SU1751704A1 - Устройство параметрического контрол интегральных схем - Google Patents

Abstract

Сущность изобретени : устройство содержит три цифроаналоговых преобразовател  1-3, три источника напр жени  4-6, коммутационную матрицу 7, измеритель; ный преобразователь 8 напр жени  (тока), аналого-цифровой преобразователь 9, формирователь 10, два одновибратора 11 и 12, элемент И-НЕ 13, бесконтактный 14 и релейный 15 ключи, обмотку 16 релейного ключа, врем задающие резисторы 17 и конденсатор 18, релейный переключатель 19, источник 20 опорного напр жени , измерительный 21 и эталонный 22 компараторы напр жени , элемент 2И-ИЛИ 23, кварце-, вый генератор 24 импульсов, счетчик 25 импульсов , шины режимов 27 и 28, питани  29, входную 30, выходную 31, измерительную 32, врем задающую 33 и общую 34. 2 ил.

Description

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для автоматического контроля статических и временных параметров интегральных схем (ИС), преимущественно 5 времязадающих схем, например, интегральных таймеров, одновибраторов,

Известна система для контроля электрических параметров цифровых узлов, содержащая взаимосвязанные электронную 10 вычислительную машину (ЭВМ) и блок со- . пряжения, выходы которого подключены к управляющим входам блока программируемых источников питания, блока измерителей и блока согласования, включающего 15 коммутатор и формирователь нагрузок, выводы объекта контроля через коммутатор связаны с формирователем нагрузок, выходом блока программируемых источников питания и входом блока измерителей, вы- 20 ход которого подключен к ЭВМ. ЭВМ через блок сопряжения Настраивает соответствующим образом формирователь нагрузок, коммутатор, блоки программируемых источников питания и измерителей. На выво- 25 ды объекта контроля подаются требуемые испытательные напряжения. Сигнал с выхода объекта через коммутатор поступает на вход измерителя и преобразуется, а затем вводится в ЭВМ для обработки, 30

Система не позволяет контролировать временные параметры, например длительность импульса времязадающих схем.

Известно устройство параметрического контроля интегральных схем, содержащее . 35 программируемый источник питания, циф- . ровой измерительный прибор, контактирующий блок, коммутационную матрицу и узлы блока управления, причем выходы программируемого источника питания, 40 цифрового измерительного прибора и выводы контактирующего устройства связаны с коммутационной матрицей, а выходы блока управления подключены к входам программируемого источника питания, цифрового из- 45 мерительного прибора и коммутационной матрицы. .

Устройство осуществляет тестовый программный контроль ИС только по статическим параметрам и не позволяет проводить 50 полный контроль времязадающих ИС.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство параметрического контроля интегральных схем, осуществляющее тестовый программ- 55 ный контроль ИС по статическим параметрам. Известное устройство содержит коммутационную матрицу, выходы которой подключены к выводам проверяемой микросхемы, последовательно соединенные цифроаналоговые преобразователи (ЦАП) и источники напряжения, связанные с входами коммутационной матрицы, и измерительный преобразователь напряжения (тока), вход которого подключен к выходу коммутационной матрицы, а выход - к входу аналого-цифрового преобразователя (АЦП), В ходы ЦАП, управляющие входы коммутационной матрицы, выходы и запускающий вход ЦАП связаны с магистралью управляю; щей ЭВМ, В начале каждого теста по сигналам управления от ЭВМ коммутационная матрица настраивается на измерение конкретного параметра ина выходах источников напряжения устанавливаются требуемые величины напряжений питания микросхем и режимов измерения, Сигнал с выхода ИС преобразуется в постоянное напряжение, пропорциональное измеряемому параметру. и по истечении времени переходного процесса от ЭВМ поступает сигнал запуска АЦП, с выхода которого затем в ЭВМ поступает цифровой код измеренного параметра для последующей обработки.

Недостатком известного устройства является ограниченность функциональных возможностей, поскольку оно не позволяет проводить контроль функционирования и точностных характеристик (длительности генерируемых импульсов) времязадающих микросхем, таких как интегральные таймеры, одновибраторы.

