SU389397A1

SU389397A1 - MULTIBREAD WEDGE INTERFEROMETER

Info

Publication number: SU389397A1
Application number: SU1467843A
Authority: SU
Priority date: 1970-08-03
Filing date: 1970-08-03
Publication date: 1973-07-05

Description

II

Изобретение относитс к оптическим устройствам и может быть использовано дл измерени малых перемещений.The invention relates to optical devices and can be used to measure small displacements.

Известны многолучевые интерферометры дл измерени малых перемендений, средн квадратична погрешность которых составл ет 0,002-0,003 мкм. Така точность оказываетс недостаточной в р де случаев, например при проверке чувствительных измерительных головок.Multibeam interferometers are known for measuring small variations, the mean square error of which is 0.002-0.003 µm. Such accuracy is insufficient in a number of cases, for example when checking sensitive measuring heads.

Предложенный интерферометр позвол ет повысить точность измерени малых перемещений благодар тому, что он содержит дополнительную оптическую систему, состо щую из дво копреломл ющей пол ризационной призмы, например призмы Глана-Томпсона , полупрозрачной пластины и внеосевого зеркала, причем дополнительна система повернута вокруг оптической оси относительно ребра клина, образованного основными зеркалами интерферометра, на небольшой угол, не превышающий 1°.The proposed interferometer makes it possible to increase the accuracy of measuring small displacements due to the fact that it contains an additional optical system consisting of a duplicating polarization prism, such as a Glan-Thompson prism, a translucent plate and an off-axis mirror, and the additional system is rotated around the optical axis relative to the edge a wedge formed by the main interferometer mirrors at a small angle not exceeding 1 °.

Применение предлагаемого интерферометра дает возможность визуально проводить особо точные измерени , нанример проверку измерительных головок с ценой делени 0,02 мкм, которые в насто щее врем осуществимы только с помощью значительно более сложных фотоэлектрических устройств.The use of the proposed interferometer makes it possible to visually carry out extremely accurate measurements, such as checking measuring heads with a division value of 0.02 µm, which are currently only possible with much more complex photovoltaic devices.

На фиг. 1 изображена схема предлагаемого интерферометра; на фиг. 2 - картина образовани муаровых полос; на фиг. 3 - вид пол зрени прибора.FIG. 1 shows the scheme of the proposed interferometer; in fig. 2 is a picture of the formation of moire bands; in fig. 3 is a floor view of the instrument.

Интерферометр состоит из осветител , включающего спектральную лампу 1, объектив 2, светофильтр 5; полупрозрачных зеркал 4 и 5; дополнительной оптической системы, содержащей дво копреломл ющую призму 6,The interferometer consists of an illuminator that includes a spectral lamp 1, a lens 2, a light filter 5; translucent mirrors 4 and 5; an additional optical system comprising a duplicating prism 6,

например призму Глана-Томпсона, зеркало 7, полупрозрачную пластину 8, и наблюдательной оптической системы 9.for example, a Glan-Thompson prism, a mirror 7, a translucent plate 8, and an observational optical system 9.

Пучок параллельных лучей, идущих от осветител , падает на полупрозрачные зеркалаA beam of parallel rays coming from the illuminator falls on the translucent mirrors

4 и 5. Е результате многократных отражений лучей между этими зеркалами образуетс интерференционна картина. Оптическа система 9 дает возможность наблюдать узкие полосы равной толщины, локализованные вблизи поверхностей зеркал 4 и 5. Так как зеркала перпендикул рны плоскости чертежа, то ребро клина, а следовательно, и полосы также перпендикул рны плоскости чертежа. После прохождени через дво копреломл ющую призму 6 световой пучок, идущий от осветител , распадаетс на два пучка света, пол ризованных во взаимно перпендикул рных направлени х. Применение дво копреломл ющей пол ризационной призмы в качестве светоделительного устройства позвол ет4 and 5. E The interference pattern is formed as a result of multiple reflections of rays between these mirrors. Optical system 9 makes it possible to observe narrow strips of equal thickness, localized near the surfaces of mirrors 4 and 5. Since the mirrors are perpendicular to the plane of the drawing, the edge of the wedge, and hence the strip, is also perpendicular to the plane of the drawing. After passing through the duplicating prism 6, the light beam coming from the illuminator splits into two beams of light, polarized in mutually perpendicular directions. The use of a double-refractive polarization prism as a beam-splitting device allows