Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-производственное объединение "Интеграл"filedCriticalНаучно-производственное объединение "Интеграл"
Priority to SU4825554/25ApriorityCriticalpatent/SU1820782A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU1820782A1publicationCriticalpatent/SU1820782A1/ru
Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии осаждения пленок двуокиси кремния из газовой фазы, и может быть использовано при производстве сверхбольших интегральных схем. Сущность изобретения: перед осаждением пленки проводят продувку реактора закисью азота при давлении 40 - 266 Па в течение 3 - 20 мин. После осаждения проводят термообработку пленок в кислороде. 1 табл.
SU4825554/25A1990-05-151990-05-15Способ формирования пленок двуокиси кремния
SU1820782A1
(ru)