Целью изобретения является расширение функциональных возможностей путем обеспечения контроля временных параметров (длительности генерируемых импульсов) времязадающих интегральных схем с. достаточной точностью.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство параметрического контроля интегральных схем, содержащее коммутационную матрицу, первый, второй и третий цифроаналоговые преобразователи с источниками напряжения на выходе, измерительный преобразователь напряжения (тока) и аналого-цифровой преобразователь, причем выходы коммутационной матрицы подключены к выводам проверяемой интегральной схемы, шины режимов, питания и измерительная шина коммутационной матрицы связаны соответственно с выходами источников напряжения и входом измерительного преобразователя напряжения (тока), 'выход которого присоединен к входу аналого-цифрового преобразователя, входы цифроаналоговых преобразователей, управляющие входы коммутационной матрицы, запускающий вход и выходы аналого-цифрового преобразователя связаны с магистралью ЭВМ, а общая шина коммутационной матрицы,

1751704 6 источники напряжения и измерительный преобразователь напряжения (тока) присоединены к общей точке устройства, дополнительно введены параллельно соединенные времязадающий конденсатор, релейный и бесконтактный ключи, времязадающий резистор, подключенный между времязадающим конденсатором и шиной питания коммутационной матрицы, релейный переключатель, источник опорного напряжения, измерительный и эталонный компараторы напряжения, элемент И-ИЛ14, счетчик импульсов, кварцевый генератор импульсов, формирователь, первый и второй одновибраторы и элемент 15 ' И-НЕ с обмоткой релейного ключа на выходе, входы формирователя и одновибраторов объединены и связаны с магистралью ЭВМ, вход источника опорного напряжения присоединен к шине питания коммутацион- : ной матрицы, а его выходы - соответственно к инвертирующему входу измерительного и неинвёртирующему входу эталонного компараторов напряжения, выход формирователя и неинвертирующий вход изме- I рительного компаратора напряжения связаны с входной и выходной шинами коммутационной матрицы, инвертирующий вход эталонного компаратора напряжения и равления процессом контроля и обработки результатов выполняет внешняя ЭВМ, которая реализует программу контроля. Введение в устройство врёмязадающих резистора и конденсатора, релейного и бесконтактного ключей, источника опорного напряжения, измерительного компаратора напряжения, формирователя, первой и второго одновибраторов, элемента 14-НЕ, счетчика импульсов и кварцевого генератора импульсов позволяет проводить контроль функционирования микросхем в режиме генерации временных интервалов и импульсов, что наряду с контролем статических параметров необходимо для полной оценки их качества. Введение в устройство эталонного компаратора напряжения, релейного переключателя и элемента 2И-ИЛИ обеспечивает высокую точность контроля временных параметров за счет исключения влияния нестабильности и разброса номиналов времязадающей цепи.

На фиг.1 приведена электрическая структурная схема устройства параметриче25 ского контроля интегральных схем; на фиг.2 временные диаграммы его работы.

Устройство параметрического контроля интегральных схем содержит первый 1, второй 2 и третий 3 цифроаналоговые преобравремязадающая шина коммутационной 30 зователи (ЦАП), первый 4, второй 5 и третий матрицы соответственно через замыкаю- 6 источники напряжения, коммутационную щий и размыкающий контакты релейного матрицу 7, измерительный преобразоваперёключателя подключены к времяза- , дающему конденсатору, выходы измерительного и эталонного компараторов напряжения присоединены к первому и третьему входам элемента 2И-ИЛИ, второй и четвертый входы которого объединены и подключены к выходу второго одновибратора, выход первого Одновибратора присоединен к управляющему входу бесконтактного ключа, а’ инверсный выход второго и выход первого одновибраторов подключены к входам элемента И-НЕ. Стробирующий и счетный входы счетчика импульсов присоединены 45 соответственно к выходам элемента 214ИЛ И и кварцевого генератора импульсов, а выходы счетчика импульсов связаны с магистралью ЭВМ. Времязадающий конденсатор, бесконтактный и релейный ключи, измерительный и эталонный компараторы напряжения и источник опорного напряжения связаны с общей точкой устройства.

