SU402965A1 - Держатель образцов для растрового электронного микроскопа - Google Patents
Держатель образцов для растрового электронного микроскопаInfo
- Publication number
- SU402965A1 SU402965A1 SU1709761A SU1709761A SU402965A1 SU 402965 A1 SU402965 A1 SU 402965A1 SU 1709761 A SU1709761 A SU 1709761A SU 1709761 A SU1709761 A SU 1709761A SU 402965 A1 SU402965 A1 SU 402965A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- raste
- sample holder
- electronic microscope
- sample
- secondary electrons
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
1
Известны держатели образцов дл растровых электронных микроскопов (РЭМ), выполненные , например, в виде цилиндров различной формы из немагнитного материала и предназначенные дл исследовани во вторичных электронах топографии поверхности образцов. Однако при исследовании в режиме вторичных электронов такие держатели не позвол ют получить изображени глубоких пор в образцах , так как выт гивающее поле коллектора почти не проникает в эти поры и не обеспечивает сбора вторичных электронов в достаточно большом телесном угле.
Дл получени изображени глубоких нор в исследуемых образцах предлагаемый держатель выполнен в виде магнита, на полюсе которого закреплен образец, размещенного внутри магнитопровода с зазором.
На чертеже схематически показан описываемый держатель.
Образец 1 размещен на полюсе посто нного магнита 2, размещенного внутри магнитопровода 3 с зазором дл прохождени первичного пучка и выхода вторичных электронов на коллектор 4. Магнитное ноле, пронизывающее
2
немагнитный образец, создаетс катушкой 5 подмагничивани или посто нным магнитом 2, составл ющим в случае часть магнитной цепи.
Первичныи электронный пучок облучает образен 1 и выбнваег вторичные электроны. Выбитые со дна или стенок глубоких пор в образце вторичные электропы шнуруютс вдоль силовых линий почти однородного магнитного пол , созданного катушкой подмагничиваии или посто нным магнитом и пронизывающего образец. Это обеспечивает эффективный сбор вторичных электронов в большом телесно.м угле даже со дна глубоких нор. Затем вторнчные электроны ускор ютс электрическим полем и попадают на коллектор.
Предмет изобретени
Держатель образцов дл растрового электронного микроскопа, отличающийс тем, что, с целью получени изображени глубоких пор в исследуемых образцах, он выполпен в виде магнита, на полюсе которого закреплеп образец , размещенного впутри магпитопровода с зазором.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1709761A SU402965A1 (ru) | 1971-10-26 | 1971-10-26 | Держатель образцов для растрового электронного микроскопа |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1709761A SU402965A1 (ru) | 1971-10-26 | 1971-10-26 | Держатель образцов для растрового электронного микроскопа |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU402965A1 true SU402965A1 (ru) | 1973-10-19 |
Family
ID=20491584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1709761A SU402965A1 (ru) | 1971-10-26 | 1971-10-26 | Держатель образцов для растрового электронного микроскопа |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU402965A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4310764A (en) * | 1979-06-12 | 1982-01-12 | Fujitsu Limited | Electron beam irradiation apparatus |
-
1971
- 1971-10-26 SU SU1709761A patent/SU402965A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4310764A (en) * | 1979-06-12 | 1982-01-12 | Fujitsu Limited | Electron beam irradiation apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4714833A (en) | Arrangement for detecting secondary and/or backscatter electrons in an electron beam apparatus | |
| FR2392493A1 (fr) | Microscope electronique | |
| SU402965A1 (ru) | Держатель образцов для растрового электронного микроскопа | |
| Ohtsuki et al. | Dark field imaging of biological macromolecules with the scanning transmission electron microscope | |
| KR890013689A (ko) | 전자빔 노광장치 | |
| Yamamoto et al. | Magnetic domain contrast in backscattered electron images obtained with a scanning electron microscope | |
| JPS57203781A (en) | Plasma working device | |
| JPH10106466A (ja) | 磁界形対物電子レンズ | |
| Yasue et al. | Novel multipole Wien filter as three-dimensional spin manipulator | |
| EP0085323B1 (en) | Electromagnetic lens polepiece structure | |
| JPS5951704B2 (ja) | 磁気レンズ装置 | |
| JPS57172643A (en) | High-resolution scanning electron microscope | |
| US3843904A (en) | Magnetic field geometry for crossed-field devices | |
| JPS62291849A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| Golla-Schindler et al. | SEM Applied on Magnetic Materials: Magnetic Contrast and Morphology Imaging | |
| JP4397708B2 (ja) | 磁気共鳴力顕微鏡および磁気共鳴力顕微鏡用磁気チップ | |
| JPS58148B2 (ja) | デンシジユウ | |
| Cockcroft | A magnet for α-ray spectroscopy | |
| SU62562A1 (ru) | Электронно-лучевой компас | |
| McMullan | The early development of the scanning electron microscope | |
| KR100212707B1 (ko) | 이온 주입 장치용 질량 분석기의 전자 포집 장치 | |
| JP2707534B2 (ja) | 荷電粒子線走査型試料観察装置 | |
| Yamada et al. | MICROTRON CT system achieving 250 μm space resolution which is unable by linac | |
| Koike et al. | Magnetic Domain Observation Using Spin-Polarized Scanning Electron Microscopy | |
| JPS5986145A (ja) | 走査形電子顕微鏡 |