SU421073A1

SU421073A1 - A DEVICE FOR DOWNLOADING A CASSETTE OF CRYSTALS OF SEMICONDUCTOR DEVICES

Info

Publication number: SU421073A1
Application number: SU1759365A
Authority: SU
Original assignee: М. М. Золотаревский, В. И. артынов , А. В. бичев
Priority date: 1972-03-17
Filing date: 1972-03-17
Publication date: 1974-03-25

Description

1one

Изобретение относитс к технологии производства полупроводниковых приборов.The invention relates to the production technology of semiconductor devices.

Известно устройство дл загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов, содержащее электромагнитный вибронривод, форвакуумный насос и съемиый вибролоток с гиезда.ми и отверсти ми, расположенными в канавках вибролотка, через которые осуществл етс вакуумиый присос кристаллов, заполи ющих гиезда. Однако при этом низка производительность труда объ сн етс больщим количеством вспомогательных операций: съемиый вибролоток, расположенный над кассетой , необходимо си ть с устаиовочиых штифтов после засыпки кристаллов и заполнени ими гнезд; установить на кронштейны; повернуть на 180° дл ссыпани лишних деталей в желоб; вновь установить на вибростоле детал ми вниз. После заполнени кассеты вибролоток снимаетс с устаиовочиых щтифтов, переворачиваетс и виовь устанавливаетс на них дл повторени цикла.A device for loading into a cassette of semiconductor device crystals is known, which contains an electromagnetic vibro-drive, a forepump pump and a removable vibrating channel with a socket and openings located in the grooves of the vibratory channel through which a vacuum suction of the crystals filling the hyede takes place. However, at the same time, low labor productivity is explained by a large number of auxiliary operations: the removable vibratory channel, located above the cassette, must be squeezed from the installation pins after the crystals are filled in and the nests are filled; install on brackets; rotate 180 ° to dump excess parts into the gutter; re-install on the vibrating table details down. After the cassette is filled, the vibrating channel is removed from the ustoiovychi shtiftov, inverted and set on them to repeat the cycle.

Иелью изобретеии вл етс иовышение производительности труда за счет уменьшени количества вспомогательных операций.The goal of the invention is to increase productivity by reducing the number of auxiliary operations.

Это достигаетс тем, что вибролоток установлен на оси вращени между двум симметрично расположенными направл ющими t кассетами и вынолнен двусторонним, причемThis is achieved by the fact that the vibratory flow is installed on the axis of rotation between two symmetrically located guide t cassettes and is made double-sided, and

вакуумные нрнсосы каждой из рабочих поверхностей лотка выполнены автономнымн.Vacuum pumps of each of the working surfaces of the tray are made autonomously.

Иа чертеже изображено предлагаемое устройство .The drawing shows the proposed device.

Иа столе 1 устройства расположены направл ющие решетки 2 с отверсти ми и приемником дл кассет 3. Л1ежду решетками иа оси 4 укреплен вибролоток 5, с двух сторои которого имеютс канавки с гнездами 6, через отверсти в которых нроисходит вакуумный присос кристаллов. К корпусу вибролотка через гибкие штанги 7 и трехиозиционный раснределнтель 8 присоединеи форвакуумный насос 9. Кристаллы насыпаютс иа верхнююOn the table 1 of the device, there are guiding gratings 2 with holes and a receiver for cassettes 3. Between the grids and axis 4 there is a reinforced vibrating channel 5, on two sides of which there are grooves with slots 6 through which the suction of crystals occurs. To the body of the vibrating channel through flexible rods 7 and a three-position distributor 8 of the attachment are a fore vacuum pump 9. The crystals are poured over the top

сторону вибролотка 5. Вибратор включаетс , и детали начинают двигатьс по поверхности лотка, заполн гнезда 6. Как только все гнезда заиолн тс детал ми, распределителем соедин ют иасос с заиолнеииой поверхиостью лотка. Детали нрисасываютс к гнездам . Далее лоток поворачиваетс вокруг оси, лишиие .четали ссыпаютс ,в кр 1сталлосборник 10. Лоток устанавливаетс во втором рабочем положении. Занолненна новерхность лотка сvibrating channel 5 side. The vibrator is turned on, and the parts begin to move along the surface of the tray, filling the sockets 6. Once all the sockets are filled with parts, the distributor connects the pump to the surface of the tray. Details are drawn to the sockets. Next, the tray is rotated around an axis, the loose parts are poured into the stall 10. The tray is installed in the second working position. Tray filled with tray

кристаллами прижимаетс к направл ющей решетке зажимом 11. Иасос при нейтральном положенни трехнозициониого расире.телител отсоедин етс от корнуса внбролотка. Ири этом детали отрываютс от гнезд лотка иодthe crystals are pressed against the guide grid by clamp 11. The pump is disconnected from the root of the stem by a neutral position of the three-recision dilution. In this way, the parts are detached from the iodine tray.

действием атмосфериого давлени н, пролета через сквозные отверсти направл ющей решетки 2, попадают в гнезда кассеты 3. Это положение вибролотка вл етс исходным дл загрузки его другой стороны. Предмет изобретенн Устройство дл загрузки в кассету кристаллов Полупроводниковых приборов, содержащее электромагнитный вибропрнвод, вибролоток с вакуумным присосом, форвакуумный нйсос , кристаллосбориик, направл ющие решетки , отличающеес тем, что, с целью ионы шепи производительности, вибролоток установлен на оси вращени между двум симметрично расположенными лаправл ющими с кассетами и выполнен двусторонним, причем вакуумные присосы каждой из рабочих поверхностей лотка выполнены автономными.by the action of atmospheric pressure n, the span through the through holes of the guide grate 2, fall into the slots of the cassette 3. This position of the vibrating channel is the starting point for loading the other side. The invention of a device for loading into a cassette of crystals of semiconductor devices, containing an electromagnetic vibrating prism, a vibratory flow with a vacuum suction, a fore vacuum pump, a crystal spacing, guiding grids, characterized in that, with a view to the performance shepe ions, the vibratory flow is mounted on the axis of rotation between two symmetrically arranged bodies. with double-sided cassettes, and the suction pads of each of the working surfaces of the tray are made autonomous.