SU516656A1

SU516656A1 - Glaze

Info

Publication number: SU516656A1
Application number: SU2003552A
Authority: SU
Inventors: Назар Дмитриевич Урсуляк; Нина Евгеньевна Деркач; Анатолий Васильевич Белицкий; Михаил Александрович Овчинников
Original assignee: Предприяте П/Я А-1067
Priority date: 1974-03-11
Filing date: 1974-03-11
Publication date: 1976-06-05

Description

(54) ГЛАЗУРЬ(54) GLAZE

1one

Изобретение относитс к составам глазурей дл покрыти изделий из Иттрий-железистого граната, в частности дл покрыти подложек к икросхем.The invention relates to coating compositions for coating articles made from Yttrium-iron garnet, in particular for coating chip chips.

Известны глазури дл покрыти деталей из керамики, содержащие SlO,,,BaO,B,j05j toi О ., ZiiiO . Однако, они не обеспечивают высокое качество поверхности покрытий и увеличение механической прочности деталей из иттрий-железистого граната , например подложек микросхем.Glazes for coating ceramic parts containing SlO ,, BaO, B, j05j toi O., ZiiiO are known. However, they do not provide high quality surface coatings and an increase in the mechanical strength of parts made from yttrium-iron garnet, for example, microcircuit substrates.

Целью изобретени вл етс получение покрытий на иттрий-железистом гранате и повышение механической прочности последнего .The aim of the invention is to obtain coatings on yttrium-iron garnet and increase the mechanical strength of the latter.

Она достигаетс тем, что глазурь дополнительно содержит Vg Oj- при следующем соотношении компонентов, вес.%:It is achieved by the fact that the glaze additionally contains Vg Oj- in the following ratio of components, wt.%:

SiOg 35-4О,5. ВаО 4O-45j 8-12: СаО 3-5 2нО 4-6 1-3.SiOg 35-4O, 5. BaO 4O-45j 8-12: CaO 3-5 2nO 4-6 1-3.

Подложки микросхем из иттрий-железистого граната покрытые описываемой глазурью толщиной ч 30-80 мкм сохран ют высокое качество поверхности и имеют механическую прочность ( 6 24ОО - 260О кг/см ) более, чем на 50% выше по сравнению с неглазурованным изделием из иттрий-железистого граната.Substrates of yttrium-iron garnet microcircuits coated with the described glaze with a thickness of 30-80 µm maintain high surface quality and have mechanical strength (6 24OO-260O kg / cm) more than 50% higher than unglazed yttrium-iron product. grenade.

Барку глазури производ т в газопламенной печи в тигл х из двуокиси циркони при температуре 1550 С.Bark glaze is produced in a gas-flame furnace in zirconia crucibles at a temperature of 1550 C.

Изобретение по сн етс конкретным составом глазури, содержащим (в вес.%):The invention is illustrated by a specific glaze composition containing (in wt.%):

,6; ВаО- 41,4: В О, -9,6,j, 6; BaO- 41.4: V O, -9.6, j

ОаО -3,8j EnO-5,l;Vp ,5.OAO -3.8j EnO-5, l; Vp, 5.

Глазурь нанос т на поверхность деталей, например, шлифованных подложек из иттрийжелезистого граната в виде водной суспензии порошка известными способами (окунаНИ8М , пульверизацией, намазкой и др.) и оплавл ют в окислительной среде при температуре 1000 + 1О О. Окорость подъема температуры равномерна , но не менее 5О С/час при температурах выше 800 О.Glaze is applied to the surface of parts, for example, polished yttrium iron garnet substrates in the form of an aqueous suspension of powder by known methods (DIPI, spray, spreading, etc.) and melted in an oxidizing environment at a temperature of 1000 + 1 O. The temperature rise rate is uniform but not less than 5 O / hour at temperatures above 800 O.

Выдержка при максимальной температуре не более 10 мин. Охлаждение идет со скоростью 50-100 С/час. Дл обеспечени 13-14-го классов чистоты поверхности и высокой плоскопараллельности детали (подложки ) полируют. Температура разм гчени Exposure at maximum temperature not more than 10 minutes. Cooling is at a speed of 50-100 C / hour. To ensure the 13-14th grade of surface cleanliness and high flatness of the part (substrate) is polished. Softening temperature

3434

глазури 750°С, микротвердость 800 кг/ммцелью получени покрытий на иттрий-желеКТР при комнатной температуре 7-1бград зистом гранате и повышени механическойthe glaze is 750 ° C, the microhardness is 800 kg / mm, the goal of obtaining coatings on yttrium-gel at room temperature is 7-1 degrees with a garnet and an increase in mechanical

механическа прочность подложек не менеепрочности последнего она дополнительноthe mechanical strength of the substrate is not less than the strength of the latter; it is additionally

2500 кг/см .содержит при следующем соотношении2500 kg / cm. Contains in the following ratio

Claims

The claims of the s components, weight. %: O -35-40,5

Frosting, including 3 (0. ,, LO. 0 ,,, CJSC 40-45: 8-12; CaO 3-5;

Z.iO, o is different from the fact that, с2п04-6;

516656