Конструктивное исполнение предлагаемого устройства позволяет автоматически осуществлять полный контроль параметров интегральных таймеров и одновибраторов, в том числе их временных параметров, таких как длительность генерируемых этими схемами импульсов, причем все функции уптель 8 напряжения (тока), аналого-цифровой преобразователь 9, формирователь 10, первый 11 и второй 12 одновибраторы, элемент И-НЕ 13, бесконтактный 14 и релейный 15 ключи, обмотку 16 релейного ключа, времязадающие резистор 17 и конденсатор 18, . релейный переключатель 19, источник 20 опорного напряжения, измерительный 21 и эталонный 22 компараторы напряжения, элемент 2И-ИЛИ 23, кварцевый генератор 24 импульсов, счетчик 25 импульсов и проверяемую интегральную схему 26 (фиг.1). Коммутационная матрица 7 имеет следующие шины: режимов 27 и 28. питания 29, входную 30. выходную 31, измерительную 32, времязадающую 33 и общую 34.

Выходы ЦАП'1-3 связаны с входами источников напряжения 4-6, выходы которых подключены соответственно к шинам режимов 27 и 28 и Питания 29 коммутационной матрицы 7. Выход измерительного преобразователя 8 напряжения (тока) подключен к входу АЦП 9, а .вход - к измерительной шине 32 коммутационной матрицы 7, выходы которой связаны С выводами проверяемой интегральной схемы 26. Входная 30 и выходная 31 шины коммутационной матрицы 7 присоединены соответственно к выхо35 пи15 ду формирователя 10 и неинвертирующему’ входу измерительного компаратора 21 напряжения. бесконтактный 14 и релейный 15 . _______________________ ключи и времязадающий конденсатор 18 пряжения (тока) преобразует величину изсоединены параллельно, а между шиной 5 питания 29 коммутационной матрицы 7 и времязадающим конденсатором 18 включен времязадающий резистор 17. К шине 19 питания коммутационной матрицы 7 подключен также вход источника 20 опорного 10 напряжения, выходы которого присоединены к инвертирующему и неинвертируюЩёМу входам измерительного 21 й эталонного 22 компараторов напряжения, выходы которых связаны с первым и третьим’ входами элемента 2 И-ИЛ И 23. Инвертирующий вход эталонного компаратора 22 напряжения и времязадающая шина 33 коммутационной матрицы 7 соответственно через замыкающий и размыкающий контакты релейного ! переключателя .19 подключен ы к й0ёМязадающему конденсатору 18; Входы формирователя 10 и первого 11 и второго 12 одновибраторов объединены. Выход первого одновибратора 11 присоединен к управляющему входу бесконтактного ключа 14, а выход второго одновибратора 12 — к второму и четвертому входам элемента 2И-ИЛ14 23. Выход первого 11 и инверсный выход второго 12 одновибраторов подключены к входам элемента И-НЕ 13, выход которого связан с обмоткой 16 релейного ключа. Стробирующий и счетный входы счетчика 25 импульсов присоединены соответственно к выходам элемента 2И-ИЛИ 23 и кварцевого 35 генератора 24 импульсов.

Входы ЦАП 1—3, управляющие вкрды ' коммутационной матрицы 7, вход формирователя 10, запускающий вход и выходы АЦП 9 и выходы счетчика 25 импульсов связаны с магистралью ЭВМ. Источники 4-6 напряжения, общая шина 34 коммутационной матрицы 7, измерительный преобразователь 8 напряжения (тока), времязадающий конденсатор 18, бесконтактный14 и релейный 15 ключи, измерительный 21 и эталонный 22 компараторы напряжения й источник 20 опорного напряжения связаны с общей точкой устройства. .

