SU1707478A1 - Устройство дл дозировани парогазовой смеси - Google Patents

Abstract

Иэобрбтйнке ОУН ГИГСЯ к микрозлехт- ронной технике, а именно к дозирующим устройствам бзрбстажиого тмпз дп выдачи определенной Аози парогйзовоЛ смеси. Целью изобретени   вл етс  повышонме темности дознросани  метагиюрганических соединений дл   питэксиального процесса за счет повышени  однородности парогззо- вой смеси. Газ- носитель через трубку G и се пористую рстэвку 7, выполненную высотой не более 2 ш. из пористой кержгБЗ. ощий стали с размерами пор 10 15мкм, проходит через налиг/ю в камеру 3 дозируемую жидкость о виде мелких несм пающихс : пузырьков и поступает через патрубок 5 отвода парогазовой сиег, установл. чн1.. ч крышке герметичной камеры 3. в реактор. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к ммкроэлект- рониой технике,   именно к дотирующим устройствам б рбо сэ.т.(огс тмпз дл  выдачи определенной дозы парогазовой- смеси на основе мьтэллорГс-н /песккх соединений дл  эпитагсиального процесса. Целью изобрзтеии   вл етс  повышение точности дозироззн   металлорганиче- скйх соединений дл  зпмтаксисльного процесса за счет повышени  однородности парогазоаой смеси (ПГС).

На чертеже изображено предлагаемое устройство дл  получени  пгрогазовой сме- ск.

г Ч г I - Л - - f- , - г. г- - .-...--- . - - - л. -- . -г,.,-

- w |- . j. i .- - v .. .j. i . - - « j i4 ,:

гермеглниа  камера 3 которой заполнена дозируемой жидкостью - мзталлорганичэ- скич соединением. В верхней части 2 емко сти 1 располох:ены патрубок 4 дл  ввод 

гэза-носител  и патрубок 5 дл  вывода пз- рогазовой смеси, прикрепленный к крышке герметичной камеры 3. Верхн   часть 2 емкости 1 сообщена с камерой 3 трубкой 6 дл  подвода газа-носител . Трубка 6 погружена . в дозируемую жидкость. Из конце трубки 6 рыполнена кольцева  вставка 7 из пористой нержавеющей стали, а торец 8 трубки 6 заглушен . Верхн   часть 2 емкости 1 и камера 3 равны по объему, камера 3 помещена в термостат 9. Все детали устройства, контактирующие с метэллорганическим соединением , изготовлены из нержавеющей стали. Устройство работает следуют.: опрзj6 -i .

3 камеру 3 заливают дозируемую жидкость и помешают камеру 3 в термостат 9, поддерживающий необходимую дл  дозируемой жидкости температуру. Газ-носи5ПА%

V

О

4 VI оэ.

д

тель через патрубок 4 поступает сначала в верхнюю часть 2 емкости 1, затем в трубку 6 и проходит через пористую вставку 7 на конце трубки 6 в дозируемую жидкость. Далее насыщенный веществом газ-носитель выходит из камеры 3 через патрубок 5 и поступает в реактор эпитаксиального наращивани .

Устройство относитс  к барботэжным дозаторам, в которых ПГС получают путем пропускани  газа-носител  через слой испар емого вещества. Степень насыщени  газа-носител  зависит от степени измельчени  пузырьков газа, дл  чего вставка выполнена из пористой нержавеющей стали с размерами пор 10-15 мкм, и его расхода через дозатор. Высота пористой вставки трубки выполнена минимально возможной (2 мм) по двум причинам: во-первых, насыщение пузырьков газа парами жидкости не должно зависеть от высоты столба жидко- сти внутри дозатора, во-вторых, прот женность рабочего участка приводит к коалисценции (слипанию) пузырьков. При выделении пузырьков газа с вертикально расположенной стенки трубки (торец труб- ки заглушен) уменьшаетс  веро тность их слипани . Поскольку пузырьки образуютс  мелкие, то и насыщение гэза-чосмтел  парами жидкости происходит значительно быстрее . Поэтому при снижении уровн  жидкости насыщение газа ее парами не мен етс . Кроме того, уменьшение размеров пузырьков приводит к снижению брызгоу- носа, что уменьшает дефектообразование наращиваемых эпитаксиальных слоев.

Таким образом, уменьшение размеров пузырьков и их воспроизводимость по объему обеспечивают наиболее полное насыщение газа-носител  испар емым веш.еством, а значит, стабилизацию состава ПГС. За счет повышени  однородности кон- центрационного состава ПГС повышаетс  точность ее дозировани  и вследствие этого улучшаетс  воспроизводимость эпитаксиальных слоев от процесса к процессу. ,

Claims (1)

1. Формула изобретени  Устройстро дл  доэирорзжч  парогазо- вой смеси, содержащее герметичную камеру дл  дозируемой жидкости, в которую опущена трубка дл  подвода газа-носител , г в крышке герметичной к-шеры установлен патрубок дл  отвода пароггзовой смеси, о т- личающеес  тем, что. с целью повышени  точности дозированил металлорганиче- ских соединений дл  эпитзксиального процесса з счет повышени  однородности парогззовой смеси, нижний конец трубки дл  подвода газа-носител  заглушен и выполнен с кольцееой вставкой из пористой нержавеющей стали с порами 10-15 мкм. причем высота кольцевой вставки не превы шает 2 мм.