SU441442A1

SU441442A1 - The method of determining the surface relief

Info

Publication number: SU441442A1
Application number: SU1865787A
Authority: SU
Inventors: В.С. Листовец; Ю.И. Островский
Original assignee: Ордена Ленина Физико-Технический Институт Им.А.Ф.Иоффе Ан Ссср
Priority date: 1973-01-02
Filing date: 1973-01-02
Publication date: 1975-08-25

Description

(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ(54) METHOD FOR DETERMINING SURFACE RELIEF

ственной визуализации отличий рельефе поверхностей сравниваемых объектов.visualization of differences in the relief of the surfaces of compared objects.

Цель достигаетс путем оптического совмещени сравниваемых поверхностей ( совмещени световых волн, рассе нных этими поверхност ми), помещенных в иммерсионную среду.The goal is achieved by optically combining the compared surfaces (combining the light waves scattered by these surfaces) placed in an immersion medium.

На чертеже показана оптическа схема установки дл реализации предлагаемого способа,The drawing shows an optical setup for the implementation of the proposed method.

I Пучок когерентного света от лазера 1 падает на светоделитель 2. Отраженна от делител часть пучка поступает в оптическую схему 3 формировани опорного пучка и затем на регистрирующий материал дл записи голограммы 4, Пучок света, прошедший сквозь светоделитель 2, попадает в оптическую схему 5, формирующую расширенный параллельный пучок света, поступающий в призменную схему 6, котора служит дл одновременного освещени поверхностей обоих сравниваемых объектов 7 и 8, помещенных в иммерсионную камеру 9, и дл совмещени на голограмме 4 световых волн, рассе нных этими поверхност ми.I A beam of coherent light from laser 1 is incident on a beam splitter 2. The part of the beam reflected from the splitter enters the optical circuit 3 of the reference beam and then onto the recording material to record the hologram 4, the beam of light passed through the beam splitter 2, enters An extended parallel beam of light entering the prism circuit 6, which serves to simultaneously illuminate the surfaces of both compared objects 7 and 8 placed in the immersion chamber 9, and to be combined on the hologram 4 st tovyh waves scattered nnyh these surfaces.

Голограмму в такой схеме эксйонируют дважды, измен перед второй экспозицией коэффициент преломлени иммерсионной сре ды 10.A hologram in such a scheme is double-modified, changing the refractive index of the immersion medium 10 before the second exposure.

Записанна на голограмме муарова картина , образованна при наложении двух кон турных рельефных карт, позвол ет при восстановлении с голограммы непосредственно судить об отличи$1х в рельефах поверхностей сравниваемых объектов.The picture recorded on the hologram of the moire, formed by superimposing two contour relief maps, makes it possible to directly judge the difference of $ 1x in the reliefs of the surfaces of the objects being compared with the restoration from the hologram.

Предмет изобретени Subject invention

Способ определени рельефа поверхности путем попеременного голографировани исг. следуемого объекта, помещенного в иммерсионную среду с различными коэффициентами преломлени между экспозици ми, отличающийс тем, что, с целью непосредственной визуализации отличий в релье- , фах поверхностей по крайней мере двух раз- личных объектов, перед записью голограммы i оптически совмещают поверхности объектов, помешенных в упом нутую среду.The method of determining the surface relief by alternating holography isg. the object to be placed in the immersion medium with different refractive indices between exposures, characterized in that, in order to directly visualize the differences in the relays and surfaces of at least two different objects, before recording the hologram i, optically combine the surfaces of objects placed on Wednesday.