Проверяемая интегральная схема 26 от- 50 носится к классу врёмязадающйх микросхем (аналоговые таймеры/ одновибраторы), предназначена для генерации импульсов или стабильных временных интервалов и, как правило, содержит два входа (запускающий и вход для подключения внешней времязадающей цепи), выход и выводы для ι подключения источника'питания,

ЦАП 1-3 с источниками 4-6 напряжения иа выходе представляют собой программируемые источники режима измерения и тания микросхемы.

Измерительный преобразователь 8 намеряемого статического параметра (ток потребления, выходное напряжение, входные токи, токи утечки и т.д.) в пропорциональное и нормированное напряжение постоянного тока, которое с помощью АЦП 9 преобразуется в двоичный цифровой код,

Коммутационная матрица 7 состоит из группы реле, с помощью которых соответствующие вы воды измеряемой микросхемы 26 подключаются к выходам источников 4-6 напряжения и входу измеритеЛьного преобразователя 8 напряжения (тока) при контроле статических параметров и к выходу формирователя 10, входу измерительного компаратора 21 напряжения и времязадаюЩей цепи при контроле длительности импульсов. В состав коммутационной матрицы 7 входит также обмотка релейного переключателя 19 Реле коммутационной матрицы 7 включается кодом измеряемого параметра по сигналам от ЭВМ, формируя схему изме·; рения данного параметра.

Времязадающая цепь включает время-, .задающие резистор 17 и конденсатор 18, 30 бесконтактный 14 и релейный 15 ключи И в совокупности с измерительным компаратором 21 напряжения и формирователем 10 образует схему измерения длительности выходного импульса проверяемой микросхемы, а в совокупности с эталонным компаратором 22 напряжения - генератор образцового интервала времени. Источник 20 опорного напряжения задает уровни порогов срабатывания компараторов. ФормиI рователь 10 вырабатывает импульс запуска проверяемой микросхемы при контроле длительности импульса. /

Счетчик 25 импульсов подсчитывает · число импульсов, прошедших на его вход от Г кварцевого генератора 24 импульсов за время действия выходного импульса на его Стробирующем входе, т.е. является измерителем временных интервалов.

I Одновибраторы 11 и 12 и элементы И-. НЕ 13 и 2И-ИЛИ 23 являются элементами синхронизации работы устройства. Функции управления отдельными блоками устройства, синхронизации работы этих > блоков, обработки результатов контроля (сравнения с нормой, классификации,ариф- метических и логических операций, преобразования кодов, запоминания результатов) выполняет внешняя ЭВМ, связанная с уст-. ройством через магистраль.

·<

I

На фиг.2, где представлены временные диаграммы работы устройства, обозначены:

а - код параметра (управляющий вход матрицы 7); ·б -реле матрицы 7;

в - задержка на коммутационные и переходные процессы (формируется программно в ЭВМ);

г - импульс запуска АЦП 9;

д - импульс запуска (входы блоков ΙΟΙ 2, шина 30):

е - задержка на время преобразования в АЦП 9 или измерителе временных интервалов (формируется программно в ЭВМ);

ж - обработка результатов! контроля (выполняется программно в ЭВМ);

з-выходное напряжение первого Одновибратора 11 (ключ 14);

и- выходное напряжение второго одновибратора 12;

к — выходное напряжение элемента ИНЕ 13 (ключ 15): .

л - выходное напряжение измеряемой микросхемы (шина 31, выходы блоков 21 и .23);

м - выходное напряжение эталонного компаратора 22 (выход блока 23);

Т1, Т2, Той.и Тоэ - длительности выходных импульсов Соответственно Одновибраторов 11 и 12,,измеряемой.микросхемы и эталонного одновибратора.

Устройство параметрического контроля , интегральных схем работает следующим образом.

Первым этапом работы является контроль статических параметров микросхемы.

