(54) ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР(54) PIEZOELECTRIC ACCELEROMETER
Изобретение относити к области измерительной техники. Иавесттаы пьезоэлектрические акселерометры , сод жащие инерционную массу и экранизированный пьезокерамический элемент с электродами. С целью упрощени конструкции и техно логии изготовлени и образовани активного сло внутри керамического блока предложенный акселерометр выполнен в виде монокерамического блока с двум параллел ными р дами сквозных отверстий, в которых размещены измерительные электроды, причем часть блока, расположенна над от версти ми, служит инерционной массой, а электроды выполнены в виде металлического покрыти , нанесенного на внутреннюю поверхность отверстий в монокерамическом блоке. На фиг, 1 показан предложенный акселерометр , общий вид; на фиг. 2 - схема распределени электрического пол в активном слое и функциональных элементов акселе Гойетра. Пьезоэлектрический акселерометр представл ет собой монокерамический блок 1 из пьезокерамики с двум параллельными р дами отверстий 2 малого диаметра, кюталлизированными изнутри и о азуюишмк систему трубчатых электродов. Электроды каждого р да соединены между собой с помощью нанесенных на поверхность керамики проводников 3, к которым припаены Бьшода 4. На поверхность бпока, за ис1ключением области соединени трубчатых электродов, нанесено тонкое металлическое покрытие, вл ющеес экраном 5. Керамика между р дами электродов пол$физуетс , при этом электрическое поле в керамике распредел етс как показано на фиг. 2. Таким образом после пол ризации в керамике образуютс три зоны , вьгполн$пощие функции основани 6, пьезопреобразовател 7 и инерционной массы 8 При ьибрации инерционна масса действует на пьезопреобразователь с некоторой силой, пропорциональной ускорению.The invention relates to the field of measurement technology. Ievestates are piezoelectric accelerometers, containing inertial mass and screened piezoceramic element with electrodes. In order to simplify the construction and technology of manufacturing and the formation of the active layer inside the ceramic block, the proposed accelerometer is made in the form of a monoceramic block with two parallel rows of through holes in which the measuring electrodes are placed, and the part of the block located above the versts serves as an inertial mass , and the electrodes are made in the form of a metallic coating deposited on the inner surface of the holes in the monoceramic block. Fig, 1 shows the proposed accelerometer, a general view; in fig. 2 is a diagram of the distribution of the electric field in the active layer and the functional elements of the Goyether axel. A piezoelectric accelerometer is a mono-ceramic unit 1 made of piezo-ceramics with two parallel rows of small-diameter orifices 2, co-plated from the inside and around a tubular electrode system. The electrodes of each row are interconnected by means of conductors 3 deposited on the surface of ceramics, to which Bshod 4 are soldered. A thin metal coating is applied to the bpock surface, except for the connection area of the tubular electrodes. Ceramics between the rows of electrodes are $ physics is built, while the electric field in the ceramic is distributed as shown in FIG. 2. Thus, after polarization, three zones are formed in ceramics, which complete the functions of the base 6, piezo transducer 7, and inertial mass 8. When electing, the inertial mass acts on the piezo transducer with some force proportional to the acceleration.
Возникающий при этом в результате пьезоэффекта сигнал также пропорционален ускорению и может быть использован дл . :определени амплитуды, ускорени , формь{, сигнала и частоты вибрации.The signal resulting from the piezoelectric effect is also proportional to the acceleration and can be used for. : determination of amplitude, acceleration, form {, signal and frequency of vibration.