SU455249A1 - Пьезоэлектрический термодатчик - Google Patents
Пьезоэлектрический термодатчикInfo
- Publication number
- SU455249A1 SU455249A1 SU1908820A SU1908820A SU455249A1 SU 455249 A1 SU455249 A1 SU 455249A1 SU 1908820 A SU1908820 A SU 1908820A SU 1908820 A SU1908820 A SU 1908820A SU 455249 A1 SU455249 A1 SU 455249A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- piezoelectric
- thermal sensor
- sensor
- piezoelectric thermal
- temperature
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области электронной техники, а именно к термодатчикам, которые обычно нспользуютс дл преобразовани и измерени температуры пьезоэлектрических элементов в широком динамическом температурном диапазоне.
Известные термодатчики не обеспечивают достаточной чувствительности в широком динамическом температурном диапазоне и, кроме того, имеют большую нелинейность, что затрудн ет возможность исследовани их дл измерени температуры пьезоэлектрических элементов и резонаторов.
Цель изобретени - создание такого термодатчика , который имеет более высокую точность измерени температуры в широ-ком динамическОМ диапазоне за счет улучшени обшей чувствительности и линейности датчика в рабочем диапазоне температур.
Это достигаетс путем выполнени тер.модатчика в виде совокупности тонкопленочиого платинового резистора, нанесешюго на пьезоэлектрическую , например, кварцевую.нодлон ку , размещенного с помондью элементов креплени в герметическом корпусе, благодар введению компенсационных пйзов (сквозных или по.лых). Базы расположены асимметрично на обеих поверхност х пьезоэлектрической иодложки непосредственно по илатиновому
. -. F, .г р, р,
Ш
ysj
i-tf,.
-шш
пленочному покрытию и создают активные зоны распределенного динамического сопротивлени . Пазы выполн ют, например, электроискровым или лазерным способами, в зависимости от конкретных условий технологического процесса.
На чертеже показан предлагаемый пьезоэлектрический термодатчик.
Термодатчик содержит гер: 1етизированный
баллон 1, пьезоэлектрическую, например, кварцевую подложку 2, электроды 3 и 4, токоподвод щие п крепеж1ные элементы 5 и б, тонкопленочный платиновый резистор 7, сквозные или полые компенсационные пазы 8
и 9 и цоколь 10 с клеммной колодкой 11.
Предмет изобретени
Пьезоэлектрический термодатчик, вынолненный в виде совокупности тонкопленочного платинового сопротивлени i: изол ционной подложки, размещенных в герметнзированном корнусе, отличающийс тем, что, с целью повышени термочувствительности датчика, он дополнительно снабжен пазами, которые расноложены на обенх сторонах пьезоэлектрической подложки но нлaтинoвo пленочному сопротивлению.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1908820A SU455249A1 (ru) | 1973-04-16 | 1973-04-16 | Пьезоэлектрический термодатчик |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1908820A SU455249A1 (ru) | 1973-04-16 | 1973-04-16 | Пьезоэлектрический термодатчик |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU455249A1 true SU455249A1 (ru) | 1974-12-30 |
Family
ID=20549851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1908820A SU455249A1 (ru) | 1973-04-16 | 1973-04-16 | Пьезоэлектрический термодатчик |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU455249A1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4550327A (en) * | 1982-01-08 | 1985-10-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Device for discharging liquid droplets |
| US4719472A (en) * | 1982-06-18 | 1988-01-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head |
-
1973
- 1973-04-16 SU SU1908820A patent/SU455249A1/ru active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4550327A (en) * | 1982-01-08 | 1985-10-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Device for discharging liquid droplets |
| US4719472A (en) * | 1982-06-18 | 1988-01-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU93004648A (ru) | Электрический резистивно-емкостной датчик для измерения физических величин, в частности температуры, и способ его изготовления | |
| SU455249A1 (ru) | Пьезоэлектрический термодатчик | |
| JP2002527767A (ja) | ブリッジ回路内に接続されている圧抵抗性測定抵抗の特性曲線の温度非線形性補償のための回路装置 | |
| SU520518A1 (ru) | Устройство дл измерени температуры жидких и в зких масс | |
| GB2069709A (en) | Temperature compensated ion measurement | |
| JPH0210445Y2 (ru) | ||
| JPH0515975B2 (ru) | ||
| SU430338A1 (ru) | Устройство для измерения электрическихпараметров полупроводниковыхматериалов | |
| SU1661591A1 (ru) | Способ определени термодинамической температуры | |
| SU871155A1 (ru) | Терморегул тор двухкамерного термостата | |
| SU798550A1 (ru) | Вискозиметр | |
| SU832568A1 (ru) | Импульсное регистрирующее устройство | |
| SU567808A1 (ru) | Электрический термометр дл измерени температуры рудного тела | |
| SU1509630A1 (ru) | Устройство дл измерени температуры | |
| SU597955A1 (ru) | Датчик влажности | |
| SU1449881A1 (ru) | Кондуктометр | |
| SU834642A1 (ru) | Устройство дл калибровки измери-ТЕлЕй РАзНОСТи пОТЕНциАлОВ ВпРОВОд щЕй СРЕдЕ | |
| SU427242A1 (ru) | Устройство для калибровки теплометрических систем | |
| SU872982A1 (ru) | Устройство дл измерени температуры | |
| SU131965A1 (ru) | Датчик дл измерени активности ионов водорода | |
| GB1507832A (en) | Voltage sensitive display apparatus | |
| SU585412A1 (ru) | Устройство дл измерени статических деформаций при переменных температурах | |
| SU676928A1 (ru) | Способ измерени частотной характеристики термоанемометрического чувствительного элемента | |
| SU581389A1 (ru) | Устройство дл дистанционного измерени температуры | |
| JPH0810203B2 (ja) | ガス検知方法 |