SU432468A1

SU432468A1 - Устройство для прецизионного автоматического позиционирования объекта

Info

Publication number: SU432468A1
Application number: SU1678475A
Authority: SU
Original assignee: Г. М. Кузьмин, В. В. Екимов , В. Б. Фрейман
Priority date: 1971-07-06
Filing date: 1971-07-06
Publication date: 1974-06-15

Description

1

Изобретение относитс к устройствам дл прецизионного автоматического позиционировани объектов, используемых в установках совмещени при производстве изделий микроэлектроники , в делительных машинах, металлорежущих станках с программным управлением и т. п.

Известно устройство дл прецизионного автоматического позиционировани объектов, содержащее двигатель, на оси которого закреплен ротор датчика перемещений позиционного типа, кинематически св занный с кареткой , на которой расположен объект позиционировани , и электрически - с блоком управлени .

Точность позиционировани в таком устройстве ограничиваетс возможност ми механической передачи.

С целью повышени точности в устройстве дополнительно установлены обтюрациониый оптический датчик с растровой штриховой мерой и со штриховым индексом, каретка, датчик перемещений позиционного типа и двигатель , причем растрова штрихова мера и штриховой индекс обтюрациоиного датчика размещены соответственно иа каретке первого датчика перемещений и дополнительной каретке , кинематически св занной с валом дополнительного двигател , на валу которого установлен ротор второго датчика перемещений

позиционного типа, который электрически св зан с блоком управлени .

На фиг. 1 схематично изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 - штриховой индекс , представл ющий увеличенное изображение штриховой меры.

Устройство дл прецизионного автоматического позиционировани объектов включает в себ каретку главного привода 1, гайку 2, винт 3, растровую штриховую меру 4, датчик перемещений позиционного типа с кодовым диском

5,двигатель главного привода 6, микрообъектив 7, штриховой индекс 8, дополнительный двигатель привода индекса 9, второйдатчик перемещений позиционного типа 10, фотоприемник 11, блок управлени 12, осветитель 13, кодовые диски 14, 18, дополнительную каретку 15, винт привода индекса 16 и коллектив 17.

Блок главного привода содержит двигатель

6,винт 3 и гайку 2.

Команда на вывод системы на заданную координату подаетс блоком управлени 12. Заданна координата равна

+ -,

п

где б - шаг штриховой меры; k и п - целые числа.

Главный привод выводит каретку в интервал k8: (ft+l)6 по сигналу от датчика 5.

Сигнал останова привода подаетс от оптического датчика в момент совпадени изображени штрихов штриховой меры 4 и индекса 8.

Дл точного останова в точке с координатой

б+ - необходимо индекс сместить относип

ъ тельно начала отсчета на величину-w

п

(знак «- объ сн етс поворотом изображени в оптической системе).

Смеш,ение индекса 8 на величинуv

осуш,ествл етс по команде от блока управлени до начала движени главного привода.

Предмет изобретени

Устройство дл препйзионного автоматического позиционировани объекта, содержащее двигатель, на оси которого закреплен ротор датчика перемеш;ений позиционного типа, кинематически св занный с кареткой, на которой расположен объект позиционировани , и электрически - с блоком управлени , отличающеес тем, что, с целью повышени точности, в нем дополнительно установлены обтюрационный отпический датчик с растровой штриховой мерой и со штриховым индексом , каретка, датчик перемещений позиционного типа и двигатель, причем растрова штрихова мера и штриховой индекс обтюрационного датчика размещены соответственно на каретке первого датчика перемещений и дополнительной каретке, кинематически св занной с валом дополнительного двигател , на валу которого установлен ротор второго датчика перемещений позиционного типа, который электрически св зан с блоком управлени .