SU363864A1

SU363864A1 - COORDINATE MEASUREMENT DEVICE

Info

Publication number: SU363864A1
Application number: SU1610570A
Authority: SU
Inventors: Е. И. Финкельштейн В. А. Бирючков Б. М. Левин
Original assignee: Авторы изобретени витель
Priority date: 1970-12-18
Filing date: 1970-12-18
Publication date: 1972-12-25

Description

1one

Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике, а именно к оптическим измерительным приборам, предназначенным дл измерени увеличенного контура издели в проход щем и отраженном свете, в частности, дл контрол фотошаблонов.The invention relates to instrumentation engineering, in particular to optical measuring instruments for measuring the enlarged contour of the product in transmitted and reflected light, in particular, for controlling photomasks.

Известен прибор дл координатных измерений увеличенного контура издели в проход щем и отраженном свете, содержащий стол дл установки издели , визирный микроскоп дл проектировани контура издели , измерительные оптические шкалы и отсчетные устройства .A device for coordinate measurements of an enlarged contour of a product in transmitted and reflected light is known, comprising a table for mounting the product, a sighting microscope for designing the contour of the product, optical measuring scales and readout devices.

Цель изобретени - повышение точности и производительности измерений. Дл этого предлагаемый прибор снабжен марками, указЬтвающиМИ соответствующие направлени отсчета и установленными в плоскости промежуточного изображени шкал, оптическими элементами, размещенными за марками и позвол ющими получить изображени шкал совместно с марками в окул ре отсчетного устройства, и переключателем, обеспечивающим последовательное включение ламп освещени шкал дл раздельного отсчета по координатам .The purpose of the invention is to improve the accuracy and performance of measurements. For this, the proposed instrument is provided with marks, indicating the corresponding reference directions and installed in the plane of the intermediate image of the scales, optical elements placed behind the marks and allowing to obtain images of the scales together with the marks in the ocular of the reading device, and a switch ensuring the series separate readout by coordinates.

На фиг. 1 изображена оптико-механическа схема отсчетного устройства; «а фиг. 2 - вид пол зрени отсчетного устройства; на фиг. 3- внешний вид прибора.FIG. 1 shows the optomechanical scheme of the reading device; “And FIG. 2 is a field view of the reading device; in fig. 3- appearance of the device.

Свет от источников / через коллекторные линзы 2, пройд конденсоры 3, освещает миллиметровые щтриховые линейные шкалы продольного 4 или поперечного 5 перемещени ,Light from sources / through collector lenses 2, after passing through condensers 3, illuminates millimeter-scale linear scales of the longitudinal 4 or transverse 5 displacement,

расположенные в предметной плоскости микроскопа . Объективы 6 зеркала 7 изображают увеличенные щтрихи шкал 4 и 5 в плоскость марок 8. При помощи оптических элементов: светоделительного кубика 9, объектива 10,located in the subject plane of the microscope. The lenses 6 of the mirror 7 depict enlarged slits of the scales 4 and 5 in the plane of the marks 8. With the help of optical elements: the beam-splitting cube 9, the lens 10,

зеркала // и призмы 12 изображени перенос тс в плоскость микронной щкалы и биссекторной сетки 13 оптического микрометра п рассматриваютс через окул р 14. хИарки выполнены со стрелками, указывающ ими направлени отсчета.The mirrors // and prisms 12 of the image are transferred to the plane of the micron scale and the bisecting grid 13 of the optical micrometer n is viewed through the ocular 14. The mark is made with arrows indicating the reference directions.

Отсчет снимаетс линзовым компенсатором 15.The readout is removed by a lens compensator 15.

Прибор содержит переключатель 16 осветительных ламп, направл ющую /7, несущуюThe device contains a switch of 16 lighting lamps, a guide / 7, a carrier

шкалу 4 и визирный микроскоп 18, направл ющую 19, .несущую шкалу 5 и столик 20 испытуемого издели .a scale 4 and a sight microscope 18, a guide 19, a carrier scale 5 and a table 20 of the test article.

Цифрами 31 и 32 (см. фиг. 2) помечены соответствующие изображени делений шкалThe numbers 31 and 32 (see Fig. 2) mark the corresponding images of the tick marks.

4 и 5.4 and 5.

Цифрами от О до 10 помечены дес тичные делени бифил рной сетки окул рного микрометра и цифрами от О до 50 - делени микронной шкалы. Стрелка - изображение марки 8 определ ет измер емое направление, т. е.The digits from 0 to 10 indicate the decimal divisions of the bifillary grid of the ocular micrometer and the numbers from O to 50 - the division of the micron scale. Arrow - image of mark 8 defines the measured direction, i.e.