SU429635A1 - Способ получени - окиси алюмини - Google Patents

Description

Hrio6pere;i; e относнгс  к производству dL-окиси и материалов на ее основе , примен емых дл  изготовлени  подложек микросхем с высокгм уровнем vniTerpauHH или дл  гибридиых схем. Известен способ получени  oL-окисн алюмини  и материалов на ее основе путем гер мообргботки шихты их J -окиси алюмини  и добавки, например ,,СиО . Содержаниео1- рО, составл ет 96%. Цп  получени  продукта с удельной по верхиостью от 1 до 25 м /г и повышени  его выхода предлагаетс  способ, по которому в шихту ввод т основную соль алюмини  и влагу из шихты перед термообработ- кой удал ют со скоростью 35-80 вес.%. Таким образом, снижают температуру, при которой CTeric-Hb образовани  j.-окиси алюмини  близка 1ОО%; удельную поверхность порошков регу/гнруют п luiipoKHx пре- делах. Лобавкн (Mg-, Sc и др.) р г юмерно рйспредел ютс  RO всей материала без вс ких операций помола, что гарантирует сох|-)анение чистоты Koitennor продукта. Содержание примесей и слодуюи1ее: не более 0,05% натри  и не более 0,005% железл , титана, марган ш, магни , кальии , хрома, кремни  и бора. Кроме того, применение такого способа позвол ет получать однородные, мелкодио персные пороип и, пригодные дл  спекани  качественной керамики, иобеспечивает по вышение выхода годных изделий. Пример 1. Лл  получени с. в т раствор нитрата алюмини  с содержанием г/л в пересчете на , . Из полученного раствора бысч-ро удал ют влагу, nanpiD-fep способам, распылительной сушки. Данные о скорости удалени  влаги и тег пература суишн, необходимые дл  доспюкени  требуемой дисперсности конечного продукта приведены в табли1;е, Полученный продукт смесь основных tHTparoB апюмии1   иу« подвергают термический обработке при температуре от 1100 до 12О1)С в течение 3 ч. Продукт термической обработки содержит 98-1 ОО% - де/,

429635 Прим&р 2. Гогов г раствор ацегага а мкни  с содержанием 200-250 г/л в пере счеге на А 9., . Из раствора удал ют вла.« гу в распылительной сушилке со скоростью 70 вес.%/с. По; ученный гфодук- подвергают термо обработке при 12 00 С в течение 3 ч. Про дукг термической обработки содержит 98,0 „Д О и имеет удельную поверхность 25 MVr/ Пример 3.. Готов т раствор нийных квасцовое содер санием 40-50 г/л пересчете на Xp..0j. Из попученного раствора удал ют влагу в распылительной сушн ке со скоростью около 50 вес.%/с. Полученный продукт подвергают термообработке при 130О°С в течение 5 ч. Про. укт термической j6pa6oTKh содержит 100% .-окиси алюмини  и имеет удельную поверх-ность 2,5-3,0 м/r. Пример 4. Готов т раствор нитрата алк мини  как указано в примере 1. С ним см& шивают раствор нитрата магни  из расчета 9,.5% Мо О к общему количеству А8., О. Из полученной смеси удал ют влагу в распылительной сушилке со скоростью 45 вес.4,4 Продукт распылительной сушки подвергают термообработке нри температуре от 12ОО до 1250С в течение 3 ч. Продукт термо обработки содержит 1ОО% -А-АБ, О., и имеет удельную поверхность 5 .

Ф , р, „ , „ а „ , о 6 р , , а, , и Способ получени  оС-окиси алюмини  и .ррйапов на ее основе путем термообра- 30 6o-.-4f« шихты из|-окис  алюмини  и добавк ,о. « ,,.Л..р.йостью от 1 до 25 и повышени  его выхода, в шихту ввод т основную соль а юмини  и влагу из шихты перед термооора боткой удал ют со скоростью Зо-8О вес./о/и.