От ЭВМ через магистраль на управляющие входы коммутационной матрицы 7 и входы ЦАП 1-3 поступают соответственно коды измеряемого параметра, величины напряжения питания и режимов измерения (фиг.2а). Включаются реле коммутационной матрицы 7 (фиг.2б), в результате чего соби рается схема измерения данного параметра путем подключения выводов измеряемой 45 ся соответствующие реле коммутационной микросхемы 26 к соответствующим шинам коммутационной матрицы 7: вывод питания / . подключается к шине питания 29, запускающий вход и вход для подключения времязадающей цепи - к шинам режима 27 и 28, к измерительной шине 32 подключаются один из входов или выход микросхемы в зависимости от измеряемого параметра. На выходах источников 4-6 напряжения устанавливаются требуемые величины напряжений питания микросхемы и режимов измерения. Сигнал с контролируемого вывода микросхемы поступает на вход измерительного преобразователя 8 напряжения (тока), преобразуется в напряжение постоянного тока, пропорциональное измеряемому параметру, и поступает на вход АЦП 9. По завершении коммутационных процессов в коммутационной матрице 7 и переходных процессов в источниках 4-6 напряжения и измерительном преобразователе 8 напряжения (тока) (фиг.2в) сигналом от ЭВМ запускается АЦП 9 (фиг.2г) и после преобразования (фиг.2е) код измеренного 10 параметра с выходов АЦП 9 через магистраль вводится в ЭВМ (фиг.2ж), где происходят его сравнение с нормой, анализ результата сравнения и запоминание результата. Одновременно на управляющие 15 входы коммутационной матрицы 7 от ЭВМ поступает сигнал отключения реле. При положительном результате устройство переходит к контролю следующего параметра и процесс повторяется, а при отрицательном работа прекращается. Задержки на время переходных процессов и преобразования формируются в ЭВМ.Вторым этапом работы является контроль временных параметров микросхемы; ЦАП 1 и 2, источники 4 и 5 напряжения, измерительный преобразователь 8 напря• жения (тока), АЦП 9 и шины режима 27,28 и измерительная 32 коммутационной.матрицы 7 не используются, дополнительно за30 действованы входная 30, выходная 31 и времязадающая 33 шины. В исходном состоянии релейный ключ 15 разомкнут, а бесконтактный ключ 14 замкнут, времязадающий конденсатор 18 полностью разряжен, • на выход измерительного 21 и эталонного 22 компараторов напряжения логические нули, релейный переключатель находится в исходном положении.

При контроле длительности импульса I испытуемой микросхемы (Той) от ЭВМ на управляющие входы коммутационной матрицы 7 и входы ЦАП 3 поступают соответственно код параметра Той (фиг.2а) и величины напряжения питания. Включают' !

матрицы 7 (фиг,26); вывод питания испытуемой микросхемы 26 подключается к шине питания 29, запускающий вход - к входной шине 30, вход для подключения времязада| ющей цели - к времязадающей шине 33, а выход - к выходной шине 31, на выходе источника 6 напряжения устанавливается заданная величина напряжения питания микросхемы/По истечении коммутационных и переходных процессов (фиг.2в) ЭВМ формирует импульс запуска (фиг.2д), который запускает первый 11 и второй 12 одновибраторы и через формирователь 10 одновибратор на йспытуемой микросхеме. На выходе последней и соответственно на

1'751704 выходе измерительного компаратора 21 (фиг,2л) появляется напряжение логической единицы, которое, благодаря разрешающему импульсу длительности Т2 на выходе второго одновибратора 12 (фиг,2и), через 5 элемент 2И-ИЛИ 23 поступает на стробирующий вход счетчика 25 импульсов, который начинает подсчет тактовых импульсов, поступающих на его счетный вход от кварцевого генератора 24 импульсов, Одно- 10 временно на время действия импульса первого одновибратора 11 длительностью Т1 размыкается бесконтактный ключ 14 и начинаётся'заряд времязадающего конденсатора 18 от источника питания микросхемы 15 через времязадающий резистор 17, При достижении напряжением на времязадающем конденсаторе 18 значения.’равного величине напряжения срабатывания внутреннего компаратора испытуемой микросхемы (например, 2/3 от значения напряжения питания), на ее выходе и соответственно выходе измерительного компаратора 21 восстанавливается напряжение логического нуля. Счетчик 25 импульсов прекращает работу и в нем 25 фиксируется число импульсов, пропорциональное измеряемой длительности импульса микросхемы. В конце импульса первого од- . новибратора 11 (фиг.2з), когда на выходе второго одновибратора 12 установилось на- 30

