SU1755039A1 - Профилометр - Google Patents
Профилометр Download PDFInfo
- Publication number
- SU1755039A1 SU1755039A1 SU894769421A SU4769421A SU1755039A1 SU 1755039 A1 SU1755039 A1 SU 1755039A1 SU 894769421 A SU894769421 A SU 894769421A SU 4769421 A SU4769421 A SU 4769421A SU 1755039 A1 SU1755039 A1 SU 1755039A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- profilometer
- fixed
- base
- rod
- profile
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике, Цель - повышение точности профилометра за счет исключени вли ни на результаты измерений волнистости контролируемой поверхности, Это достигаетс за счет того, что в профилометр, содержащий стержень, имеющий игольчатый контактный наконечник, введены подвесы с широкой опорой. К упругим подвесам припа ны два пьезокварцевых резонатора. При огибании профил контролируемой поверхности опора и наконечник под вли нием ее волнистости смещаютс одинаково, что однако не приводит к пЪ вИению сигнала на выходе измерительной схемы, частота выходного сигнала которой зависит от рассто ни между резонаторами и электродами. Такое изменение рассто ний между ж ми будет обусловлено перемещени ми только наконечника при огибании им микронеровностей поверхности. 2 ил.
Description
(Л
С
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени шероховатости поверхностей.
Известны измерительные преобразователи профилометра, имеющие опору, закрепленную на корпусе датчика и иглу, ощупывающую неровности поверхности с целью последующего преобразовани движени этой иглы в электрический сигнал.
Выходной сигнал этих датчиков существенно искажен макрорельефом профил .
Известный измерительный преобразователь с пьезокварцевым элементом имеет корпус с основанием, на котором консольно закреплен стержень с контактным наконечником , выполненным в виде иглы на конце, и расположенными на нем подвижными электродами, размещенными в зазоре между неподвижными резнаторами пьезоквар- цевого измерительного преобразовател перемещений.
Использование этого измерительного преобразовател в качестве профилометра приводит к тому, что в составе его выходного сигнала будет присутствовать информацию не только о микронеровност х профил , но и информаци о волнистости, геометрии профил , непараллельности образующей профил и направл ющей прот жки датчика. Причем в количественном соотношении эти составл ющие могут превосходить составл ющую выходного сигнала, определ ющую параметры шероховатости .
Целью изобретени вл етс повышение точности измерени параметров шероховатости за счет исключени из выходного сигнала профилометра составл ющих, не определ ющих микрорельеф профил , например волнистости.
Указанна цель достигаетс тем, что профилометр, содержащий корпус с кварце-.
XI
сл ел о
W
ю
вым основанием, консольно закрепленный на основании стержень с игольчатым контактным наконечником, пару параллельно установленных пьезокварцевых резонатор- ных пластин с односторонней металлизацией и пару электродов, размещенных между пластинами и закрепленных на стержне , снабжен двум упругими подвесами, закрепленными одними концами на основании , и цилиндрической опорой, закрепленной на их других концах, а пьезокварцевые пластины закреплены на соответствующих подвесах.
На фиг. 1 изображен профилометр, сечение; на фиг.2 - то же, вид сверху.
Профилометр имеет кварцевое основание 1, к которому приварены кварцевый стержень 2 и кварцевые упругие подвесы 3. На стержне с помощью сварки закреплена кварцева пластина 4, на которую нанесены металлические электроды 5. На конце стержн находитс контактный наконечник 6, выполненный в виде иглы. К упругим подвесам припа ны два пьезокварцевых резонатора 7, а другой конец упругих подвесов несет опору 8. Основание приклеено к корпусу 9 с хвостовиком 10. С целью предохранени кварцевых узлов от механических воздействий, они установленные в кожухе 11, на котором закрепл етс крышка 12.
Профилометр работает следующим образом .
Устройство прот жки за хвостовик 10 перемещает датчик вдоль образующей поверхности детали. При этом опора 8 и игольчатый контактный наконечник 6 скольз т по исследуемой поверхности, причем опора огибает образующую поверхности, а наконечник - образующую микропрофил . Это движение опоры и наконечника вызывает деформацию изгиба стержн 2 и упругих подвесов 3, за счет которой происходит взаимное перемещение электродов 5 и резонаторов 7, вызывающее изменение воздушных зазоров между поверхност ми электродов 5 и резонаторов 7, включенных в дифференциальную электрическую схему. Пропорционально величине изменени воздушных зазоров на выходе профилометра формируетс выходной сигнал в виде частоты электрических колебаний.
Вследствие существенного различи в площад х контакта опоры и игольчатого контактного наконечника с исследуемой поверхностью вертикальные перемещени опоры соответствуют следующей величине
Ноп Нв + Н & где Нв - высота волнистости;
Н а - величина вертикального перемещени , св занна с наклоном профил детали и с наклоном направл ющей прот жки, вертикальные перемещени контактного наконечника - величине
Нк Нв+ HG+ HR,
где HR - высота шероховатости.
