SU397748A1 - METHOD OF CONTROL OF PRODUCT THICKNESS AND COATINGS - Google Patents

METHOD OF CONTROL OF PRODUCT THICKNESS AND COATINGS

Info

Publication number
SU397748A1
SU397748A1 SU1645180A SU1645180A SU397748A1 SU 397748 A1 SU397748 A1 SU 397748A1 SU 1645180 A SU1645180 A SU 1645180A SU 1645180 A SU1645180 A SU 1645180A SU 397748 A1 SU397748 A1 SU 397748A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
coatings
control
energy
radiation
spectrum
Prior art date
Application number
SU1645180A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
В. М. Зыков витель
Original Assignee
Научно исследовательский институт электронной интроскопии при Томскоги политехническом институте С. М. Кирова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно исследовательский институт электронной интроскопии при Томскоги политехническом институте С. М. Кирова filed Critical Научно исследовательский институт электронной интроскопии при Томскоги политехническом институте С. М. Кирова
Priority to SU1645180A priority Critical patent/SU397748A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU397748A1 publication Critical patent/SU397748A1/en

Links

Landscapes

  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)

Description

Изобретение относитс  к области мергзрушающих ИСиытакий материалов :-i издел;гГ| с помощью проникающего излучени , в частности с помощью потока электронов. Известен сиособ контрол  толщины TOHKJLX изделий и покрытий по отражению излучеилл с применением .моиоэнергет.ччесхого пучка электронов, когда с .целью увеличени  вительности контрол  путем выделе ;иу гетичеокой области, в которой отраженное излучение максимально зависит от толщм/ы пздели  (покрыти ), производ т рег;1стр,цию отрал енного излучени  в энергетическом интервале , соответствующем энергетическому спектру вторичного, например, |флуоресцентного излучени , выход которого сильно зависит от толщины издел   (покрыти ). При это.м область необходимой дискриминации отраженного излучени  по энергии обычно хорошо выражена на спектре отраженного 1:злучени  благодар  дискретно.му характеру спектра вторичного излучени . Недостаток известного способа контрол  заключаетс  в том, что он не дает возмож;гости увеличить чувствительность контрол  путем выделени  оптимального энергетического интервала регистрации отраженного излучени  в том случае, когда толщина издели  (покрыти ) слищком велика, чтобы можно было использовать дл  контрол  вторичное излучг;; с дискретным спектром и когда необходимо иснользсзать отражеи)1ые электроны , энергетгческий спектр которых  вл етс  непрерывным. По нредлагаемому способу с целью увеличени  чувствительности известюго метода контрол  отраженные электроны регистрируют в энергетическом интерзале, расположенном в области энергии спектра отраженных электронов, меньщих наиболее веро тнсй энергии спектра, при контроле од1;осоднь х 1;зделий и покрыт:- с отноше1 ием эффект 1вного атомного номера материала покрыт   к эффективному aтo iнoмy номеру подложки больше , и в энергетическом интервале , расположен ом в области энергий, больших наиболее веро тно ; энерги спектра, нр контроле покрытий с отношением эффект}1вного номера покрыти  к эффективному атомному номеру подложки .меньше ед ницы . При расположен энергетических И 7ервалоБ ре истрации отраженных электронов а указан 1ых участках спектра изме 1ение толщины издели  (нокрыт 1 ) обеспеч вает на большее отношение относител ;Ного зменен1   потока регистр: руемых отраженных электронов к относительному 1 з е тению толшзшы покрыти .This invention relates to the field of IP resistant materials: i-product; gG | with the help of penetrating radiation, in particular with the help of a stream of electrons. The known method of controlling the thickness of TOHKJLX products and coatings on the reflection of radiation with the use of myoenergetic electron beam, when, in order to increase the control intensity by isolating, a heterogeneous region in which the reflected radiation is most dependent on the thickness / s of the bunches (coatings) is produced t reg; 1 str, detached radiation in the energy range corresponding to the energy spectrum of the secondary, for example, | fluorescent radiation, the output of which strongly depends on the thickness of the product (coating). At this point, the region of necessary discrimination of reflected radiation by energy is usually well expressed on the spectrum of reflected 1: radiation due to the discrete nature of the spectrum of the secondary radiation. A disadvantage of the known control method is that it does not make it possible; guests can increase the sensitivity of the control by highlighting the optimal energy interval for recording the reflected radiation in the case when the thickness of the product (coating) is too large to be used for controlling the secondary beam ;; with a discrete spectrum and when it is necessary to use reflections) first electrons whose energy spectrum is continuous. In the proposed method, in order to increase the sensitivity of the lime control method, the reflected electrons are recorded in the energy range located in the spectral energy region of the reflected electrons, which are smaller than the most likely energy of the spectrum, when monitored by one, ground x 1, and covered by: - the atomic number of the material is covered to the effective atomic number of the substrate is greater, and in the energy range, it is located in the region of energies greater than most likely; energy spectrum, np control of coatings with the ratio of the effect of the first number of the coating to the effective atomic number of the substrate. less units. When energy and energy of the reflected electrons are located, the first sections of the spectrum, measuring the thickness of the product (uncovered 1), is indicated for a greater relative bearing ratio; there is a change in the flux register: the number of reflected electrons to the relative size of the coating.

SU1645180A 1971-04-06 1971-04-06 METHOD OF CONTROL OF PRODUCT THICKNESS AND COATINGS SU397748A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1645180A SU397748A1 (en) 1971-04-06 1971-04-06 METHOD OF CONTROL OF PRODUCT THICKNESS AND COATINGS

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1645180A SU397748A1 (en) 1971-04-06 1971-04-06 METHOD OF CONTROL OF PRODUCT THICKNESS AND COATINGS

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU397748A1 true SU397748A1 (en) 1973-09-17

Family

ID=20471968

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1645180A SU397748A1 (en) 1971-04-06 1971-04-06 METHOD OF CONTROL OF PRODUCT THICKNESS AND COATINGS

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU397748A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1021072A (en) Selectable wavelength x-ray source, spectrometer and assay method
DE3169659D1 (en) Non-destructive inspection by frequency spectrum resolution
JPS51119289A (en) Method of determining the heterogenous sample of micro-particles
SU397748A1 (en) METHOD OF CONTROL OF PRODUCT THICKNESS AND COATINGS
JPS53122356A (en) X-ray fluorescent film
JPS5412488A (en) Method of detecting drum flange hole position
JPS54113384A (en) Multi-wave spectroscopic photometer
JPS5582006A (en) Measuring method for thickness
JPS55163445A (en) On-line measurement of austenitic quantity in rolled steel plate
JPS51112183A (en) Diffraction pattern detector
JPS5244657A (en) Method of measuring thin film charcteristics by fluorescent x-rays met hod
JPS52104289A (en) Atomic spectrum generator
JPS53113480A (en) Reflecting electron beam detector
JPS5269653A (en) Detector for displacement of scanning beam
JPS55140105A (en) Photo encoder
JPS5435759A (en) Measuring method of numerical aperture of optical fibers
JPS5312625A (en) Improvement of spectral sensitivity of light sensitive material
JPS5648544A (en) Crack detector
JPS551572A (en) X-ray measuring method of retained austenite quantity
GB923989A (en) Improved apparatus for producing bremsstrahlung radiation
JPS5275349A (en) System for measuring thickness of coating film
JPS51131694A (en) Bill discriminator
JPS5563776A (en) Electron beam strength distribution detection
JPS5518984A (en) Infrared ray chopper
JPS5243479A (en) Spectrometric method and spectrometric device