Контроль длительности импульсов эталонного компаратора 22 напряжения (Тоэ) производится аналогично со следующими особенностями (фиг,2м). Времязадающий конденсатор 18 посредством релейного переключателя 19 подключается к входу.эталонного компаратора 22 напряжения, другие реле коммутационной матрицы 7 отключаются, отсоединяя испытуемую микросхему от блоков устройства, причем все. переключения завершаются до начала импульса запуска. Порог срабатывания эталонного компаратора 22, определяемый величиной напряжения на выходе источника 20 опорного напряжения, выбран равным величине напряжения срабатывания внутреннего компаратора испытуемой микросхему (2/3 от значения напряжения питания). Величина Тоэ также запоминает20 ся в ЭВМ. ·... ··...

Оценка качества испытуемой микросхемы в режиме генерации временных интервалов производится путем программного вычисления разности Тои~Тоэ. т.е. сравнения измеряемого интервала с эталонным, при этом исключается влияние нестабильности и неидентичности параметров время^адающей цепи, являющейся общей цепью при измерении Тон и Тоэ, что иллюстрируется формулой пряжение логического нуля, через элемент И-НЕ (фиг.2к) включается обмотка 16 релейного ключа 15, контакты которого шунтируют времязадающий конденсатор 12. Релейный ключ 15 вступает в работу по завершении измерения временного интервала и не оказывает влияния на точность контроля, Время включения этого ключа определяется разностью Т1-Т2 и должно быть достаточным для полного разряда конденсатора. Параллельное включение бесконтактного 14 и релейного 15 ключей определяется необходимостью одновременного удовлетворения требований высокого быстродействия при размыкании цепи (бесконтактный ключ 14) и большой нагрузочной способностью при замыкании (релейный ключ 15 ). Длительность импульса втдрого одновибратора 12 выбирается из условия Тг > Той макс.

По окончании процесса преобразования в измерителе временных интервалов (фиг.2е) реле коммутационной матрицы 7 отключается, информация с выходов счетчика 25 импульсов через магистраль вводится в ЭВМ, где происходит обработка результата контроля (фиг.2ж) аналогично указанной при измерении статических параметров (сравнение с нормой, анализ и запоминание результата), ___

Той = Тоэ = 1,1 С, · Rt (мс), где Ct и Rt - значения времязадающего конденсатора (мкФ) и резистора (кОм).

По окончании процесса контроля ЭВМ анализирует результаты контроля по отдельным параметрам и определяет группу годности или вид брака испытуемой микросхемы.

Согласно изобретению разработана техническая документация на предлагаемое устройство параметрического контроля, выполненное в виде классификатора интегральных таймеров типа КР1006ВЙ1, смакетированы и опробованы отдельные его узлы. В качестве АЦП использована микросхема 1113ПВ1 А, источники питания и режима построены на ЦАП серии 572, логические схемы, в том числе одновибраторы, счетчик и генератор импульсов, выполнены на микросхемах серии 155, а коммутационные элементы - на герконовых реле. Измерительный преобразователь включает усилители напряжения и тока на операционных усилителях с масштабирующими (нормирующими) резисторами в цепи обратной связи. Формирователь согласует по напряжению и мощности выход ЭВМ и вход запуска испытуемой микросхемы и представляет собой транзисторный каскад с общим эмиттером. В качестве эталонного и измерительного компараторов напряжения применены микросхемы типа 521 САЗ с большим входным напряжением и малыми входными токами.

