SU483647A1 - Способ получени светочувствительных производных ароматических диазохинонов - Google Patents

Description

светочу встзительного сульфозирован .аого

атлида.

Пр м ер. В трехгорлую колбу, с.б кег1ную обратным холодильником, ка.пельио:: воронкой ,и меша;гкой, загружают 0,05 г-моль 4,4-диоксидифе11иламипа, 0,16 г-моль 1.2-нзфтох 1Но;1ДГ1азид- (2)-5 - сульфохлорида и 7 гмоль диоксана, перемешивают 1 час три 50 С, 3 течение 1 час приба вл ют по .капл м 300 мл 10%-iioro раствора углекислого натрл  до слабощ-елочио реакци.и, выливают смесь з 5 л 3%-ноп сол ной кислоты, отфильтровывают осадок, промывают его днстил.тнрозапиок зодои до иентралыюй реакции по уииверсальному индикатору, затем 500 мл этилового спирта -И сушат ири комнатной температуре. Выход 34,0 г (75%), т. пл. 120-122° С. Получегглый поодукт примен ют в качестве светочувствительного комноиекта позитивных фоторезис:ОЕ , показа-вших при фотолитографических исг;ытан,н х разрешающую способпость более 1000 ирп дефектности 0.5-5 деф/см.

П р е д гд е Т .и з о б р е т е ii-i и  

Способ получени  светочувствительных произ&одных ароматических диазохино,нов «О1ден€а.цией сульфохлорида ароматического диазохипопа с ароматическим диазосоединекием с подвижпым атомом водорода, отличающийс  тем, что, с целью получени  продукта, обеспечивающего высокую разрешающую cnoco6inocTb фоторезиста при чалой дефектности, В качестве ароматического соединени  с подвижным атомом водорода использу от органический амин общей формулы R,ZR2, где

Кз

3

,

Е Г ОН .

v / 1прй Z-NH:

Ri R9 при Z-СО, С(СНз)9 или О; R.-СНз, NOs или ОН.