SU518330A2 - Манипул тор - Google Patents

Description

(54) МАНИПУЛЯТОР

1

Изобретение относитс  к электростатическим крепежным устройствам, предназначенным дл  оперировани  провод щими и полупровод щими объектами, и может найти применение в планарной технологии полупроводниковых приборов и интегральных .схем на тех операци х, где необходимо манипулировать пластинами из полупроводниковых материалов.

Известен электростатический манипул тор дл  диэлектрических пластин по авт. св. NO 433О24, в котором используетс  взаимодействие электрических зар дов в пластине с электростатическим полем манипул тора. Этот манипул тор снабжен наконечником с двум  электродами, подключенными через коммутатор к источнику напр жени . Основные элементы манипул тора - электроды - расположены на наконечнике выполнены в виде монолитных проводников, закрепленных на наконечнике, запрессованных в него или нанесенных в виде пленок на поверхность наконечника. Недостатком такого манипул тора  вл етс  невысока  надежность работы. Это св зано с тем, чт

электроды имеют плоские рабочие поверхности и жестко укреплены так, что эти поверхности лежат в одной плоскости. Эта плоскость  вл етс  рабочей и именно на ней фиксируетс  закрепл ема  плата. Дд  того, чтобы захватить пластину с помощью известного манипул тора, его рабочую плоскость необходимо с высокой точностью ориентировать параллельно плоскости пластины. В

случае отсутстви  параллельности сгпа электростатического прит жени  пласт Ш1 к рабочей поверхности оказываетс  недостаточной дл  удержани .

Целью изобретени   вл етс  повышение

надежности работы манипул тора.

Это достигаетс  тем, что один электрод становлен с возможностью перемещени  и снабжен контактной площадкой со сквозным вырезом, а другой, выполненный из полупроводникового материала, имеет выпуклую поверхность, обращенную в сторону первого электрода и расположенную напротив вьфеза в контактной площадке первого электрода. На фиг. 1 изображен один из возможных

онструктивных вариантов электростати-

ческого манипул тора; на фиг. 2 - варианты исполнени  упруго подвижного электрода, снабженного сквозным вырезом.

Предлагаемый манипул тор состоит из корпуса 1 с коммутатором и наконечника, вставленного в корпус. Наконечник состоит из двух электродов 2 и 3, прикрепленных к диэлектрической прокладке 4. Электрод 2 из полупровод щего материала, например из СВЧ-феррита, с одной стороны имеет выпуклую поверхность,  вл ющуюс  контактной площадкой дл  электростатического закреплени  пластины - объекта манипулировани . подвижный электрод 3 снабжен контактной площадкой со сквозным вырезом и в нерабочем состо нии упруго уравновешен в положении, прь: котором 1зыпуклость электрода 2 ааправлена.в сторону Контактной площадки электрода 3.

Дл  захвата пластины к электродам с помощью коммутатора подключают напр же ние . и наконечник манипул тора подводитс  к пластине подвижным электродом в ее сторону . Первым пластины касаетс  подвижный электрод. Затем легким нажимом-на корпус электрод из.полупровод щего материала вводитс  в разрез подвижного электрода. При этом направление на сима не об зательно соблюдать строго; достаточно, чтобы люба  из частей выпуклой поверхности полупрово- д щего электрода коснулась поверхности пластины. Под действием разности потении-

алов, приложенных к электродам, на границе между эдектродом из высокоомного полупроводкодего материала и пластиной в области их непосредственного контакта и вблзи этой области происходит накопление элетрических зар дов разных знаков. В результате этого пластина электростатически закрепл етс  на выпуклой поверхности электрода . После этого производ т необходимое перемещение закрепленной пластины, причем в начале перемещени  за счет упругости подвижного электрода и силы электростатического прит жени  пластина плотно прижимаетс  к контактной площадке подвижного электрода. По окончании перемещени  с помощью коммутатора отключают напр жение , сила электростатического прит жени  исчезает, и пластина сбрасываетс  с наконечника.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Манипул тор по авт. св. № 433О24, отли чающийс  тем, что, с це- лыо повышени  надежности работы, один электрод установлен с возможностью перемещени  и снабжен контактной площадкой со сквозным вырезом, а другой, выполненный из полупроводникового материала , имеет выпуклую поверхность, обращенную в сторону первого электрода и расположенную напротив выреза в контактной площадке первого электрода.

   JL

   Ел.