Источник опорного напряжения состоит из двух резистивных делителей напряжения, подключенных между источником питания микросхемы и общей точкой. Соотношение резисторов первого делителя, подключенного к входу измерительного компаратора, выбрано равным 1:3 для четкой фиксации логических нуля и единицы на выходе испытуемой микросхемы. Соотношение резисторов делителя (прецизионного), подключенного к эталонному компаратору, выбрано 2:3, что соответствует параметрам внутреннего делителя испы мент 2И-ИЛИ, счетчик импульсов, кварцевый генератор импульсов, формирователь, первый и второй одновибраторы, элемент И-НЕ с обмоткой релейного ключа на вытуемой микросхемы типа КР1006ВЙ1, что 20 ходе, входы формирователя и одновибраторов объединены и подключены к входам-выходам от ЭВМ, вход источника опорного напряжения соединен с шиной питания коммутационной матрицы, а вы25 ходы подключены соответственно к инвертирующему входу измерительного и неинвертирующему входу эталонного компаратора напряжения, выход формирователя и неинвертирующий вхед измерительного компаратора напряжения соединены соответственно с входной и выходной шинами коммутационной матрицы, инвертирующий вход эталонного компаратора напряжения и времязадающая шина коммутационной матрицы соответственно через замыкающий и размыкающий контакты релейного переключателя подключены к времязадающему конденсатору, выходы измерительного и эталонного компараторов напряжения соединены с первым и вторым входами элемента 2И-ИЛИ, третий и четвертый входы которого объединены и подключены к выходу второго одновибратора, выход первого одновибратора присоединен к управляющему входу бесконтактного ключа, а инверсный выход второго и выход первого одновибраторов подключены к первому и второму входам элемента И-НЕ, стробирующий и счетный входы счетчика импульсов соединены соответственно с выходами элемента 2И-ИДИ и кварцевого генератора импульсов, а выходы счетчика импульсов подключены к входамвыходам ЭВМ, причем времязадающий конденсатор, бесконтактный и релейный ключи, измерительный и эталонный компараторы напряжения, источник опорного напряжения, общая шина коммутационной матрицы, источники напряжения и измерительный преобразователь напряжения (тонеобходимо для идентичности временных интервалов, генерируемых испытуемой микросхемой и эталонным компаратором. В качестве бесконтактного ключа применена микросхема серии КР590. ЭВМ построена на БИС микропроцессорного набора серии КР580.

Введение новых элементов и связей выгодно отличает предлагаемое устройство от прототипа за счет возможности контроля временных параметров с необходимой точностью. '

Таким образом, конструктивное выполнение предлагаемого устройства расширяет функциональные возможности устройства на операциях контроля статических и временных параметров времязадающих интегральных схем.

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Устройство параметрического контроля интегральных схем, содержащее коммутационную матрицу, первый, второй и третий цифроаналоговые преобразователи, первый, второй и третий источники напряжения, измерительный преобразователь напряжения (тока), аналого-цифровой преобразователь, причем выходы коммутационной матрицы подключены к клеммам для подключения объекта контроля, первая и вторая шины режимов, шина питания ком- ! мутационной матрицы соединены соответ-. . ственно с выходами первого, второго и третьего источников напряжения, измерительная шина коммутационной матрицы соединена с входом измерительного преобразователя напряжения (тока), выход которого соединен с входом аналого-цифрового преобразователя, .входы цифроаналоговых преобразователей, управляющие входы коммутационной матрицы и выходы аналого-цифрового преобразователя подключены к входам-выходам ЭВМ, выходы первого, второго и третьего цифроаналоговых преобразователей соединены соответственно с входами первого, второго и третьего источников напряжения, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет возможности контроля длительности импульсов на I выходе объекта контроля, в него введены времязадающий конденсатор, релейный и бесконтактный ключи, времязадающий резистор, релейный переключатель, источник опорного напряжения, измерительный i и эталонный компараторы напряжения, эле55 ка) соединены с общей точкой устройства, запускающий вход цифроаналогового преобразователя соединен с входами-выходами от ЭВМ, времязадающий конденсатор, релейный и бесконтактный ключи парал- лельно соединены между собой и подключены к первому выводу времязадающего резистора, второй вывод которого соединен с шиной питания коммутационной метри-