing) contains a micro-lens / eye lens 2 and a device 3 for combining two images of flat Objects 4 and 5 into one plane without breaking the scale. The compensating device 3 is made in the form of two glued plane-parallel sheets | H 6 and 7, of the same thickness, obtained from uniaxial crystals, for example, calcite. The axes of crystals 5 and 7 are located at an angle to each other in the same way in order to provide double refraction with maximum separation of the rays into ordinary and extraordinary and create a path difference between the rays and their passage through the crystal. To simplify the adjustment of the device, a compensating device can be installed between the 4 n 5 object planes and the micro lens. The device works as follows. The rays from the two spaced planes of objects 4 and 5 pass t through a micro lens / and a compensating device. The beam from object 4 passes the path of ABCEF, and from object 5 - the path of the FARDR. With an appropriate plate thickness of 6 and 7, the difference in travel from the planes of objects 4 and 5 is compensated. The combined image is of high quality, since uniaxial crystals practically do not absorb visible light. The subject of the invention: A microscope comprising an objective lens, an eyepiece and a device for alignment in the same plane of images of two flat objects placed at different distances from the objective lens, characterized in that, in order to simplify the design, the device for combining is made in the form of two glued-plane flat-parallel plates of uniaxial crystals, for example, calcite, whose axes are inclined to one another.

SU1641687A 1971-04-02 1971-04-02 MICROSCOPE SU377714A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1641687A SU377714A1 (en) 1971-04-02 1971-04-02 MICROSCOPE

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1641687A SU377714A1 (en) 1971-04-02 1971-04-02 MICROSCOPE

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU377714A1 true SU377714A1 (en) 1973-04-17

Family

ID=20471010

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1641687A SU377714A1 (en) 1971-04-02 1971-04-02 MICROSCOPE

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU377714A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4676593A (en) * 1983-04-18 1987-06-30 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Eyepiece and photographing device for fiberscope

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4676593A (en) * 1983-04-18 1987-06-30 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Eyepiece and photographing device for fiberscope

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR910003553A (en) Projection Image Display
US3785714A (en) Split-field microscope
US3052152A (en) Optical compensating system
GB394285A (en) Improvements in supplementary devices for optical observation instruments
US1678493A (en) Finder for photographic cameras
SU377714A1 (en) MICROSCOPE
US2262524A (en) Light control by polarization
US2788707A (en) Projection system for stereoscopic images
US3637280A (en) Devices for high-contrast imaging of phase objects in incident-light microscopy
US1637348A (en) Vertical illuminator for microscopes
US2936673A (en) Polarizing optical systems
US2574186A (en) Apparatus for viewing stereoscopic pictures
SU776579A3 (en) Phase capacitor for microscope
GB508219A (en) Improvements in or relating to illuminating means for optical projection
US3274912A (en) Single-lens reflex camera
SU1125592A1 (en) Optical system for producing intermediate image in application of contrasting techniques in microscopes
US668989A (en) Photochromoscopic apparatus.
SU78570A1 (en) Device for viewing transparent objects under a microscope in an interference field
US6549334B1 (en) Transmission illumination type differential interference microscope
US2741151A (en) Apparatus for measuring the roughness of surfaces
US2005777A (en) Stereoscopic photography and objective system therefor
SU538323A1 (en) Microprojector Compensation Eye
SU822126A1 (en) Objective lenz
SU41718A1 (en) Polarizer
SU102939A1 (en) Zona plate