Вследствие того, что опора через упругий подвес св зана с резонаторами, то они получают вертикальное перемещение Yp
Yp - КуНоп,
где Ку - коэффициент передачи упругого подвеса,
Соответствующее отклонение Y3 подвижных электродов, вызванное движением игольчатого контактного наконечника, может быть представлено как
УЭ КсНк,
где Кс - коэффициент передачи стержн .
Резонаторы и подвижные электроды включены в схему пьезокварцевого измерительного преобразовател , выходной сигнал которого имеет следующий вид
AY,
где Дf - частотный выходной сигнал пьезокварцевого измерительного преобразовател ;
Kf - коэффициент передачи пьезокварцевого измерительного преобразовател ;
AY - перемещение подвижных электродов относительно резонаторов.
При условии, что Ку Кс К, перемещение Y будет определ тьс следующим образом
AY Y3-YP KHR.
Таким образом, из выходного сигнала профилометра исключаютс величины не св занные с параметрами шероховатости.
Проведенные экспериментальные исследовани подтверждают отсутствие в выходном сигнале профилометра информации о макронеровност х.
Claims (1)
- Формула изобретени Профилометр, содержащий корпус с кварцевым основанием, консольно закреп- лен ый на основании стержень с игольчатым контактным наконечником, пару параллельно установленных пьезокварцевых резонаторных пластин с односторонней металлизацией и пару электродов, размещенных между пластинами и закрепленных на стержне, отличаю щи и сметра составл ющих, не определ ющих микрорельеф профил , он снабжен двум упругими подвесами, закрепленными одними концами на основании/и цилиндричетем , что, с целью повышени точности измё- 5 ской опорой, закреплённой на их других рени параметров шероховатости за счет; концах, а пьезокварцевыё пластины закреп- исключени из выходного сигнала профиль- лены на соответствующих подвесах./////////////&)У// ////////.ХУЧУметра составл ющих, не определ ющих микрорельеф профил , он снабжен двум упругими подвесами, закрепленными одними концами на основании/и цилиндриче 7 2I iSХУЧУХХ
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894769421A SU1755039A1 (ru) | 1989-12-18 | 1989-12-18 | Профилометр |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894769421A SU1755039A1 (ru) | 1989-12-18 | 1989-12-18 | Профилометр |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1755039A1 true SU1755039A1 (ru) | 1992-08-15 |
Family
ID=21484787
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894769421A SU1755039A1 (ru) | 1989-12-18 | 1989-12-18 | Профилометр |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1755039A1 (ru) |
-
1989
- 1989-12-18 SU SU894769421A patent/SU1755039A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Берлин Г.С. Механотроны. М : Радио и св зь, 1984. Мельников В Е Электромеханические преобразователи на базе кварцевого стекла. М.: Машиностроение, с. 121, 1984. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2365785A1 (fr) | Transducteur de microdeplacement | |
JPS5924230A (ja) | 検知素子 | |
JPH0454165B2 (ru) | ||
US4098000A (en) | Crack opening displacement gage | |
SU1755039A1 (ru) | Профилометр | |
SU547046A1 (ru) | Способ измерени уровн колебаний в возбужденном электромеханическом преобразователе крутильных колебаний | |
JPH07306030A (ja) | 変位検出装置 | |
RU2212672C1 (ru) | Пьезоэлектрический датчик ускорения | |
US4002061A (en) | Capacitance transducer for the measurement of bending strains at elevated temperatures | |
SU932315A1 (ru) | Датчик давлени | |
SU1150500A1 (ru) | Емкостной датчик давлени | |
SU1425486A1 (ru) | Тензорезисторный датчик давлени | |
SU1652838A1 (ru) | Датчик давлени | |
SU883682A1 (ru) | Датчик давлени | |
SU991178A1 (ru) | Измеритель перемещений | |
JPS646837A (en) | Vibration type differential pressure sensor | |
SU1173185A1 (ru) | Устройство дл акустоэлектронного измерени линейных перемещений | |
SU756235A1 (ru) | Датчик давления 1 | |
SU1682776A1 (ru) | Измерительное пьезоэлектрическое устройство | |
SU1504523A1 (ru) | Емкостный датчик давлени | |
SU916973A1 (ru) | Устройство дл измерени шероховатости металлических поверхностей | |
JPS6033057A (ja) | 加速度センサ | |
SU1761302A1 (ru) | Вибропреобразователь | |
RU1800299C (ru) | Емкостный датчик давлени | |
SU904420A1 (ru) | Устройство дл измерени диаметра проволоки |