SU368350A1

SU368350A1 - ALL-UNION • 1- ^

Info

Publication number: SU368350A1
Application number: SU1465536A
Authority: SU
Priority date: 1970-07-27
Filing date: 1970-07-27
Publication date: 1973-01-26

Description

1one

Изобретение относитс к области нанесени покрытий в вакууме.The invention relates to the field of vacuum coating.

Известна установка дл нанесени покрытий в вакууме, содержаща камеру, внутри которой расположен испаритель, и шлюзовое устройство, выполненное в виде корпуса, в отверстие которого вмонтирован поворотный шлюзовой ротор. Однако в этой установке ротор по периферии недостаточно уплотнен.A vacuum vacuum coater is known, comprising a chamber inside which an evaporator is located, and a sluice device made in the form of a housing, in the opening of which a rotary sluice rotor is mounted. However, in this installation, the rotor on the periphery is not sufficiently compacted.

Цель изобретени - создание герметичного периферийного уплотнени ротора. Это достигаетс тем, что ротор выполнен из самосмазывающегос материала с кольцевыми и полукольцевьгми полост ми, заполненными материалом , обладающим гидростатическим свойством.The purpose of the invention is to create a sealed peripheral seal of the rotor. This is achieved by the fact that the rotor is made of a self-lubricating material with annular and semi-annular cavities filled with a material having a hydrostatic property.

На фит. 1 представлена установка, общий вид; на фиг. 2 - разрез по А-А на фиг. 1.On the fit. 1 shows the installation, general view; in fig. 2 is a section along A-A in FIG. one.

Установка состоит из камеры /, внутри которой расположен испаритель 2, и шлюзового устройства, выполненного в виде корпуса 3, в отверстие которого вмонтирован поворотный шлюзовой ротор 4 из самосмазывающегос материала с кольцевыми и полукольцевыми полост ми 5, заполненными материалом , обладающим гидростатическим свойством , например ва.куумной резиной, Поджимаемой со стороны торцов тарелками 6 и создающей под действием торцового прижима тарелок радиальное расщирение поворотногоThe installation consists of a chamber / in which the evaporator 2 is located, and a lock device made in the form of a housing 3, in the opening of which is mounted a rotary airlock rotor 4 of self-lubricating material with annular and semi-annular cavities 5 filled with a material having a hydrostatic property, for example with rubber tires, pressed against the ends of the plates 6 and creating under the action of the end clamp of the plates the radial expansion of the rotary

имюзового ротора и герметичное прижатие его к поверхности трени . Корпус со стороны торцов герметично уплотнен крышками 7 и 8, в которых встроены подшипники 9 и манжеткое уплотнение вала шлюзового ротора, соеди 1енного с приводом поворота 10. К корпусу 3 пристыкована система промежуточной откачки 11 дл создани предварительного разр жени в кармане шлюзового ротора сa rotor and hermetic pressing it to the surface of the friction. The casing on the side of the ends is hermetically sealed with covers 7 and 8, in which bearings 9 and a cuff seal of the sluice rotor shaft connected to the rotational drive 10 are built-in. An intermediate pumping system 11 is docked to the casing 3 to create a preliminary discharge in the sluice pocket

изделием, поступающим с загрузочной позиции , Наход щейс в зоне с атмосферным давление .м.product coming from the loading position, located in the zone with atmospheric pressure .m.

Изделие загружают из атмосферы через боковое отверстие корпуса в карман шлюзового ротора 4. Ротор от привода 10 поворачиваетс и переводит изделие на позицию промежуточной откачки 11, а затем в камеру 1. Далее транспортным механизмом 12 изделие из кар.мана щлюзового ротора перемещаетс The product is loaded from the atmosphere through the side opening of the housing into the pocket of the sluice rotor 4. The rotor from the actuator 10 rotates and transfers the product to the intermediate pumping position 11, and then into the chamber 1. Next, by means of the transport mechanism 12, the product moves from the pocket of the locking rotor

на позицию технологической обработки /5. В данном случае в качестве технологической обработки показан процесс катодного распылени в среде инертного или химически активного газа (реактивное распыление), дл которого наиболее эффективно применение предлагаемой полуавтоматической вакуумной шлюзовой установки в силу высокой производительности , простоты регулировани и контрол параметров процесса. Напуск заданного газа происходит непрерывно через системуto the position of technological processing / 5. In this case, as a process treatment, a cathode sputtering process is shown in an inert or reactive gas environment (reactive sputtering), for which the proposed semi-automatic vacuum sluice plant is most effective because of its high performance, ease of control and control of process parameters. The inlet of a given gas occurs continuously through the system.

капуска 14. Одновременно с технологическо обработкой издели идет выгрузка в ат1Мосферу готового издели и загрузка очередного полуфабриката в диаметрально расположенный карман шлюзового ротора 4.Kapus 14. Simultaneously with the technological processing of the product, the finished product is unloaded into the atmosphere of the finished product and the next semifinished product is loaded into a diametrically located pocket of the lock rotor 4.

После технологической обработки изделие перемещаетс транспортным механизмом 12 обратно в карман шлюзового ротора 4 и выводитс на исходную позицию. Причем, одновременно в камеру / лостртает очередной полуфабрикат , ранее загруженный оператором в диаметрально расположенный карман шлюза.After processing, the product is moved by the transport mechanism 12 back to the pocket of the lock rotor 4 and brought to its original position. Moreover, at the same time, another semifinished product, previously loaded by the operator in a diametrically located gateway pocket, is simultaneously in the camera / lostr.

Предмет изобретени Subject invention

Установка дл нанесени покрытий в вакууме , содержаш,а камеру, внутри которой расположен испаритель, и шлюзовое устройство , выполненное в виде корпуса, в отверстие которого вмонтирован поворотный шлюзовый ротор, отличающийс тем, что, с целью создани герметичного периферийного уплотнени ротора, Последний выполнен из самосмавывающегос материала с кольцевыми и полуколъцевыми полост ми, заполненными материалом, обладаюшим гидростатическим свойством.A vacuum coating installation contains a chamber inside which an evaporator is located, and a sluice device made in the form of a housing, in the opening of which a rotary lock rotor is mounted, characterized in that, in order to create a sealed peripheral seal of the rotor self-hardening material with annular and semi-annular cavities filled with material having a hydrostatic property.

к гагодой магистралиto gagoda highway