SU1712779A1 - Способ получени интерферограммы дл контрол качества линз и объективов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и предназначено дл  контрол  качества линз и объективов. Цель - повышение точности и чувствительности - достигаетс  исключением ошибок, обусловленныхфазовыми искажени ми фронта волны освещени . Освещают диффузный рассеива- тель пространственно-ограниченным пучком когерентного излучени , записывают на регистрирующей среде посредством контролируемого объекта со значением f фокусного рассто ни  голограммы Фурье рассеивател  с помощью коллимированно- го опорного пучка, осуществл ют смещение рассеивател  в его плоскости и изменение угла падени  опорного пучка, повторную запись голограммы Фурье рассеивател  и проведение фильтрации полученной двухэк- спозиционной голограммы до получени  ин- терферограммы контрол . Освещение рассеивател  производ т расход щейс  сферической волной с радиусом R кривизны фронта в плоскости рассеивател  R = f /(l-f). где I - рассто ние от главной плоскости контролируемого объекта до регистрирующей среды. 1 ил.^слс

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, предназначено дл  контрол  качества линз и объективов и может найти применение в производстве, зан том их из готовленИем.

Известен способ получени ; интерферограммы дл  контрол  качества линз и объективов, по которому сход щийс  квазисферический волновой фронт, сформированный контролируемым объектом, направл ют к центру его кривизны, совмещенному с интерферометром Майкельсона из двух пр моугольнь1х призм, с помощью которого раздел ют волновой фронт на Два фронта и провод т сдвиг между ними дл  получени  йнтерферограммы бокового

сдвига, по которой суд т о качестве контролируемого объекта.

Недостаток способа заключаетс  в низкой точности контрол , что обусловлено ошибками, возникающими при интерпретации регистрируемой йнтерферограммы с целью определени  фазовых искажений в фиксируемой точке контролируемого объекта , так как интерференционна  картина, не сопр жена со зрачком контролируемого объекта.

Ближайшим по технической сущности к предлагаемому  вл етс  способ получени  йнтерферограммы дл  контрол  качества линз и объективов, по которому освещают диффузный рассеиватель коллимированным пучком когерентного излучени , записывают на регистрирующей среде посредством контролируемого объекта с заданным значением f фокусного рассто ни  голограмму Фурье рассейвател  с помощью коллимированного опорного пучка, смещают рассеиватель в его плоскости и измен ют угол падени  опорного пучка на регистрирующую среду от в до 6 согласно соотношению а f(sin 0i - sin ft), где a величина смещени  рассейвател , и провод т фильтрацию полученнойдвухэкспозиционной голограммы до получени  интерферограммы контрол .

Недостаток способа - низка  точность контрол . Это объ сн етс  тем, что фазовые искажени  фронта волна освещени  диффузного рассейвател  суммируютс  с фазовыми искажени ми за счет волновых аберраций контролируемого объекта на регистрируемой интерферограмме бокового сдвига, по которой суд т о качестве контролируемого объекта.

Цель изобретени  - повышение точности и чувствительности контрол .

Поставленна  цель достигаетс  тем, что в предлагаемом способе освещают диффузный рассеиватель пространственно-ограниченным пучком когерентного излучени , записывают на регистрирующей среде посредством контролируемого объекта.со значением f фокусного рассто ни  голограмму Фурье рассейвател  с помощью коллимированного опорного пучка, осуществл ют смещение рассейвател  в его плоскости и изменение угла падени  опорного пучка, вновь записывают голограмму Фурье рассеивател  и провод т фильтрацию полученной двухэкспозиционной голограммы до получени  интерферограммы контрол . В отличие от известного способа освещение рассейвател  осуществл ют расход щейс  сферической волной с радиусом R кривизны фронта в плоскости рассейвател  R (l-f), где 1 - рассто ние от главной плоскости контролируемого объекта до регистрирующей среды.

В предлагаемом способе возможность достижени  положительного эффекта с физической точки зрени  обеспечиваетс  созданием условий получени  анаберрационного волнового фронта сферической формы в плоскости диффузного рассейвател  и получени  при этом интерферограммы бокового сдвига в диффузно рассеченных пол х на основе записи голограммы Фурье.

На чертеже изображена схема устройства , реализующего способ.

Устройство включает когерентный источник 1 света, светоделитель 2, линзу 3, пространственный фильтр 4, матовое стекло 5 с механизмом 6 его сдвига, узел 7 креплени  контролируемого объекта, фотопластинку 8, зеркало 9, блок 10 формировани  и наклона коллимированного опорного пучка.

Способ выполн ют следующим образом .

Когерентное излучение от источника 1 с помощью линзы 3 и п-ространственного фильтра 4 в виде непрозрачного экрана с точечным отверстиег, расположенного в фокальной плоскости линзы 3, трансформируетс  в анаберрационный сферичный волновой фронт освещени  матового стекла 5. С помощью контролируемого объекта, наход щегос  в узле 7 креплени , в плоскости фотопластинки 8 получают Фурье-образ диффузно-рассе нного матовым стеклом 5 пол  при выполнении услови , что радиус кривизны фронта расход щейс  сферической волны в плоскости матового стекла 5 равен R r/(l-f), где f - фркусное рассто ние контролируемого объекта, I -. рассто ние от. его главной плоскости до плоскости фотопластинки , 8. С помощью сформированного в блоке 10 коллимированного опорного пучка из луча, отразившегос  от светоделител  2 и зеркала 9, проводитс  запись голограммы Фурье за врем  первой экспозиции. Перед второй экспозицией смещают с помощью механизма 6 сдвига матовое стекло 5 в его плоскости и измен ют угол падени  опорного коллимированного пучка согласно соотношению sin в- - sin ft a/f, где а величина сдвига матового стекла 5, причем l(sin 01- sin ft) d/2, где d - диаметр апертуры контролируемого объекта.

Записанную таким образом двухэкспозиционную голограмму Фурье восстанавливают либо коллимированным пучком и провод т пространственную фильтрацию дифракционного пол  с помощью непрозрачного экрана с круглым отверстием, расположенного в плоскости голограммы, либо неразведенным лазерным пучком, и регистрируют интёрферограмму бокового сдвига в плоскости бесконечной ширины в дальней зоне дифракции, Проведение пространственной фильтрации в различных точках голограммы обеспечивает возможность контрол  ло полю.

Подвергнутое испытани м устройство обеспечивает повышение точности контрот л  при одновременном повышении его чувствительности , что имеет, важное значение дл  применени  в науке и технике.

Claims (1)

1. Формула изобретени  Способ получени  интерферограммы дл  контрол  качества линз и объективов, заключающийс  в том, что освещают диффузный рассеиватель пространственно-ограниченным пучком когерентного излучени , записывают на регистрирующей среде посредством контролируемого объекта со значением f фокусного рассто ни  голограмму Фурье рассеивател  с помощъю коллимированного опорного пучка, осуществл ют смещение рассеивател  в его плоскости и изменение угла падени  опорного пучка, вновь записывают голограмму Фурье рассеивател  и провод т фильтрацию полученной двухэкспозиционной голограммы до получени 

   интерферограммы контрол , отл и.чающ и и с   тем, что, с целью повьииени  точности и чувствительности контрол , освещение рассеивател осуществл ют расход щейс  сферической волной с радиусом R кривизны

   фронта в плоскости рассеивател  R г/О - f), где I - рассто ние от главной плоскости контролируемого объекта до регистрирующей среды.

   8