SU389396A1

SU389396A1 -

Info

Publication number: SU389396A1
Application number: SU1687767A
Authority: SU
Priority date: 1971-07-26
Filing date: 1971-07-26
Publication date: 1973-07-05

Description

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИMETHOD FOR CONTROLLING SURFACE ROUGHNESS

1one

Изобретение относитс к области измерительной техники и может быть использовано дл контрол шероховатости поверхности деталей .The invention relates to the field of measurement technology and can be used to control the surface roughness of parts.

Известен способ контрол шероховатости поверхности детали, заключающийс в том, что электрод емкостного датчика накладывают на исследуемую поверхность, вл ющуюс вторым электродом датчика, и прикладывают напр жение . О шероховатости поверхности суд т по изменению емкости между электродом и исследуемой поверхностью.There is a method of controlling the surface roughness of a part, which implies that a capacitive sensor electrode is superimposed on the surface under investigation, which is the second electrode of the sensor, and a voltage is applied. The surface roughness is judged by the change in capacitance between the electrode and the surface under study.

Недостатком известного способа вл етс его небольша чувствительность из-за вли ни паразитной емкости между электродом и исследуемой поверхностью.The disadvantage of this method is its low sensitivity due to the influence of the parasitic capacitance between the electrode and the surface under study.

Предлагаемый способ отличаетс тем, что дл повышени чувствительности к электроду датчика прикладывают усилие отрыва в направлении нормали к поверхности, измер ют его и по нему суд т о шероховатости.The proposed method is characterized in that, in order to increase the sensitivity of the sensor electrode, a tearing force is applied in the direction normal to the surface, it is measured and roughness is judged by it.

На чертелсе представлено устройство, реализующее описываемый способ.A device is presented on the keyboard that implements the described method.

Устройство содержит электрод 1, расположенный под ним полупровод щий слой 2, поверхность которого, обращенна к исследуемой поверхности 3, обработана по классу чистоты V12. Электрод и исследуема поверхность подсоединены к источнику напр жени и.The device contains an electrode 1, a semiconducting layer 2 below it, the surface of which, facing the surface 3 under study, is processed according to the purity class V12. The electrode and the test surface are connected to a voltage source and.

Контроль шероховатости поверхности заключаетс в следующем. Между электродом и исследуемой поверхностью создают посто нное электрическое поле. Величина электростатической силы прит жени между ними обратно пропорциональна квадрату эффективной толщины воздушного зазора d, котора определ етс высотой микронеровностей. К электроду прикладывают усилие F отрыва с помощью электромеханического преобразовател в направлении нормали к исследуемой поверхности, замер ют это зсилие и по заранее сн той номограмме определ ют класс чистоты поверхности.The control of surface roughness is as follows. A constant electric field is created between the electrode and the surface under study. The magnitude of the electrostatic attractive force between them is inversely proportional to the square of the effective air gap thickness d, which is determined by the height of the irregularities. A pullout force F is applied to the electrode using an electromechanical transducer in the direction normal to the surface under test, this force is measured, and the surface cleanliness class is determined using a pre-recorded nomogram.

Предмет изобретени Subject invention

Способ контрол щероховатости поверхности детали, заключающийс в том, что электрод емкостного датчика накладывают на исследуемую поверхность, вл ющуюс вторым электродом датчика, и прикладывают напр жение , отличающийс тем, что, с целью повышени чувствительности, к электроду датчика прикладывают усилие отрыва в направлении нормали к поверхности, измер ют его и по нему суд т о шероховатости.The method of controlling the surface roughness of the part, which implies that a capacitive sensor electrode is superimposed on the test surface, which is the second electrode of the sensor, and a voltage is applied, characterized in that, in order to increase the sensitivity, a pullout force is applied to the sensor electrode surface, measure it and judge it for roughness.