SU438727A1 - Устройство дл подачи порошкообразных материалов в испаритель - Google Patents
Устройство дл подачи порошкообразных материалов в испарительInfo
- Publication number
- SU438727A1 SU438727A1 SU1814447A SU1814447A SU438727A1 SU 438727 A1 SU438727 A1 SU 438727A1 SU 1814447 A SU1814447 A SU 1814447A SU 1814447 A SU1814447 A SU 1814447A SU 438727 A1 SU438727 A1 SU 438727A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- evaporator
- hopper
- pipeline
- powdered materials
- cylinder
- Prior art date
Links
Landscapes
- Nozzles (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области вакуумного напылени материалов и предназначено дл подачи иорошкообразных материалов в испаритель при нанесении пленочных покрытий и получении пленочных структур интегральных микросхем.
Известно устройство дл подачи порошкообразных материалов в испаритель, содержащее бункер, трубопровод, соединенный с бункером , поршень, расположенный в трубопроводе , и лоток. Однако оно не осуш;ествл ет напыление нескольких материалов в едином технологическом цикле.
Изменение марки исходного материала вызывает необходимость во вскрытии вакуумной рабочей камеры, смене типа испарител и размеров горловины бункера.
Цель изобретени - осуществление напылени различных материалов в одном технологическом процессе.
Это достигаетс тем, что трубопровод снабжен .цилиндром с отверсти ми различного диаметра по образующей, причем цилиндр расположен коаксиально трубопроводу и кинематически св зан с бункером.
На чертеже представлено устройство.
Устройство состоит из бункера I, трубопровода 2, поршн 3, лотков 4, цилиндра 5 с отверсти ми 6 различного диаметра по образующей . Цилиндр 5 расположен коаксиально труболроводу 2 и механической передачей 7 св зан с бункером 1. Испарители 8 укрепл ютс на турели 9, кинематически св занной с бункером.
Устройство работает следующим образом. При подводе на рабочую позицию испарител 8 цилиндр 5 одновременно с бункером 1 поворачиваетс . При этом отверстие 6, соответствующее напыл емому материалу на поверхности цилиндра 5, совпадает с отверстием бункера 1. Определенна часть материала , наход щегос в одной из секций бункера , высыпаетс в трубопровод 2 и поршнем 3
выталкиваетс в один из лотков 4, подающих материал к испарителю 8.
Предмет изобретени
Устройство дл подачи порошкообразных материалов в испаритель, содержащее бункер, трубопровод, соединенный с бункером, поршень , расположенный в трубопроводе, и лоток , отличающеес тем, что, с целью осуществлени напылени различных материалов в одном технологическом процессе, трубопровод снабжен цилиндром с отверсти ми различного диаметра по образующей, причем цилиндр расположен коаксиально трубопроводу и кинематически св зан с бункером.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1814447A SU438727A1 (ru) | 1972-07-24 | 1972-07-24 | Устройство дл подачи порошкообразных материалов в испаритель |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1814447A SU438727A1 (ru) | 1972-07-24 | 1972-07-24 | Устройство дл подачи порошкообразных материалов в испаритель |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU438727A1 true SU438727A1 (ru) | 1974-08-05 |
Family
ID=20523061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1814447A SU438727A1 (ru) | 1972-07-24 | 1972-07-24 | Устройство дл подачи порошкообразных материалов в испаритель |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU438727A1 (ru) |
-
1972
- 1972-07-24 SU SU1814447A patent/SU438727A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| BE808676A (fr) | Procede pour l'augmentation de la vitesse de depot de revetements a partir de reactifs vaporises | |
| CA959355A (en) | Process for forming external multi-layer resinous coating on cylindrical surface at ambient temperature | |
| ES485901A1 (es) | Procedimiento y disposicion para la entrega a eleccion de por lo menos dos polvos diferentes, transportados mediante un gas propulsor, especialmente para recubrir objetos. | |
| SE429084B (sv) | Sett och apparat for spridning av ett fluidum | |
| BE755696A (fr) | Appareil destine a commande le fonctionnement d'un pistolet de pulverisation | |
| SU438727A1 (ru) | Устройство дл подачи порошкообразных материалов в испаритель | |
| ES213308A1 (es) | UN APARATO PARA DEPOSITAR MATERIAL POR EVAPORACIoN EN VACIO | |
| US2069845A (en) | Coating machine | |
| US1141339A (en) | Continuous can-spraying machine. | |
| JPS54125981A (en) | Semiconductor washing device | |
| US2403994A (en) | Spraying machine | |
| US1227619A (en) | Can-lacquering machine. | |
| US1480561A (en) | Claude p | |
| SU642016A1 (ru) | Устройство дл нанесени покрытий на издели формы тел вращени | |
| US1597183A (en) | Feed mechanism for rotary-drum driers | |
| US2254336A (en) | Container manufacture | |
| SU306761A1 (ru) | Распыливающее устройство | |
| US2955567A (en) | Automatic painting machine | |
| BE866159A (fr) | Procede pour pulveriser un revetement sur les outils compresseurs de machines a fabriquer des articles moules | |
| GB694491A (en) | Improvements relating to the spraying of liquids on to workpieces | |
| US1181415A (en) | Spraying apparatus for dough-dividers. | |
| US1474998A (en) | Automatic carton-mouth-coating machine | |
| GB1080542A (en) | Method of coating the inside of hollow articles and apparatus therefor | |
| JPS5566731A (en) | Dust resistivity evaluation tester | |
| SU530696A1 (ru) | Устройство дл непрерывной модификации и напылени полимерных материалов |