SU1711050A1 - Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре - Google Patents
Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре Download PDFInfo
- Publication number
- SU1711050A1 SU1711050A1 SU894740135A SU4740135A SU1711050A1 SU 1711050 A1 SU1711050 A1 SU 1711050A1 SU 894740135 A SU894740135 A SU 894740135A SU 4740135 A SU4740135 A SU 4740135A SU 1711050 A1 SU1711050 A1 SU 1711050A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- crystal
- fixed
- turret
- crystals
- ray spectrometer
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к дифрактомет- рам рентгеновских излучений, возбуждаемых в образце электронным пучком 2 растрового электронного микроскопа, и может найти применение в механизмах, авто- номно работающих в вакууме и осуществл ющих точную подачу исполнительных органов. Цель изобретени - повышение точности фокусировки кристалла. Устройство содержит револьверную головку 1 с закреплёнными на ней кристаллодержа- тел ми 3, установленную с возможностью перемещени по направл ющим. Устройство снабжено пьезопрйврдом 2 вращательного движени . Каждый из кристаллодержателей подпружинен и опираетс на скрещивающиес биморфные пьезопластины, закрёплен- ные консольно. расположенные по касательным к цилиндрической опорной поверхности и снабженные Электроподводами. Кристаллодержатели 3 установлены с возможностью качани вокруг неподвижных стоек. 1 з.п. ф-лы, 5 ил. Ё
Description
Фиг.2
6 5 S
Т 6
Фиг.З
Фиг. 5
Claims (1)
- Формула изобретения1. Устройство перемещения кристаллов в рентгеновском спектрометре, содержащее вал с приводом вращения и револьверную головку, на опорных поверхностях 25 которой закреплены кристаллодержатели, отличающееся тем, что, с целью повышения точности фокусировки кристаллов, устройство дополнительно содержит приводы качания кристаллов, выполненные в виде пары скрещенных биморфных пьезопластин, опорные поверхности револьверной головки имеют форму цилиндрической поверхности, каждая пара пьезопластин установлена на опорной по35 верхности и размещена под соответствующим кристаллодержателем, закрепленным в его центре тяжести с возможностью свободного качания в плоскости, перпендикулярной опорной поверхности.40 2. Устройство поп. 1, от л ича ю щеес я тем, что в качестве привода вращения использован пьезодвигатель. ·Фиг.2Фиг. Ч
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894740135A SU1711050A1 (ru) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894740135A SU1711050A1 (ru) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1711050A1 true SU1711050A1 (ru) | 1992-02-07 |
Family
ID=21471081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894740135A SU1711050A1 (ru) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1711050A1 (ru) |
-
1989
- 1989-09-25 SU SU894740135A patent/SU1711050A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1045095, кл. G 01 N 23/225, 1983. Проспект на Волновой дисперсионный рентгеновский спектрометр WDX-2A фирмы MICROSPEC, US, 1988. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4046985A (en) | Semiconductor wafer alignment apparatus | |
NL8902568A (nl) | Vacuuem systeem voorzien van een evacueerbaar huis, een objecthouder en een losneembaar daarmee gekoppelde objectdrager. | |
US4600854A (en) | Piezoelectric stepping rotator | |
US4908519A (en) | Loading mechanism and support structure having improved vibration damping useful in scanning tunneling microscopy | |
SU1711050A1 (ru) | Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре | |
JPS637829A (ja) | 回転,往復切替型振とう機 | |
JPS6332792A (ja) | カ−ド処理装置 | |
JPH07302831A (ja) | 共用試料ホールダ | |
SU566731A1 (ru) | Захват механической руки | |
US6932259B2 (en) | Brittle material breaking apparatus | |
JPS63296831A (ja) | 往復,旋回切替型の振とう機 | |
CN215432052U (zh) | 一种基于激光打标机的晶棒和晶片定位装置 | |
SU1699574A1 (ru) | Устройство дл встр хивани лабораторных сосудов | |
JPS5917261A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
SU694456A2 (ru) | Вибрационный микротом дл м гкой ткани | |
CN218965463U (zh) | 一种三轴智能机械臂结构 | |
JPH0960700A (ja) | 往復運動装置 | |
SU1684657A1 (ru) | Устройство дл ультразвукового контрол дисков | |
JPS58102152A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
SU1461613A1 (ru) | Кантователь | |
JPH0319032B2 (ru) | ||
JPH0342344B2 (ru) | ||
US4747233A (en) | Driving apparatus for work holding shafts in gyrofinishing machine | |
SU1649612A1 (ru) | Дисковое запоминающее устройство | |
SU1018265A1 (ru) | Устройство дл ориентированного перемещени изделий |