SU475588A1

SU475588A1 - Projection microscope

Info

Publication number: SU475588A1
Application number: SU1123591A
Authority: SU
Inventors: Михаил Михайлович Русинов; Валентина Петровна Вронская
Original assignee: Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority date: 1967-01-04
Filing date: 1967-01-04
Publication date: 1975-06-30

Description

Данный прибор предназна-чен дл наблюдени объектов в отраженном свете.This device is designed to observe objects in reflected light.

Известны микросиапы, содержащие объектив , окул р и осветительную систему.Microsiapes are known that contain a lens, an ocular and an illumination system.

Цель ивобретени - обеспечение требуемой освещенности и резкости по всему полю зрениЯ при наблюдении объектов, имеющих направленное отражение, например печатных схем полупроводни1ковых приборов.The goal of the invention is to provide the required illumination and sharpness across the entire field of view when observing objects that have directional reflection, for example printed circuits of semiconductor devices.

Цель достигаетс тем, что в предлагаемом приборе отношение тангенсов угла нак.чона предметной плоскости и главиой плоскости объектива к плоскости объектов дополн ет величину , обратную увеличению объектива, до еди.ницы, а ось осветительной системы составл ет с осью мивдроскопа удвоенный угол наклона предметной плоскости.The goal is achieved by the fact that in the proposed instrument the ratio of the tangents of the angle of the tip of the subject plane and the head of the objective plane to the object plane complements the inverse magnification of the objective to one person, and the axis of the lighting system is twice the angle of the objective plane .

На фиг. 1 изображена принципиальна оптическа схема описываемого микроскопа; на фиг. 2 и 3 - оптические схемы конкретных конструкций микроскопов.FIG. 1 shows the principal optical scheme of the microscope described; in fig. 2 and 3 - optical schemes of specific designs of microscopes.

Предлагаемый микроскоп включает осветительную систему 1, составл ющую с осью микроскопа 2 удвоенный угол V наклона предметной плоскости 3 к плоскости объектов (на чертеже не показана), параллельпой плоскости 4 изображени ; общий объектив 5, эквивалентна главна плоскость 6 которого наклонена к предметной плоскости 3, а также коллектив 7, выполн ющий роль экрана.The proposed microscope includes an illumination system 1 comprising, with the axis of the microscope 2, a doubled angle V of inclination of the subject plane 3 to the plane of objects (not shown), parallel to the plane 4 of the image; a common lens 5, equivalent to the main plane 6 of which is inclined to the object plane 3, as well as collective 7, which acts as a screen.

Микроскоп (см. фиг. 2) выполнен с использованием конструктивных узлов микроскопа МБС-1. В выходной зрачок одной из ветвей 8 бинокул рного микроскопа, используемой в качестве осветительной системы, помещаетс источник света 9, а в качестве проекционной системы используетс втора ветвь 10, за которой на определеннол рассто нии помещаетс экран 11.The microscope (see Fig. 2) is made using the structural components of the microscope MBS-1. A light source 9 is placed in the exit pupil of one of the branches 8 of the binocular microscope used as a lighting system, and the second branch 10 is used as a projection system, behind which a screen 11 is placed at a certain distance.

В варианте микроскопа (см. фиг. 3) объектив 12 установлен с возмож1юстью наклона на угол р к оси окул ра 13 так, чтобы узлова точка объектива при его наклоне оставалась на той же оси, что позвол ет задавать необходимый угол V наклона предметной плоскости.In the variant of the microscope (see Fig. 3), the objective 12 is installed with the possibility of inclination by an angle p to the axis of the ocular eye 13 so that the anchor point of the objective when it is inclined remains on the same axis, which allows the desired inclination angle V to be set.

Предмет изобретени Subject invention

Проекционный микроскоп, содержащий объектив , окул р и осветительную систему, отличающийс тем, что, с целью обеспечени требуемой освещенности и резкости по всему полю зрени при наблюдении объектов, имеющих направленное отражение, например печатных схем полупроводниковых приборов, отнощепие тангенсов угла наклона предметной плоскости и главной плоскости объектива кA projection microscope containing an objective lens, an ocular and an illumination system, characterized in that, in order to provide the required illumination and sharpness throughout the field of view, when observing objects that have directional reflection, for example printed circuits of semiconductor devices, plane of the lens to

плоскости объектов дополн ет величину, об34object plane adds a value about 34

ратную уве.игчеиию объектива, до единицы, ьмикроскопа удвоеииьи уго.л нак.чуиа нрелмеaugment the lens, up to a unit, a microscope doubling the angle of the lens

ось осветите.чыюй системы состав inei с ос;,к;ной плоскости.Axis illuminate. of the system, the composition of the inei with the oc ;, to; Noah plane.

475588 475588

Фиг ЛFIG L

, --.-i-- , --.- i--

irHHLnDirHHLnD

((