SU387303A1 - Устройство для измерения удельного сопротивления - Google Patents

Устройство для измерения удельного сопротивления

Info

Publication number
SU387303A1
SU387303A1 SU1673944A SU1673944A SU387303A1 SU 387303 A1 SU387303 A1 SU 387303A1 SU 1673944 A SU1673944 A SU 1673944A SU 1673944 A SU1673944 A SU 1673944A SU 387303 A1 SU387303 A1 SU 387303A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
probes
measurement
specific resistance
conductive springs
measuring
Prior art date
Application number
SU1673944A
Other languages
English (en)
Inventor
Л. Н. Костинский А. Д. Шалупова Б. И. Котенев В. П. Ширин Авторы изобретени витель В. А. Коновалов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to SU1673944A priority Critical patent/SU387303A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU387303A1 publication Critical patent/SU387303A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Description

1
Изобретение относитс  к электроизмерительной технике и может быть применено при производстве и контроле полупроводниковых электронных приборов.
Известно устройство дл  измерени  удельного сопротивлени  методом четырех контактов , состо щее из изолирующего корпуса с направл ющими втулками из рубина или сапфира и четырехпружинных контактов, которые одновременно  вл ютс  зондами. Однако в известном устройстве рассто ни  между зондами колеблютс  из-за боковых усилий, возникающих при работе устройства, так как закрепление пружины одностороннее.
Дл  повышени  точности и надежности в в предлагаемом устройстве на свободных концах зондов выполнены щлицевые прорези, через которые пропущены токопровод щие пружины .
На чертеже изображено предлагаемое устройство дл  измерени  удельного сопротивлени .
Устройство состоит из изолирующего корпуса /, зондов 2, токопровод щих пружин 3, проход щих через шлицевой паз зондов, и токосъемных пластин 4, на которые опираютс  токопровод щие пружины.
Устройство работает следующим образом.
При пропускании устройства впиз зонды 2 соприкасаютс  с полупроводниковым материалом и изгибают токопровод щие пружины 3. В зависимости от величины хода устройства мен етс  усилие на концах зондов 2.
При работе пружины 3 проскальзывают относительно кромок токосъемных пластин 4, что снимает боковые усили  на зондах 2 и способствует сохранению рассто ний между ними. Наличие шлица предохран ет зонд от проворота во врем  работы устройства. Это исключает колебани  рассто ни  между концами зондов из-за нецентричного положени  остри  зонда относительно его наружного диаметра.
15
Предмет изобретени 
Устройство дл  измерени  удельного -сопротивлени , в котором перпендикул рно к корпусу размещены зонды, а по кра м корпуса - токосъемные пластины, на которые опираютс  токопровод щие пружины, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности и надежности устройства, на свободных концах зондов . выполнены шлицевые прорези, через которые -пропущены токопровод щие пружины .
SU1673944A 1971-06-24 1971-06-24 Устройство для измерения удельного сопротивления SU387303A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1673944A SU387303A1 (ru) 1971-06-24 1971-06-24 Устройство для измерения удельного сопротивления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1673944A SU387303A1 (ru) 1971-06-24 1971-06-24 Устройство для измерения удельного сопротивления

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU387303A1 true SU387303A1 (ru) 1973-06-21

Family

ID=20480472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1673944A SU387303A1 (ru) 1971-06-24 1971-06-24 Устройство для измерения удельного сопротивления

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU387303A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU387303A1 (ru) Устройство для измерения удельного сопротивления
US2846649A (en) Electrical connector
US4438290A (en) Fast response thermocouple surface probe
JPH0690221B2 (ja) 電子部品の検査のためのプローブ
US2673311A (en) Crystal amplifier
US1415499A (en) Recorder
SU369383A1 (ru) Способ контроля рабочей поверхности абразивных инструментов
SU432701A1 (ru) Контактное устройство
US2449057A (en) Electrical testing device
SU785921A1 (ru) Контактный зажим
SU493946A1 (ru) Контактное устройство
SU492943A1 (ru) Контактное устройство
US3449949A (en) Force gauge
JPS57114866A (en) Measuring device of semiconductor device
SU389551A1 (ru) Библиотека i
SU114133A1 (ru) Потенциометрический датчик линейных ускорений
SU727979A1 (ru) Датчик дл контрол толщины анодной пленки
SU456238A1 (ru) Щуп
SU997023A1 (ru) Бесконтактна клавиша
SU408388A1 (ru) Устройство для измерения переходного контактного сопротивления
SU791509A1 (ru) Прибор дл определени интенсивности износа режущего инструмента
SU957055A1 (ru) Устройство дл измерени износа
SU585562A1 (ru) Контактное устройство
KR840002009Y1 (ko) 평면형 온도 감지기
JPH06216215A (ja) プローブカードにおける接触子構造