SU394303A1 - Способ очистки графитовых изделий - Google Patents
Способ очистки графитовых изделийInfo
- Publication number
- SU394303A1 SU394303A1 SU1631908A SU1631908A SU394303A1 SU 394303 A1 SU394303 A1 SU 394303A1 SU 1631908 A SU1631908 A SU 1631908A SU 1631908 A SU1631908 A SU 1631908A SU 394303 A1 SU394303 A1 SU 394303A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- graphite products
- cleaning
- cooling
- cleaning graphite
- heating
- Prior art date
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
Изобретение относитс ;к техиоло.гии о-чнстК (И граф итовых 11 элел1иГ1, «атрИмер тигле , ЛОдочек , ионОЛьзуе-мьг.х в полуирюлюдникосо технике )В услови х, лде «еизбежен непосредстаенный контакт особо чистото .расплава полулр01водни ковых -матер.иалав с прафито м.
Известен опособ 0Ч1ИСТ1КИ графитовых «зде;iHii дл полупроводниковой техни1К И «агреваН;ием 1В среде инертного газа, затем iB с.меси с галоидсодержащим газом с последующим охлаждение.м IB восстановительной среде, нанример в углеродсодержащей засыике.
.ПоБЫИ1ен ие псачества очистии графитовых И13дел:иГ1 обеспечиваетс тем, что процесс охлаж;дени очаиценных 1издел1ий ведут в вакууме , это.м необ.ходилго процесс на.греваИИЯ и охлаждени вест.и в раздельных 0|бъемах , что позвол ет устранить вление оиратпого затр :,не11ИЯ иЧ:111цон ;ь;х нзделги inpiniMCс .МИ, ,выдели1ь1111И1.мис в процессе нагро вапи .
Пример. Граиритовыц тигель, предназначенный дл очистки. помещают в герметагческ .и закрываюпгуюс камеру и нагревают в атмосфере гели до 1000-1100°С, а затем в тели с ф|реонОМ-12 до тем-пературы . После ВыдерЖКИ при aroii темшерат-уре в течен ие 20 мин фрео;{ и re.iiiii nepeiicpbiвают , о.ч;1 щенны1 1 тигель иоренос т г. iwiMepy охлаждени , где создают разр |.:ен1;е нор ; ка мм рт. ст. Со.держаг ие npaiiMecei « оч;нщеинО|М .изделии ;контрол11руют спектраль}1ым анализом. Peзyль aт.l анализа приведены iB табЛИЦе. 3 Из таблицы видно, что содержание ир:к:месен в Пробах, отобранных 1нз сбъелга ;н с поверхности излелш , очищенного иредла-гаеМЫ1М опособо.м,В 10--100раз , чем в нробах , .вз тых ит изделий, .изготовленных из очипнеилых но известном способу загото-во к. КолИ-чесгвО хлора п фтора в оч и:нденно1М «о нредлагаемому способу изделии снижено ло |БеличиНЫ менее 1 1ве1 %. 4 Предмет изобретени ОнОсскЗ очистки графитовых изделий дл 1НоЛУП|ров ОДни;к-0 Вой lexHHiKiH путем нагре-за: ,и в с.реде инертн€го газа, а затем в смеси с галоидсоде|)}каи1,им газом с иоследхюнди. охлаждением, отличающийс тем, что, с целью повышен;и качества оЧИстки, охлажление в .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1631908A SU394303A1 (ru) | 1971-03-15 | 1971-03-15 | Способ очистки графитовых изделий |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1631908A SU394303A1 (ru) | 1971-03-15 | 1971-03-15 | Способ очистки графитовых изделий |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU394303A1 true SU394303A1 (ru) | 1973-08-22 |
Family
ID=20468390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1631908A SU394303A1 (ru) | 1971-03-15 | 1971-03-15 | Способ очистки графитовых изделий |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU394303A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6881680B2 (en) | 2002-06-14 | 2005-04-19 | Toyo Tanso Co., Ltd. | Low nitrogen concentration carbonaceous material and manufacturing method thereof |
-
1971
- 1971-03-15 SU SU1631908A patent/SU394303A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6881680B2 (en) | 2002-06-14 | 2005-04-19 | Toyo Tanso Co., Ltd. | Low nitrogen concentration carbonaceous material and manufacturing method thereof |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS56104732A (en) | Preparation of silica glass | |
| DE3270788D1 (en) | Process for making a tempered glas dielectric material for an electical isolator, and isolator obtained | |
| JPS5256854A (en) | Production of porous silicon | |
| SU394303A1 (ru) | Способ очистки графитовых изделий | |
| ES8103927A1 (es) | Un procedimiento de fabricacion de un barquillo moldeado. | |
| CN110002747A (zh) | 一种不易潮解的高纯硫卤玻璃及其提纯制备方法 | |
| Inaoka et al. | Crystalline xylanase | |
| Erasmus et al. | Preparation and properties of silicon monoxide | |
| JPS54978A (en) | Semiconductor device of glass seal type | |
| JPS56155028A (en) | Preparation of optical glass | |
| GB634167A (en) | Improved process of preparing selenium to which is added small quantities of substances for the purpose of increasing its conductivity | |
| JPS5245868A (en) | Process for production of plate-from silicone | |
| JPS5992924A (ja) | 石英ガラスの製造法 | |
| SU126874A1 (ru) | Способ получени кристаллического теллура | |
| JPS6412524A (en) | Vertical type diffusion cvd device | |
| JPS599498B2 (ja) | 光学ガラスの製造方法 | |
| JPS54153569A (en) | Heat treatment method for semiconductor wafer | |
| JPS6437429A (en) | Production of intermediate product for optical fiber | |
| JPS5678434A (en) | Production of optical glass | |
| JPS5785329A (en) | Preparation of decafluorohexa-2,4-diene | |
| SU675032A1 (ru) | Способ изготовлени сегнетоэлектрической керамики | |
| SU1427278A1 (ru) | Способ Асадова М.М. изготовлени халькогенидных таллиевых электродов | |
| JPS51139685A (en) | Process for preparing glutathione | |
| SU1100233A1 (ru) | Способ получени трифторида алюмини | |
| SU388498A1 (ru) | Способ получени монодоменных кристаллов метатанталата лити |