SU380690A1 - Смазочно-охлаждающая жидкость для механической обработки металлов - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к области механической обработки материалов алмазно-абраSHiBHbiM инструментом и может быть ирименеНО Hia Иредири ти х, нроизвод щих издели  из полупроводниковых (кремниевы)Х, гермаи евых и других) материалов.

Ввиду снецифических особенностей иолупроводнИковых материалов, а имеиио их высокой твердости (6 но шкале Мооса) и хруикости , которые сильно завис т от темиературного режима,, -механическа  обработка, наиример резка сл итков на пластины,, представл ет значительные трудности. К пластинам из полупроводниковых материалов после отрезки предъ вл ютс  повышенные требовани , например отсутствие трещии, их минимальна  сферичность, минимал1ьна  тлубина нар}шенного сло . Кроме того, отрезаемые пластины толщиной 0,3-0,4 мм часто ломаютс , что приводит к зргачительному браку.

Применение алмазно-абразивного инструмента обеспечивает в основноМ получение изделий , отвечающих указанны;м требовани м. Однако качественные показатели и стойкость алмазно-абразИВНОГО инструмента могут быть значителъно улучшены путем созданаг  наиболее рациональных условий обработки, например благодар  .применению соответствующей смазочио-охлаждающей жидкости.

Известио, что при обработке (резке), например , .кремниевых слитко ; на пластины алн мазными режущими, кр 1гами типа АВРК примепиетс  омазочно-охлаждающа  жидкость (СОЖ), в которую вход т тетраборат иатри  (бура), кальцинироБалн;а  сода, нитрат натри , хлористый аммоний, Na - КМЦ, вазелиновое масло и вода. В известной СОЖ отсутствует компонент, который способствует повыЕнению поверхностной энергии алмазного

инструмента. Така  СОЖ очень жестка , так как единственным смазывающим компонентом среды  вл етс  кальцинированна  сода, что отрицательно сказываетс  на температурном , режиме обработки и соответственно на

качественных -показател х резан1и . Кроме того , известна  СОЖ содержит в своем составе компоненты (бура, нитрат натри , хлористый аммоний), которые отрицательно вли ют на ее иротивозадириые свойства, что увеличивает

количество бракованных изделий но качеству обработанной новерхпости и стойкости ал мазно-абразивного инструмента.

С целью улучшени  качества изделий из лолупроводниковых материалов в состав

предлагаемой смазочно-охлаждающей жидкости введен диэтиленглнколь при следующем соотношен1ии ком 1оиентов (в вес. 7о)Натрийкарбоксим-етилцеллюлоза0 ,15-0,4

Кальцциированиа  сода0,05-0,2

s

Вазелиновое масло

Диэтиленгликоль

Вода

В предлагаемую СОЖ вход т два ком-понента с  рко выраженными поверхностню-аКтивными свойствами (натрийкар-баксиметилцеллюлоза и диэтиленгликоль); все компоненты обладают хорошими смазывающими свойствами , а с целью повышени  противозадирных свойств в ее состав введен ди9т,иленгликоль .

Состав СОЖ ислытывал.и дари резке кремниевых слитков на Пластины- алмазными отрезными кругами типа АВРК. ПрИ этом использовали СОЖ следую1щего состава (в вес. %):

Натрийка рбоксиметилцеллюлоза0 ,3

Кальцинирова на  сод-а0,1

Вазелиновое масло0,3

Диэтиленгликоль0,3

Вода99,0

Как показали результаты промышленных сравнительных испытатаий, предлагаема  СОЖ обеспечивает получение более высоких технико-экономических показателей,, а именно повышает износоустойчивость алмазных отрезных кругов в среднем в 2,3 раза. При этом качество обработанной поверхности улучшаетс  на один класс (с V7 до V8), а сферич380690

ность пластин уменьшаетс  в 1,5-2,0 раза, что значительно облегчает последуюш,ую механическую обработку данных изделий и сокращает обш,ие расходы по их изготовлению. Таким обравом, шредлатаема  СОЖ по сравнению с известньгми позвол ет .повысить Производительность обработки полупроводниковых материалов алмазно-абразивньгми кругами в среднем в 2,3 раза, снизить удельный расход алмазов в инструменте в 1,5-2,0 раз.а, повысить качество обработанной поверхности на один класс, увеличить плоскостность изделий в 1,5-2,0 раз-а, увеличить выход готовой продукции.

Предмет изобретени 

Смазочно-охлаждающа  л{идкость дл  механической обработки металлов ва. основе воды с добавлением кальциниров-аниой сады, натрийкарбокси.метилцеллюлюзьс и вазелинового масл-а, отличающа с  тем, что, с целью улучшени  качестаа изделий из полупроводниковых мате|риалов, в состав жиикости дополнительно введем диэтиленгликоль при следующем соотношении. компон-ентов1 {в вес. %) Натрийкарбоксиметилцеллюлоза0 ,15-0,4

Кальци.ни1рован1на  сода 0,05-0,2

Вазелиновое масло0,2-0,6

Диэтиленгл1и1коль0,25--0,6

ВодаДо 100