SU1711050A1 - Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре - Google Patents

Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре Download PDF

Info

Publication number
SU1711050A1
SU1711050A1 SU894740135A SU4740135A SU1711050A1 SU 1711050 A1 SU1711050 A1 SU 1711050A1 SU 894740135 A SU894740135 A SU 894740135A SU 4740135 A SU4740135 A SU 4740135A SU 1711050 A1 SU1711050 A1 SU 1711050A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
crystal
fixed
turret
crystals
ray spectrometer
Prior art date
Application number
SU894740135A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Иванович Феклистов
Борис Климентьевич Волнухин
Александр Иванович Никифоров
Юрий Васильевич Шестаков
Original Assignee
Сумское Производственное Объединение "Электрон"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сумское Производственное Объединение "Электрон" filed Critical Сумское Производственное Объединение "Электрон"
Priority to SU894740135A priority Critical patent/SU1711050A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1711050A1 publication Critical patent/SU1711050A1/ru

Links

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к дифрактомет- рам рентгеновских излучений, возбуждаемых в образце электронным пучком 2 растрового электронного микроскопа, и может найти применение в механизмах, авто- номно работающих в вакууме и осуществл ющих точную подачу исполнительных органов. Цель изобретени  - повышение точности фокусировки кристалла. Устройство содержит револьверную головку 1 с закреплёнными на ней кристаллодержа- тел ми 3, установленную с возможностью перемещени  по направл ющим. Устройство снабжено пьезопрйврдом 2 вращательного движени . Каждый из кристаллодержателей подпружинен и опираетс  на скрещивающиес  биморфные пьезопластины, закрёплен- ные консольно. расположенные по касательным к цилиндрической опорной поверхности и снабженные Электроподводами. Кристаллодержатели 3 установлены с возможностью качани  вокруг неподвижных стоек. 1 з.п. ф-лы, 5 ил. Ё

Description

Фиг.2
6 5 S
Т 6
Фиг.З
Фиг. 5

Claims (1)

  1. Формула изобретения
    1. Устройство перемещения кристаллов в рентгеновском спектрометре, содержащее вал с приводом вращения и револьверную головку, на опорных поверхностях 25 которой закреплены кристаллодержатели, отличающееся тем, что, с целью повышения точности фокусировки кристаллов, устройство дополнительно содержит приводы качания кристаллов, выполненные в виде пары скрещенных биморфных пьезопластин, опорные поверхности револьверной головки имеют форму цилиндрической поверхности, каждая пара пьезопластин установлена на опорной по35 верхности и размещена под соответствующим кристаллодержателем, закрепленным в его центре тяжести с возможностью свободного качания в плоскости, перпендикулярной опорной поверхности.
    40 2. Устройство поп. 1, от л ича ю щеес я тем, что в качестве привода вращения использован пьезодвигатель. ·
    Фиг.2
    Фиг. Ч
SU894740135A 1989-09-25 1989-09-25 Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре SU1711050A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894740135A SU1711050A1 (ru) 1989-09-25 1989-09-25 Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894740135A SU1711050A1 (ru) 1989-09-25 1989-09-25 Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1711050A1 true SU1711050A1 (ru) 1992-02-07

Family

ID=21471081

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894740135A SU1711050A1 (ru) 1989-09-25 1989-09-25 Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1711050A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1045095, кл. G 01 N 23/225, 1983. Проспект на Волновой дисперсионный рентгеновский спектрометр WDX-2A фирмы MICROSPEC, US, 1988. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4046985A (en) Semiconductor wafer alignment apparatus
NL8902568A (nl) Vacuuem systeem voorzien van een evacueerbaar huis, een objecthouder en een losneembaar daarmee gekoppelde objectdrager.
US4600854A (en) Piezoelectric stepping rotator
US4908519A (en) Loading mechanism and support structure having improved vibration damping useful in scanning tunneling microscopy
SU1711050A1 (ru) Устройство перемещени кристаллов в рентгеновском спектрометре
JPS637829A (ja) 回転，往復切替型振とう機
JPS6332792A (ja) カ−ド処理装置
JPH07302831A (ja) 共用試料ホールダ
SU566731A1 (ru) Захват механической руки
US6932259B2 (en) Brittle material breaking apparatus
JPS63296831A (ja) 往復，旋回切替型の振とう機
CN215432052U (zh) 一种基于激光打标机的晶棒和晶片定位装置
SU1699574A1 (ru) Устройство дл встр хивани лабораторных сосудов
JPS5917261A (ja) ウエハ搬送装置
SU694456A2 (ru) Вибрационный микротом дл м гкой ткани
CN218965463U (zh) 一种三轴智能机械臂结构
JPH0960700A (ja) 往復運動装置
SU1684657A1 (ru) Устройство дл ультразвукового контрол дисков
JPS58102152A (ja) 超音波顕微鏡
SU1461613A1 (ru) Кантователь
JPH0319032B2 (ru)
JPH0342344B2 (ru)
US4747233A (en) Driving apparatus for work holding shafts in gyrofinishing machine
SU1649612A1 (ru) Дисковое запоминающее устройство
SU1018265A1 (ru) Устройство дл ориентированного перемещени изделий