SU1820782A1 - Способ формирования пленок двуокиси кремния - Google Patents

Способ формирования пленок двуокиси кремния

Info

Publication number
SU1820782A1
SU1820782A1 SU4825554/25A SU4825554A SU1820782A1 SU 1820782 A1 SU1820782 A1 SU 1820782A1 SU 4825554/25 A SU4825554/25 A SU 4825554/25A SU 4825554 A SU4825554 A SU 4825554A SU 1820782 A1 SU1820782 A1 SU 1820782A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
films
silicon dioxide
precipitation
formation
dioxide films
Prior art date
Application number
SU4825554/25A
Other languages
English (en)
Inventor
А.И. Дударчик
В.Я. Красницкий
А.С. Турцевич
А.Л. Козлов
М.М. Кабаков
Original Assignee
Научно-производственное объединение "Интеграл"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-производственное объединение "Интеграл" filed Critical Научно-производственное объединение "Интеграл"
Priority to SU4825554/25A priority Critical patent/SU1820782A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1820782A1 publication Critical patent/SU1820782A1/ru

Links

Landscapes

  • Formation Of Insulating Films (AREA)

Abstract

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии осаждения пленок двуокиси кремния из газовой фазы, и может быть использовано при производстве сверхбольших интегральных схем. Сущность изобретения: перед осаждением пленки проводят продувку реактора закисью азота при давлении 40 - 266 Па в течение 3 - 20 мин. После осаждения проводят термообработку пленок в кислороде. 1 табл.
SU4825554/25A 1990-05-15 1990-05-15 Способ формирования пленок двуокиси кремния SU1820782A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4825554/25A SU1820782A1 (ru) 1990-05-15 1990-05-15 Способ формирования пленок двуокиси кремния

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4825554/25A SU1820782A1 (ru) 1990-05-15 1990-05-15 Способ формирования пленок двуокиси кремния

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1820782A1 true SU1820782A1 (ru) 1996-11-27

Family

ID=60538584

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4825554/25A SU1820782A1 (ru) 1990-05-15 1990-05-15 Способ формирования пленок двуокиси кремния

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1820782A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2660622C1 (ru) * 2017-09-19 2018-07-06 Акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт "Электрон" Пленка двуокиси кремния на кремнии и способ ее получения

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2660622C1 (ru) * 2017-09-19 2018-07-06 Акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт "Электрон" Пленка двуокиси кремния на кремнии и способ ее получения

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ZA921777B (en) Process and apparatus for the production of gaseous oxygen under pressure
AU8633791A (en) Process and apparatus for the production of hydrogen peroxide from hydrogen and oxygen
NO962683D0 (no) Fremgangsmåte for fremstilling av karbonmonoksid og/eller hydrogen
ATE302170T1 (de) Heissformgebungsverfahren zur herstellung eines glaskörpers sowie dessen verwendung
ZA932796B (en) Process and apparatus for the production of high pressure nitrogen and oxygen
GB2103199B (en) Process and apparatus for the production of ammonia
TW372329B (en) Manufacturing method of semiconductor apparatus and manufacturing apparatus of semiconductor
KR960039135A (ko) 질화물 표면의 개질방법 및 이에 의해 표면개질된 질화물
JPS56831A (en) Surface treatment of silicone resin molded product
ZA944766B (en) Process for the preparation of cellulose fibres and a device for carrying out the process
MD403C2 (ru) Способ увеличения объема табака
ATA60790A (de) Verfahren zur herstellung von feinkoernigen, sinteraktiven nitrid- und carbonitridpulvern des titans
ZA919570B (en) Process and arrangement for the distillation of air in the production of gaseous oxygen under variable operating conditions
DE69123461D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Aluminiumnitrid mittels kontrollierter Nitridierungsverbrennung
SU1820782A1 (ru) Способ формирования пленок двуокиси кремния
AU569196B2 (en) Cascade heat recovery with co production of oxygen and nitrogen from air
EP0518325A3 (en) Epitaxial semiconductor chip with low oxygen zone of adjustable thickness and process of making same
ZA876418B (en) Process for the co-production of gaseous carbon dioxide and hydrogen
EP0291857A3 (en) Method of carbon monoxide production
TW363937B (en) A method for decreasing the metal impurities in the ozone gas piping
DE69910272D1 (de) Kryogenisches Rektifikationsystem zur Herstellung von ultrahochreinem Stickstoff und ultrahochreinem Sauerstoff
EP0765839A3 (en) Method of and apparatus for producing ozone
JPS5541809A (en) Production of oxygen-enriched air
GB9315716D0 (en) Process and apparatus for the production of gaseous nitrogen
ZA987331B (en) Process and apparatus for the joint oxidation and heat treatment of parts