SU391633A1

SU391633A1 - CATHODE

Info

Publication number: SU391633A1
Application number: SU1726837A
Authority: SU
Inventors: В. Д. Котов С. Б. Куник
Priority date: 1971-12-20
Filing date: 1971-12-20
Publication date: 1973-07-25

Description

1one

Изобретение может быть использовано в электронной технике, в частности в электровакуумных приборах с вторично-эмиссионными катодами.The invention can be used in electronic engineering, in particular in electrovacuum devices with secondary emission cathodes.

Известные вторично-эмиссионные катоды на основе магниевых, бериллиевых и бариевых сплавов обладают высокими вторичноэлшссионными свойствами в области значений энергии первичных электронов пор дка 500- 1000 э-б и коэффициентом вторичной электронной эмиссии 5 3-6. Однако в низковольт1ных мощных электронных (приборах энерпи первичных электронов не превышает 100-300 э-в. При таких значени х энергии коэффициент вторичной эмиссии катодов составл ет всего 1,5-2,4. Поэтому -.известные вторично-эмиссионные катоды в маломощных низковольтных СВЧ приборах не примен ютс , несмотр на то, что эти катоды обладают р дом преимуществ, основное из которых - малое потребление мощности.Known secondary emission cathodes based on magnesium, beryllium, and barium alloys have high secondary emission properties in the region of primary electron energy in the order of 500–1000 eB and secondary electron emission coefficient 5 3-6. However, in low-voltage high-power electronic devices (devices of primary electrons do not exceed 100-300 electrons. At such energy values, the coefficient of secondary emission of cathodes is only 1.5-2.4. Therefore, the known secondary emission cathodes in low-power low-voltage Microwave devices are not used, despite the fact that these cathodes have several advantages, the main of which is low power consumption.

Цель изобретени - обеспечение работоспособности вторично-эмиссионного 1катода при малых значени х энергии первичных электронов .The purpose of the invention is to ensure the operability of the secondary emission cathode at low values of the energy of the primary electrons.

Это достигаетс тем, что на вторично-эмиссионном катоде с источником кислорода эмиттер выполнен из чистого серебра, через который при рабочих твМ|пературах катода диффундирует кислород, создава на поверхностиThis is achieved by the fact that at the secondary emission cathode with an oxygen source, the emitter is made of pure silver, through which, during working TVM | cathode cathodes, oxygen diffuses, creating on the surface

серебра газовую пленку. Пара Ag-Оа обладает коэффициентом вторичной эмиссии 3- 3,5, при энергии первичных электронов 100-300 . Катод работает следующим образом.silver gas wrap. The pair Ag-Oa has a coefficient of secondary emission of 3-3.5, with the energy of primary electrons 100-300. The cathode works as follows.

Во вре.м работы катод подвергаетс интенсивной бомбардировке электронами. При рабочей температуре катода 500-600°С, котора поддерживаетс за счет электронноDuring operation, the cathode is subjected to intense electron bombardment. At a cathode operating temperature of 500-600 ° C, which is maintained by electronically

бомбардировки или с помощью подогревател , происход т диффузи кислорода из полости с кислородом через серебр ный эмиттер и на его поверхности образуетс слой кислорода , который с материалом эмиттера -by bombing or using a preheater, oxygen diffuses from the cavity with oxygen through a silver emitter and a layer of oxygen forms on its surface, which with the emitter material

серебром образует собственно эмиттер - пару Ag-02. Подбира толщину серебр ной пластины и температуру катода, можно установ (Ить равновесие между процессом распылени газовой пленки под действием электронной бо.мбардиров1ки и ее восстановлением за счет кислорода, поступающего из камеры. Возможное избыточное количество кислорода поглощаетс геттером.silver forms the emitter itself - a pair of Ag-02. By selecting the thickness of the silver plate and the temperature of the cathode, it is possible to establish (Equilibrium between the process of sputtering a gas film under the action of an electron booster and its restoration by oxygen coming from the chamber. Possible excess oxygen is absorbed by the getter.

Вторично-змисоионный катод на основе Ag-Оа при значени х энергии первичных электронов 100-300 э-в -имеет коэффициент вторичной электронной эмиссии пор дка 3,5. Такое значение коэффициента вторичной эмиссии обеспечивает устойчивую работу вторич34The secondary Ag-Oa-based cathode cathode with primary electron energy values of 100–300 eV has a secondary electron emission coefficient of the order of 3.5. Such a value of the secondary emission coefficient ensures stable operation of the secondary 34

о-эмиссионного катодз в низковольтных ма- ра:бочей температуре катода вторично-эмисломощных СВЧ приборах.сионными свойствами, и полость, за полненПредмет изобретени целью упрощени конструкдии катода приo-emission cathodes in low-voltage mara: the cathode's secondary temperature, secondary microwave power devices, and the cavity, filled with the invention to simplify the design of the cathode

Катод дл - электронных .приборов, содер- 5 малых з ачени х энергии первичных элактрожащий керн, имеющий слой, обладающий при нов, керн катода выполнен из серебра.The cathode for electronic devices containing 5 small quantities of energy of the primary elaptogenic core, which has a layer that has features, the cathode core is made of silver.

391633 391633

ную кислородом, отличающийс тем, что, сoxygen, characterized in that