SU524258A1 - Raster electron microscope - Google Patents
Raster electron microscopeInfo
- Publication number
- SU524258A1 SU524258A1 SU2051389A SU2051389A SU524258A1 SU 524258 A1 SU524258 A1 SU 524258A1 SU 2051389 A SU2051389 A SU 2051389A SU 2051389 A SU2051389 A SU 2051389A SU 524258 A1 SU524258 A1 SU 524258A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electron
- electron microscope
- microscope
- raster electron
- raster
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
1one
Изобретение относитс к электронной микроскопии и может быть использовано при разработке растровых электронных микроскопов.The invention relates to electron microscopy and can be used in the development of scanning electron microscopes.
Известен электронный микроскоп просвечивающего типа, в котором дл повьпиени чувствительности и разрешени в качестве преобразовател электронно - оптического изображени в электрические сигналы использован сцинтилл тор с ФЭУ, расположенный за неподвижной сканирующей диафрагмой по ходу электронного луча.A transmission-type electron microscope is known, in which a scintillator with a photomultiplier (PMT) located behind a fixed aperture along the electron beam is used as a transducer for electron-optical image into electrical signals.
Недостатком такого электронного микроскопа вл етс низка разрешающа способность.The disadvantage of such an electron microscope is its low resolution.
Ближайшим прототипом данного изобретени . вл етс растровый электронный микроскоп 2 который содержит электронную пушку, электронно-оптическую систему, столик дл объектов, неподвижную диафрагму, датчик электронов и видеоконтрольное устройство, состо щее из видгоусилитед , приемной электронно-лучевой трубки, генератора разверток приемной трубки и источников питани .The closest prototype of this invention. is a scanning electron microscope 2 which contains an electron gun, an electron-optical system, an object table, a fixed aperture, an electron sensor and a video monitor consisting of a video amplified, cathode-ray receiving tube, a receiving tube sweep generator and power supplies.
Однако и этот микроскоп имеет недостатки: низкое разрешение и слабую чувствительность при малой интенсивности электронов.However, this microscope also has disadvantages: low resolution and low sensitivity at low electron intensity.
Целью изобретени вл етс повышение разрешающей способности микроскопа. Достижение поставленной дели осуществлено тем, что микроскоп снабжен дополнительной электронно-оптической системой формировани и увеличени изображени и отклон ющей системой, которые расположена; под объектом леред диафрагмой по ходу электронного луча, и дискретно-аналоговым устройством, вход которого соединен с датчиком электронов, а выход - со входом индикаторного блока видеоконтрольного устройства.The aim of the invention is to increase the resolution of the microscope. The achievement of the delivered task is carried out by the fact that the microscope is equipped with an additional electron-optical system of forming and magnifying an image and a deflecting system which is located; Under the object there is a diaphragm along the electron beam, and a discrete-analog device, the input of which is connected to the electron sensor, and the output - to the input of the indicator unit of the video monitor.
На чертеже изображена схема электронного микроскопа.The drawing shows a diagram of the electron microscope.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2051389A SU524258A1 (en) | 1974-08-02 | 1974-08-02 | Raster electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2051389A SU524258A1 (en) | 1974-08-02 | 1974-08-02 | Raster electron microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU524258A1 true SU524258A1 (en) | 1976-08-05 |
Family
ID=20593407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU2051389A SU524258A1 (en) | 1974-08-02 | 1974-08-02 | Raster electron microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU524258A1 (en) |
-
1974
- 1974-08-02 SU SU2051389A patent/SU524258A1/en active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4211924A (en) | Transmission-type scanning charged-particle beam microscope | |
| DE69332802T2 (en) | RECORDING SYSTEM | |
| GB1284061A (en) | Electron beam apparatus | |
| US4399360A (en) | Transmission electron microscope employing sequential pixel acquistion for display | |
| SU524258A1 (en) | Raster electron microscope | |
| US3872305A (en) | Convertible scanning electron microscope | |
| US2354263A (en) | Electron microscope | |
| SU399937A1 (en) | ELECTRONIC MICROSCOPE ANALYZER | |
| GB1588234A (en) | Transmission type beam nicroscopes utilising a scanning technique | |
| US3309655A (en) | Ultrasonic diagnostic vibration transducer | |
| SU843025A1 (en) | Electron microscope | |
| RU2018164C1 (en) | Method of image generation in scanning optical microscope | |
| SU535626A1 (en) | Raster electron microscope | |
| JPS6047358A (en) | Electron ray device | |
| KR830002861Y1 (en) | Scanning apparatus for scanning electron microscopes and similar devices | |
| SU565337A1 (en) | Device for visualizing object in electron microscope | |
| GB1210720A (en) | X-ray television microscopes | |
| SU983822A1 (en) | Pulze corpuscular microscore | |
| SU368676A1 (en) | ALL-UNION | |
| JPH0236208Y2 (en) | ||
| SU517080A1 (en) | Raster electron microscope | |
| SU504261A1 (en) | Electron microscope | |
| JPS60138252U (en) | Sample image display device in particle beam equipment | |
| GB1248201A (en) | Electron microscopes | |
| SU801136A1 (en) | Electronic scanning microscope |