SU393783A1 - Автомат химической обработки изделий - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к оборудованию дл  химической обработки изделий, широко примен емому в электронной и полупроводниковой промышленности. Оно может быть использовано , например, при химической обработке кремниевых и ситалловых пластин.

Известен полуавтомат химического вибротравлени  переходов полупроводниковых приборов , содержащий маазин загрузки, привод, камеры химической обработки, линейно расположенные на вибрационной платформе в соответствии с операци ми технологического процесса , и отсекатель. По наклонному лотку магазина загрузки кассеты с обрабатываемыми издели ми под действием гравитационных сил поступают в первую вибрационную камеру химической обработки, выполненную в виде наклонного лотка, заполн емого жидкостным реактивом. Поднима сь по наклонному лотку первой камеры химической обработки и соскальзыва  с него, кассеты с обрабатываемыми издели ми попадают в следующую аналогичную камеру химической обработки изделий. С последней камеры химической обработки кассеты с издели ми направл ютс  на неподвижный наклонный лоток, с которого они соскальзывают под действием Гравитационных сил. Отсекатели, расположенные в камерах химической обработки вдоль полуавтомата, регламентируют пребывание

кассет на рабочих позици х в соответствии с технологическим временем.

Недостатками известного автомата химической обработки изделий  вл ютс  сложность

и большие габариты из-за наличи  системы отсекателей и определенного (допустимого) угла подъема вибрационных лотков; отсутствие герметизации камер химической обработки и поэтому невозможность химической обработки в одном устройстве разными реактивами , например органическими веществами и кислотой; отсутствие кистевой мойки обрабатываемых изделий, что необходимо, например, при химической обработке поверхности полупроводниковых пласгин.

Предложенный автомат химической обработки изделий отличаетс  от известных тем, что камеры химической обработки снабжены цилиндрическими дисками с кист ми на боковых поверхност х, касающимис  обрабатываемых изделий, примем цилиндрические диски расположены вертикально между обрабатываемыми издели ми в призматических опорах, а вращение цилиндрических дисков вокруг горизонтальной оси обеспечиваетс  действием пр молинейно направленных сил вибрации в вертикальной и горизонтальной плоскост х. Это позвол ет производить объемную жидкостную обработку изделий с применением

кистей в одной камере химической обработки.

что расшир ет технологические возможности автомата.

На фиг. 1 показан автомат дл  химической обработки изделий, общий вид; на фиг. 2 - камера химической обработки, разрез по А-А на фиг. 1; на фиг. 3 и 4 - кассета с обрабатываемым изделием, разрезы по Б-Б и В-В на фиг. 2.

Предлагаемый авгомат содержит вибрационную платформу 1 с площадкой 2 дл  вибрационного транспортировани  кассет 3 с обрабатываемыми издели ми 4 к позиции загрузки 5 до упора 6, с площадкой 7 дл  размещени  камер химической обработки 8, с площадкой 9 дл  вибрационного транспортировани  кассег 3 до упора 10 и вибропривод //, установленный на столе 12.

Автоперекладчик автомата химической обработки изделий состоит из смонтированного на столе 12 пневмоцилиндра 13, на валу порщн  которого установлена крестовина 14 с направл ющим штырем 15 и штангами 16; пневмоцилиндра 17 с валом 18, на котором посредством фланцев 19 закреплена штанга 20 с пневмоцилиндром 2/ имеющим направл ющий щтырь 22, штангу 23 и водило 24; зацепл ющейс  штырем 25 с водилом крышки 26, прикрепленной к штанге 20 посредством кронштейна 27 (фиг. 3), вкладыша 28 и резинового амортизатора 29.

Камера химической обработки 8 имеет корпус 30, жестко установленный на вибрационной платформе /, с ловител ми 31, теплообменником , штуцерами выхода 32 и входа 33, штуцегом 34 дл  слива реактива переливом и выт жки паров и штуцером 35 дл  подачи и слива реактива. В корпусе 30 расположены призматические опоры 36 с дисками 37, боковые поверхности которых имеют кисти (шетки ) 38. Кассета содержит ловители 39, опоры 40, держатели 41 дл  установки обрабатываемых изделий 4. Крышка 26 также снабжена ловител ми 42 дл  погружени  кассеты 5 с обрабатываемыми издели ми 4 в камеру химической обработки 8 и извлечени  из нее. Ловители установлены на оси 43, имеющей штыри 25 дл  их поворота.

Автомат химической обработки изделий работает следующим образом.

Кассеты 3 с обрабатываемыми издели ми 4 устанавливают на площадку 2 дл  вибрационного транспортировани  к позиции загрузки 5 до упора 6. С позиции загрузки 5 кассеты 3 с издели ми 4 с помощью ловителей 42, предварительно повернутых водилом 24, поднимают с помощью пневмоцилиндра 13 и перемещают горизонтально до первой камеры 8 химической обработки. Далее с помощью пневмоцилиндра 21 кассету опускают в камеру химической обработки 8, ловители 42 с помощью водила 24 освобождаютс  поворотом оси 43 от кассеты 3, а крышки 26 без кассет 3 поднимают и возвращают в первоначальное положение. Химическа  обработка изделий 4 в камере

8 производитс  следующим образом.

В П-образных пазах кассеты 3 между обрабатываемыми издели ми 4 в призматических опорах 36 расположены цилиндрические диски 37 с кист ми 38 которые под действием вибрационных сил вращаютс  вокруг горизонтальной оси и обрабатывают повехность изделий 4. Химические реактивы подвод тс  и вывод тс  через штуцера 35. После последовательного перемещени  автоперекладчиком и обработки

в каждой камере 8 кассета 5 с издели ми 4 поступают на позицию выгрузки на площадку 9 вибрационного транспортировани  кассет до упора 10. Предлагаемый автомат проще известных по

конструкции, имеет меньшие габариты. Технологические возможности его расширены и производительность повышена.

Предмет изобретени 

Автомат химической обработки изделий, содержащий вибропривод, вибрационную платформу, имеющую площадку дл  транспортировани  кассет с обрабатываемыми издели ми к позиции загрузки, площадку с автоперекладчиком и камерами химической обработки изделий и площадку дл  транспортировани  кассет с обработанными издели ми с позиции выгрузки изделий, отличающийс 

тем, что, с целью расширени  технологических возможностей, камеры химической обработки снабжены цилиндрическими дисками с кист ми на боковых поверхност х, расположенными в призматических опорах вертикально между

обрабатываемыми издели ми.

л

: 4