SU493053A1 - Микроманипул тор - Google Patents

Description

(54) МИКРОМАНИПУЛЯТОР

Шток 9 пневмоцилиндра служит дл  перемещени  ползуна 7 вверх при помощи сжатого возщха подаваемого через штуцер 10. На щтоке 9 жестко закреплен кронштеин 11с вмонтированным в него микрометрическим винтом 12, На нижней площадке кронщтейна 11 в направл ющих установлена клинообразна  пластина 13, поджимаема  посто нно к микрометрическому винту 12 пружиной 14. К скосу клинообразной пластины 13 поджата плоска  пружина 15, на плоскости которой размещен свободно установленный в направл ющих толкатель 16, св занный с кронштейном посредством пружины 17. Толкатель 16 фиксируетс  в верхнем положении посредством тормозного элемен- та 18, поджимаемого к боковой поверхности толкател  двуплечим рычагом 19, дл  перемещени  которого служит пневмоцилиндр 20, а штуцер 21 служит дл  подачи сжатого воздуха в штоковую полость пнев моцилиндра 20.

Зазор совмещени  Б определ етс  рассто нием между нижней плоскостью штока 9 и верхней плоскостью толкател 

16.

Перед началом работы микроманипул тора полупроводникова  пластина 22 укладываетс  на полусферический пластинодержатель 1, а фотошаблон 6 фиксируетс  на шаблонодержателе 5.

Через штуцер 10 в штоковую полость пневмоцилиндра подаетс  сжатый воздуХ)И шток 9 перемещаетс  вверх, сообща  движение ползуну 7, на котором закреплен пластинодержатель 1| В результате пластина 22 прижимаетс  к фотошаблону 6, Вместе со штоком 9 перемещаетс  также и кронштейн 11 с микрометрическим винтом 12, клинообразной пластиной 13 и толкателем 1.6.

После того как пластина 22 прижметс к фотошаблону 6, через штуцер 21 подаетс  сжатый воздух в штоковую полость цилиндра 20, который перемещает двуплечи рычаг 19 вокруг его оси. Рычаг 19 воздействует на тормозной элемент 18. Последний прижимаетс  к боковой поверхности толкател  16 и фиксирует тем самым его положение.

Фиксированным положением толкател  ;16 определ етс  зазор совмещени  Б. ,,Регулирование этого зазора осуществл етс  посредством микрометрического винта 12, который перемещает клинообразную : пластину 13, а та в свою очередь через плоскую пружину 15 перемещает толкатель 16. При заворачивании микрометрического винта 12 зазор совмещени  Б уменьшаетс , при выворачивании увеличи

ваетс . Поскольку толкатель 16 находитс  в зафиксированном положении в момент при- жати  пластины 22 к фотошаблону 6, то после подачи сжатого воздуха в штоковую полость пневмоцилиндра шток 9 опускаетс  на величину Б. В,это же врем  пружины 8 перемещают ползун 7 к штоку 9, благодар  чему между пластиной 22 и фо- тощаблоном 6 образуетс  зазор совмещени  Б.

Предмет изобретени 

Микроманипул тор, преимуществб 1шо дл  устройств прецизионного совмещени  при изготовлении полупроводниковых микросхем , содержащий пластино держатель, механизм перемещени  пластинодержател  в двух взаимно перпендикул рных в горизонтальной плоскости направл ющих, механизм поворота пластин вокруг вертикаль ной оси, механизм перемещени  пластино- держател  в вертикальной плоскости, снабженный направл ющими и выполненный в виде ползуна, кинематически соединенного с микрометрическим винтом, и клинообразной пластины, тормозной элемент и приводной механизм, отличающийс  тем, что, с целью повышени  плавности изменени  зазора совмещени , механизм перемещени  пластинодержате;ш в вертикальной плоскости снабжен размешелным в направл ющих толкателем и двуплечим рычагом, одно плечо которого взаимодействует с приводным механизмом, а другое с толкателем посредством тормозного элемента , причем толкатель кинематически соединен с микрометрическим винтом посредством клинообразной пластины и с ползуном .

шл.

3.

г/

иг.2

А-А

Фиг.:5